Reaktif manyetik alan sıçratma sistemi ile üretilen W(1-x)MoxO3 ince filmlerin karakterizasyonu ve gaz sensörü özellikleri
Characterization and gas sensor properties of W(1-x)MoxO3 thin films growth by reactive magnetron sputtering system
- Tez No: 591807
- Danışmanlar: DR. ÖĞR. ÜYESİ MÜCAHİT YILMAZ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Bilim ve Teknoloji, Science and Technology
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2019
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Necmettin Erbakan Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 83
Özet
Bu tez çalışmasında gaz sensörü olarak sıklıkla kullanılan malzemelerden ikisi olan MoO3 (Molybdenum trioxide) ve WO3 (Tungsten trioxide) yapıları, 400°C'de reaktif manyetik alan sıçratma sistemi kullanılarak bir araya getirilmiş ve W(1-x)MoxO3 (x = 0.0, 0.2, 0.4, 0.6, 0.8 ve 1.0) ince filmleri oluşturulmuştur. Oluşturulan ince filmlerin yapısal özellikleri XRD, Raman spektroskopisi, SEM ve AFM ile araştırılmıştır. Yapı arıtımı ile filmlerin kristal örgü parametreleri ve oksijen konsantrasyonları hesaplanmıştır. Filmlerin optik özellikleri UV-Vis spektroskopi ile incelenmiştir. Oluşturulan yapıların gaz sensözü özellikleri ise ev yapımı gaz sensörü ölçüm sisteminde analiz edilmiş ve CO2 gazını algıladığı tespit edilmiştir. Gaz sensörü analizleri oda sıcaklığında yapılmış ve üretilen ince filmlerden W0.6Mo0.4O3 kompozisyonunda, ince film CO2 ile temas ettiğinde film direncinde büyük bir artış gözlemlenmiştir. Diğer kompozisyonlarda CO2 varlığı ile birlikte dirençte azalma meydana gelmiştir. Oksijen eksikliğinin en fazla olduğu W0.6Mo0.4O3 ince filmi CO2 gaz algılama özelliği en yüksek, tepki süresi hızlı olan malzeme olarak tespit edilmiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, MoO3 (Molybdenum trioxide) and WO3 (Tungsten trioxide) structures, which are frequently used as gas sensors were combined at 400 °C using reactive magnetron sputtering system and W (1-x) MoxO3 (x = 0.0, 0.2) 0.4, 0.6, 0.8 and 1.0) thin films were formed. Structural properties of thin films were investigated by XRD, Raman spectroscopy, SEM and AFM. Crystal lattice parameters and oxygen concentrations of the films were calculated by structure refinement. The optical properties of the films were examined by UV-Vis spectroscopy. Gas sensor properties of the structures were analyzed in the homemade gas sensor measurement system and it was determined that it detects CO2 gas. Gas sensor analyzes were made at room temperature and a significant increase in film resistance was observed in the composition W0.6Mo0.4O3 from the thin films growth when the structure was in contact with CO2. In other compositions there was a decrease in resistance with the presence of CO2. W0.6Mo0.4O3 thin film, which has the highest oxygen deficiency, has been identified as the material with the highest CO2 gas detection and fast response time.
Benzer Tezler
- Deposition and characterization of single and multilayered boron carbide and boron carbonitride thin films by different sputtering configurations
Tek ve çok katmanlı bor karbür ve bor karbonitrür ince filmlerinin farklı sıçratma teknikleriyle biriktirilmesi ve karakterizasyonu
TOLGA TAVŞANOĞLU
Doktora
İngilizce
2009
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. MİCHEL JEANDİN
PROF. DR. OKAN ADDEMİR
- Tio2/zno çift katmanlı yapıların yapısal, optik ve elektriksel özelliklerinin incelenmesi
Investigation of structural, optical and electrical properties of tio2 / zno multi layer structures
TUĞBA EBRU UZAL
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Bilim ve TeknolojiNecmettin Erbakan ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. OĞUZ DOĞAN
- Çok fazlı molibden oksitten molibden disülfür ince film büyütülmesi
Molybdenum disulfide thin films fabrication from multiphase molybdenum oxide
AYŞE KARATAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Bilim ve TeknolojiNecmettin Erbakan ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ MÜCAHİT YILMAZ
- CdS/CdTe güneş hücrelerinde MoS2 ince filminin ara tabaka olarak kullanılması ve etkisi
The use and effects of MoS2 thin film as interlayer in CdS/CdTe solar cells
ARİFE EFE GÖRMEZ
Doktora
Türkçe
2020
EnerjiAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ERDAL SÖNMEZ
DR. ÖĞR. ÜYESİ MÜCAHİT YILMAZ
- CrYN: Nb kaplamanın AISI 4140 alaşımlı çelik üzerine sentezlenmesi: Mekanik ve tribolojik özelliklerinin araştırılması
Synthesis of CrYN: Nb coating on AISI 4140 alloy steel: Investigation of its mechanical and tribological roperties
FURKAN YÜKSEL
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU