Geri Dön

Reaktif manyetik alan sıçratma sistemi ile üretilen W(1-x)MoxO3 ince filmlerin karakterizasyonu ve gaz sensörü özellikleri

Characterization and gas sensor properties of W(1-x)MoxO3 thin films growth by reactive magnetron sputtering system

  1. Tez No: 591807
  2. Yazar: SEZİN ERTUĞRUL
  3. Danışmanlar: DR. ÖĞR. ÜYESİ MÜCAHİT YILMAZ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Bilim ve Teknoloji, Science and Technology
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2019
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Necmettin Erbakan Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 83

Özet

Bu tez çalışmasında gaz sensörü olarak sıklıkla kullanılan malzemelerden ikisi olan MoO3 (Molybdenum trioxide) ve WO3 (Tungsten trioxide) yapıları, 400°C'de reaktif manyetik alan sıçratma sistemi kullanılarak bir araya getirilmiş ve W(1-x)MoxO3 (x = 0.0, 0.2, 0.4, 0.6, 0.8 ve 1.0) ince filmleri oluşturulmuştur. Oluşturulan ince filmlerin yapısal özellikleri XRD, Raman spektroskopisi, SEM ve AFM ile araştırılmıştır. Yapı arıtımı ile filmlerin kristal örgü parametreleri ve oksijen konsantrasyonları hesaplanmıştır. Filmlerin optik özellikleri UV-Vis spektroskopi ile incelenmiştir. Oluşturulan yapıların gaz sensözü özellikleri ise ev yapımı gaz sensörü ölçüm sisteminde analiz edilmiş ve CO2 gazını algıladığı tespit edilmiştir. Gaz sensörü analizleri oda sıcaklığında yapılmış ve üretilen ince filmlerden W0.6Mo0.4O3 kompozisyonunda, ince film CO2 ile temas ettiğinde film direncinde büyük bir artış gözlemlenmiştir. Diğer kompozisyonlarda CO2 varlığı ile birlikte dirençte azalma meydana gelmiştir. Oksijen eksikliğinin en fazla olduğu W0.6Mo0.4O3 ince filmi CO2 gaz algılama özelliği en yüksek, tepki süresi hızlı olan malzeme olarak tespit edilmiştir.

Özet (Çeviri)

In this thesis, MoO3 (Molybdenum trioxide) and WO3 (Tungsten trioxide) structures, which are frequently used as gas sensors were combined at 400 °C using reactive magnetron sputtering system and W (1-x) MoxO3 (x = 0.0, 0.2) 0.4, 0.6, 0.8 and 1.0) thin films were formed. Structural properties of thin films were investigated by XRD, Raman spectroscopy, SEM and AFM. Crystal lattice parameters and oxygen concentrations of the films were calculated by structure refinement. The optical properties of the films were examined by UV-Vis spectroscopy. Gas sensor properties of the structures were analyzed in the homemade gas sensor measurement system and it was determined that it detects CO2 gas. Gas sensor analyzes were made at room temperature and a significant increase in film resistance was observed in the composition W0.6Mo0.4O3 from the thin films growth when the structure was in contact with CO2. In other compositions there was a decrease in resistance with the presence of CO2. W0.6Mo0.4O3 thin film, which has the highest oxygen deficiency, has been identified as the material with the highest CO2 gas detection and fast response time.

Benzer Tezler

  1. Deposition and characterization of single and multilayered boron carbide and boron carbonitride thin films by different sputtering configurations

    Tek ve çok katmanlı bor karbür ve bor karbonitrür ince filmlerinin farklı sıçratma teknikleriyle biriktirilmesi ve karakterizasyonu

    TOLGA TAVŞANOĞLU

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2009

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DR. MİCHEL JEANDİN

    PROF. DR. OKAN ADDEMİR

  2. Tio2/zno çift katmanlı yapıların yapısal, optik ve elektriksel özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of structural, optical and electrical properties of tio2 / zno multi layer structures

    TUĞBA EBRU UZAL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Bilim ve TeknolojiNecmettin Erbakan Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. OĞUZ DOĞAN

  3. Çok fazlı molibden oksitten molibden disülfür ince film büyütülmesi

    Molybdenum disulfide thin films fabrication from multiphase molybdenum oxide

    AYŞE KARATAŞ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Bilim ve TeknolojiNecmettin Erbakan Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ MÜCAHİT YILMAZ

  4. CdS/CdTe güneş hücrelerinde MoS2 ince filminin ara tabaka olarak kullanılması ve etkisi

    The use and effects of MoS2 thin film as interlayer in CdS/CdTe solar cells

    ARİFE EFE GÖRMEZ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    EnerjiAtatürk Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ERDAL SÖNMEZ

    DR. ÖĞR. ÜYESİ MÜCAHİT YILMAZ

  5. CrYN: Nb kaplamanın AISI 4140 alaşımlı çelik üzerine sentezlenmesi: Mekanik ve tribolojik özelliklerinin araştırılması

    Synthesis of CrYN: Nb coating on AISI 4140 alloy steel: Investigation of its mechanical and tribological roperties

    FURKAN YÜKSEL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Makine MühendisliğiAtatürk Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU