RF magnetron sputter sistemi ile pasif devre elemanı rezistör üretimi ve karakterizasyonu
RF magnetron sputter system and passive circuit element resistor production and characterization
- Tez No: 596841
- Danışmanlar: PROF. DR. SEFER BORA LİŞESİVDİN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2019
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 97
Özet
Monolitik mikrodalga tümleşik devreler (MMIC), radar ve elektronik harp uygulamalarının temel yapıtaşını oluşturan mikrodalga parçaların hemen hepsinde kullanımı mevcut olan, günümüzün kritik teknolojileri arasında görülmektedir. Teknik açıdan donanımlı bir altyapı desteği ile geliştirilen GaN tabanlı MMIC yongalar, mikrodalga parçaların içerisinde yüksek voltaj ve yüksek sıcaklıkta performans göstermesinden ötürü güç yükselteç ve faz kaydırıcı olarak yüksek sınır frekanslarda çalışabilmesi özelliklerinden dolayı son yıllarda gelişen teknoloji ile farklı çalışma konuları için tercih edilir bir hale gelmiştir. MMIC teknolojisi, tek kristal alttaş üzerine aktif ve pasif devrelerin özel olarak tasarlanmış yapıların imal edilmesinde kullanılan bir teknolojidir. MMIC yapılarında pasif devre elemanı olarak görev alan rezistöryapıların RF magnetron saçtırmasistemi ile üretimi ve karakterizasyonu, geliştirme çalışmalarına paralel olarak 4 nokta prob düzeneği ile yapılan elektriksel ölçüm sonuçlarına göre 30 ohm/sq değerine sahip tabaka direnci ile tasarıma uygun şekilde elde edildi.
Özet (Çeviri)
MMIC chips, which are used in almost all of the microwave components that constitute the basic building blocks of monolithic microwave integrated circuits (MMIC), radar and electronic warfare applications, are among today's critical technologies. Developed with technically equipped infrastructure support, GaN-based MMIC chips have become the preferred choice for different working subjects due to the technology developed in recent years due to their high voltage and high temperature performance due to their high voltage and high frequency frequencies. MMIC technology is a technology used in the manufacture of specially designed structures for active and passive circuits on a single crystal bottomstone. The production and characterization of resistive structures, which serve as passive circuit elements in MMIC structures, with RF magnetron sputter system, were obtained according to the design with a resistivity of 30 ohm / sq.
Benzer Tezler
- Fabrication and characterization of nanostructured Pt and Pt-Ag alloys, and investigation of their hydrogen gas sensing properties
Nanoyapılı Pt ve Pt-Ag alaşımlarının üretimi, karakterizasyonu ve hidrojen gaz algılama özelliklerinin incelenmesi
ŞEYMA ÜRDEM
Yüksek Lisans
İngilizce
2016
Bilim ve TeknolojiSakarya ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MUSTAFA ERKOVAN
DOÇ. DR. NECMETTİN KILINÇ
- p-SnS/n-CdS yarıiletken heteroeklemin karakterizasyonu
Characterization of p-SnS/n-CdS semiconductor heterojunction
SONER ALPDOĞAN
Doktora
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiMersin ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜLYA METİN GÜBÜR
PROF. DR. ABDULLAH CEYLAN
- Özel bir Termiyonik Vakum Ark (TVA) tekniği kullanılarak gözlük camlarına bazı kaplamaların yapılması ve fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Deposition of lenses with a special Thermionic Vacuum Arc (TVA) technique and investigation of physical properties
SİNAN TEMEL
Yüksek Lisans
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NACİ EKEM
- Deposition and characterization of single and multilayered boron carbide and boron carbonitride thin films by different sputtering configurations
Tek ve çok katmanlı bor karbür ve bor karbonitrür ince filmlerinin farklı sıçratma teknikleriyle biriktirilmesi ve karakterizasyonu
TOLGA TAVŞANOĞLU
Doktora
İngilizce
2009
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. MİCHEL JEANDİN
PROF. DR. OKAN ADDEMİR
- Yüksek sıcaklık YBCO ince filmlerin yakın kızılötesi ışımaya karşı tepkilerinin incelenmesi
Investigation of the response of high-Tc YBCO thin films against near infrared radiation
OGÜN UTKU DİKİCİ
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiEge ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. İLBEYİ AVCI