Dual axis drive yöntemiyle vrg için sistem hassasiyeti artırma
Increasing system sensitivity for vrg by applying dual axis drive
- Tez No: 637245
- Danışmanlar: DR. ÖĞR. ÜYESİ HASAN GÖKTAŞ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2020
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Harran Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 91
Özet
Bu makalede Vibratory Rate Gyroscope (VRG) için sistem hassasiyetini arttıracak bir yöntem önerilmiştir ve Finite Element Analysis (FEA) yöntemiyle analiz edilmiştir. MEMS teknolojisinde üretilen cihazlar fabrikasyon yöntemlerinin elverdiği ölçüde minimum boyutlarda üretilirler. Küçülen boyutlar, sistem outputundan okunan değerlerinde küçük olmasına ve noiseden kolayca etkilenebilmesine neden olmaktadır. VRG cihazlar için sistem hassasiyetini belirleyen sense outputundan okunan kapasite değeri birkaç femtofarad seviyesinde olmaktadır. Outputtan okunan değerin yükseltilmesi hem mekanik ve elektronik noiseden etkilenmesini azaltmayı sağlamakta hem de sistem hassasiyetinin artmasına neden olmaktadır. Klasik tasarımda comb drive ile tek yönde salınım yapan mass, decoupling frame üzerine eklenen Paralel Plate Actuator (PPA) yardımıyla sense ekseninde de salınım yapması sağlanmıştır. Bu sayede sistem outputundan alınan değerin klasik yönteme göre %30.11 kadar artmasına ve sistem hassasiyetinin yükselmesine neden olmuştur. Bu çalışmada 2-DOF (degree of freedom) drive-modunda, 1-DOF sense-modunda olacak şekilde gyroscope tasarımı yapılmıştır. Bunlardan ikisi drive ve sense modu oluştururken diğer frame ise hem iki modu birbirinden ayırmak hem de eklenen elektrot için drive görevini görecek decoupling frame'den oluşur.
Özet (Çeviri)
In this article, a method to increase system sensitivity is proposed for Vibratory Rate Gyroscope (VRG) and analyzed by Finite Element Analysis (FEA) method. The devices produced in MEMS technology are produced in minimum dimensions as far as the fabrication methods allow. The diminished dimensions cause it to be small in the values read from the system output and can be easily affected by the noise. For VRG devices, the capacity value read from the sense output, which determines the system sensitivity, is at several femtofarad levels. Increasing the value read from the output not only affects the mechanical and electronic noise, but also increases the system sensitivity. In the classic design, the mass that oscillates in one direction with the comb drive also oscillates on the sense axis with the help of Parallel Plate Actuator (PPA) added on the decoupling frame. In this way, the value obtained from the system output increases by %30.11 compared to the classical method and increases the system sensitivity. Gyroscope was designed to be in 2-DOF (degree of freedom) drive-mode and 1-DOF sense-mode. While two of them create drive and sense modes, the other frame is decoupling frame, which will both act as a drive for separating the two modes and for the added electrode.
Benzer Tezler
- Low-cost dual axis solar tracking system based on internet of things (IoT)
Nesnelerin interneti (IoT) tabanlı düşük maliyetli çift eksenli güneş takip sistemi
ABDULMALEK AHMED RIJA ALISAWI
Yüksek Lisans
İngilizce
2020
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolAltınbaş ÜniversitesiElektrik ve Bilgisayar Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. MUHAMMAD ILYAS
- Design & implementation of a control system for use of galvanometric scanners in laser micromachining applications
Lazer mikroişleme amaçlı galvanometrik tarayıcı kontrol sistemi tasarımı ve uygulaması
GÖNENÇ ÜLKER
Yüksek Lisans
İngilizce
2011
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSabancı ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ASİF ŞABANOVİÇ
- Yüksek hızlı atomik kuvvet mikroskobu (YH-AKM) geliştirilmesi ve çeşitli uygulamaları
Development of high speed atomic force microscopy and its applications
ÜMİT ÇELİK
Doktora
Türkçe
2017
Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HAKAN ÖZGÜR ÖZER
- Orta menzilli otomotiv radarları için çift eğik polarizasyonlu mikroşerit yama anten dizisi tasarımı
Dual slant polarization microstrip patch antenna design for medium range automotive radars
FURKAN MUHAMMED TAYDAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SELÇUK PAKER
- Regulation of human monocyte differentiation into M1- and M2-like macrophages
İnsan monositlerinin M1- ve M2-benzeri makrofajlara dönüşümünün düzenlenmesi
DEFNE BAYIK
Doktora
İngilizce
2016
Allerji ve İmmünolojiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMoleküler Biyoloji ve Genetik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İHSAN GÜRSEL
DR. DENNIS M. KLINMAN