Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of carbon nanowall thin films by pulsed filtered catodic vacuum arc deposition and electron cyclotron resonance microwave plasma tecniques
- Tez No: 643829
- Danışmanlar: PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2020
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 133
Özet
Bu çalışmada Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama (Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition, PFCVAD) ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma (Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma, ECR-MP) teknikleri ile cam ve silisyum alttabanlar üzerine karbon nanoduvar filmler depolandı. Üretilen ince filmlerin optik özellikleri UV-VIS-NIR Spektrofotometresi kullanılarak incelendi. Örneklerin kristalografik ve yapısal özellikleri XRD, FTIR ve Raman ölçümleri yapılarak belirlendi. Yüzey morfolojisinin belirlenmesi için ise AFM ve SEM analizleri yapıldı.
Özet (Çeviri)
In this study, the carbon nanowall thin films were deposited on glass and silicon substrates by using Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition (PFCVAD) system and electron cyclotron resonance microwave plasma (Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma, ECR-MP) techniques. Optical properties of the produced thin films were analyzed by employing UV-VIS-NIR Spectrophotometer. Crystallographic and structural properties were determined by using XRD, FTIR and Raman measurements. In order to determine the surface morphology, AFM and SEM analyzes were made.
Benzer Tezler
- Atmalı katodik vakum ark depolama sistemiyle üretilen ZnO'nun elektriksel iletkenliği ve ısıl işlemle değişimi
Electrical conductivity and changing with thermal operation of ZnO which growth by pulsed cathodic vacuum arc deposition
MEDİHA SOYLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ŞADİ YILMAZ
- ZnO ince filmlerinin eldesi ve aygıt üretimi için parametrelerinin optimizasyonu
Deposition of thin ZnO films and parameter optimization for device production
EBRU ŞENADIM TÜZEMEN
Doktora
Türkçe
2007
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemiyle çinko nitrür (Zn3N2) üretimi ve optiksel özellikleri
Production and optical properties of zinc nitride (Zn3N2) by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition system
ZEYNEP BAZ
- Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemiyle p-tipi çinko oksit (ZnO) üretimi ve elektriksel özellikleri
Production and electrical properties of p-type zinc oxide (ZnO) by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition method
HAVVA YANIŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemi ile p-tipi ZnO (çinko oksit) üretimi ve yapısal özellikleri
P-type ZnO (zinc oxide) which are grown by pulsed filtered cathodic arc deposition method and structural properties
KAMURAN KARA
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF. DR. RAMAZAN ESEN