Geri Dön

Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu

Production and characterization of carbon nanowall thin films by pulsed filtered catodic vacuum arc deposition and electron cyclotron resonance microwave plasma tecniques

  1. Tez No: 643829
  2. Yazar: BİRSEN KESİK ZEYREK
  3. Danışmanlar: PROF. DR. HAMİDE KAVAK
  4. Tez Türü: Doktora
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2020
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Çukurova Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 133

Özet

Bu çalışmada Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama (Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition, PFCVAD) ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma (Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma, ECR-MP) teknikleri ile cam ve silisyum alttabanlar üzerine karbon nanoduvar filmler depolandı. Üretilen ince filmlerin optik özellikleri UV-VIS-NIR Spektrofotometresi kullanılarak incelendi. Örneklerin kristalografik ve yapısal özellikleri XRD, FTIR ve Raman ölçümleri yapılarak belirlendi. Yüzey morfolojisinin belirlenmesi için ise AFM ve SEM analizleri yapıldı.

Özet (Çeviri)

In this study, the carbon nanowall thin films were deposited on glass and silicon substrates by using Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition (PFCVAD) system and electron cyclotron resonance microwave plasma (Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma, ECR-MP) techniques. Optical properties of the produced thin films were analyzed by employing UV-VIS-NIR Spectrophotometer. Crystallographic and structural properties were determined by using XRD, FTIR and Raman measurements. In order to determine the surface morphology, AFM and SEM analyzes were made.

Benzer Tezler

  1. Atmalı katodik vakum ark depolama sistemiyle üretilen ZnO'nun elektriksel iletkenliği ve ısıl işlemle değişimi

    Electrical conductivity and changing with thermal operation of ZnO which growth by pulsed cathodic vacuum arc deposition

    MEDİHA SOYLU

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2006

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ŞADİ YILMAZ

  2. ZnO ince filmlerinin eldesi ve aygıt üretimi için parametrelerinin optimizasyonu

    Deposition of thin ZnO films and parameter optimization for device production

    EBRU ŞENADIM TÜZEMEN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2007

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMAZAN ESEN

  3. Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemiyle çinko nitrür (Zn3N2) üretimi ve optiksel özellikleri

    Production and optical properties of zinc nitride (Zn3N2) by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition system

    ZEYNEP BAZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2008

    BiyokimyaÇukurova Üniversitesi

    Fizik Bölümü

    PROF. DR. RAMAZAN ESEN

  4. Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemiyle p-tipi çinko oksit (ZnO) üretimi ve elektriksel özellikleri

    Production and electrical properties of p-type zinc oxide (ZnO) by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition method

    HAVVA YANIŞ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2008

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Bölümü

    PROF. DR. HAMİDE KAVAK

  5. Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemi ile p-tipi ZnO (çinko oksit) üretimi ve yapısal özellikleri

    P-type ZnO (zinc oxide) which are grown by pulsed filtered cathodic arc deposition method and structural properties

    KAMURAN KARA

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2008

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Bölümü

    PROF. DR. RAMAZAN ESEN