Geri Dön

Nb2O5 ince filmlerin sol-jel kaplama yöntemi ile farklı kalınlıklarda üretimi ve H2 sensörü uygulamaları

Production of Nb2O5 thin films in different thicknesses by sol-gel coating method and their H2 sensor applications

PDF İndir

  1. Tez No: 727389
  2. Yazar: HÜDA AKKAYA KÖMÜRCÜ
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. TARIK ASAR, DOÇ. DR. NİHAN AKIN SÖNMEZ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2021
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Gazi Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 82

Özet

Bu tezde, Nb2O5 ince filmleri n-tipi Si ve cam alttaşlar üzerine sol-jel döndürerek kaplama tekniği ile katman sayıları (film kalınlıkları) değiştirilerek biriktirildi. 1 katmanlı ince filme SG43, 2 katmanlı filme SG44 ve 3 katmanlıya ise SG45 ismi verildi. SG43, SG44 ve SG45 kodlu numunelerin; yapısal, morfolojik ve optik özellikleri sırasıyla XRD, SIMS, AFM ve UV-Vis spektrometresi kullanılarak belirlendi. Nb2O5 ince filmlerin amorf yapıya sahip olduğu ve film/hava ve film/alt tabaka arayüzeyleri üzerindeki ışığın girişimi nedeniyle geçirgenlik spektrumlarının görünür bölge aralığında değişime uğradığı gözlendi. Filmlerin optik bant aralığı, katman sayısı arttıkça 3.76 eV'dan 3.62 eV 'ye daraldı. SG43, SG44 ve SG45 kodlu numuneler için kalınlıklar sırasıyla 68 nm, 104 nm ve 176 nm olarak belirlendi. Üretilen SG43, SG44 ve SG45 kodlu numunelerin yüzeylerine Aerosol Jet 5X Baskı Sistemi ile 2 mm çaplı Ag dairesel interdijital elektrotlar geliştirildi ve elde edilen H2 gaz sensörlerine SG43-S, SG44-S ve SG45-S isimleri verildi. Geliştirilen sensörlerin H2 gazına duyarlılığı oda sıcaklığında ve 30 sccm, 60 sccm ve 90 sccm altında ölçüldü. Nb2O5 tabanlı gaz sensörlerinin H2 gazına duyarlılığı, tepki ve iyileşme süresi gibi sensör parametreleri değerlendirildi. Yapılan deneysel araştırmaların sonucunda; üretilen 1, 2 ve 3 katmanlı Nb2O5 tabanlı gaz sensörlerinin oda sıcaklığında H2 gaz algılamada başarılı birer sensör olduğu gösterildi.

Özet (Çeviri)

In this thesis, Nb2O5 thin films were deposited on n-type Si and glass substrates by changing the number of layers (film thickness) by sol-gel rotating coating technique. The produced Nb2O5 thin films; Structural, morphological and optical properties were determined using XRD, SIMS, AFM and UV-Vis spectrometry, respectively. It was observed that Nb2O5 thin films have amorphous structure and their transmittance spectra change in the visible region range due to the interference of light on the film/air and film/substrate interfaces. The optical band gap of the films narrowed from 3.76 eV to 3.62 eV as the number of layers increased. The thicknesses for SG43, SG44 and SG45 thin films were determined as 68 nm, 104 nm and 176 nm, respectively. Silver (Ag) circular interdigital electrodes with a diameter of 2 mm were developed with the Aerosol Jet 5X Printing System for the SG43, SG44 and SG45 samples produced, and the resulting H2 gas sensors were named SG43-S, SG44-S and SG45-S.The sensitivity of the developed sensors to Hydrogen (H2) gas was measured at roomtemperature and under 30 sccm, 60 sccm and 90 sccm. Sensor parameters such as sensitivityto H2 gas, response and recovery time of Nb2O5 based H2 gas sensors were evaluated. As aresult of experimental research; It has been shown that the 1, 2 and 3-layer Nb2O5-basedsensors produced are successful sensors in H2 detection at room temperature.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    337852

    Nb2O5 ve Nb2O5 tabanlı ince filmlerin karakterizasyonu ve güneş pili üretimi

    Characterization of Nb2O5 and Nb2O5 based thin films and solar cell production

    SEHER ÇETİN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2013

    Seramik MühendisliğiDumlupınar Üniversitesi

    Seramik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HASAN GÖÇMEZ

  2. Tez No

    166359

    SiO2-Nb2O5 esaslı çok katmanlı yansıtmacı sistemler

    SiO2-Nb2O5 based multilayer antireflecting coatings

    SELEN ERKAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2005

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. GALİP TEPEHAN

  3. Tez No

    305910

    RF magnetron kopartma tekniği kullanılarak hazırlanan Nb2O5ince filmlerin optik özelliklerinin incelenmesi

    The investigation of optical properties of Nb2O5 thin films prepared by RF magnetron sputtering

    MELTEM YEŞİLTEPE

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2012

    Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe Üniversitesi

    Nanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ÖZLEM DUYAR COŞKUN

  4. Tez No

    779567

    Structural, optical and electrical characterization of nanocrystalline Nb2O5 thin films for gas sensor application

    Gaz sensörü uygulaması için nanokristal Nb2O5 ince filmin yapısal, optik ve elektriksel karakterizasyonu

    IHAB ABDULHAKEEM KHUDHAIR KHUDHAIR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2022

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇankırı Karatekin Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SEBAHADDİN ALPTEKİN

  5. Tez No

    557591

    Tuning the electron beam evaporation parameters for the production of hole and electron transport layers for perovskite solar cells

    Perovskit güneş hücrelerinde elektron ve boşluk taşıyıcı katmanların üretilmesi için elektron ışını buharlaştırma parametrelerinin optimizasyonu

    MUSTAFA BURAK COŞAR

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. AHMET MACİT ÖZENBAŞ

Geri Dön