Desenli safir alttaş üzerine farklı sıcaklık ve V/III oranı ile büyütülen AlN tabakasının optik ve yapısal özelliklerinin araştırılması
Investigation of the optical and structural properties of the AlN layer grown with different temperetures and V/III ratio on patterned sapphire substrate
- Tez No: 763408
- Danışmanlar: DR. ÖĞR. ÜYESİ İSMAİL ALTUNTAŞ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Physics and Physics Engineering, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2022
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Sivas Cumhuriyet Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nanoteknoloji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 105
Özet
Bu tez çalışması kapsamında, III-Nitrat ailesinin en geniş bant aralığına sahip üyesi olan AlN ince filmleri farklı sıcaklık ve V/III oranları kullanılarak Sivas Cumhuriyet Üniversitesi Nanofotonik Uygulama ve Araştırma Merkezi (CÜNAM) bünyesinde kurulu olan Metal-Organik Kimyasal Buhar Biriktirme (MOCVD) sistemi ile büyütülmüştür. Büyütmelerin tümünde desenli safir alttaşlar kullanılmıştır. Büyütülen AlN ince filmlerin yapısal özellikleri ve kristal kalitesi CÜNAM bünyesinde kurulu olan Rigaku SmartLab x-ışını kırınımı (XRD) sistemi, optik özellikleri yine CÜNAM bünyesinde kurulu olan Varian Carry 5000 UV-VIS-NIR spektrofotometre sistemi kullanılarak incelenmiştir. Numunelerin yüzey morfolojileri ve büyüme modları ise DAYTAM bünyesinde kurulu olan Zeiss Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) kullanılarak görüntülenmiştir.
Özet (Çeviri)
Within the scope of this thesis, AlN thin films, the member with the widest band gap of the III-Nitrate family, were grown using the Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) system established in Sivas Cumhuriyet University Nanophotonics Application and Research Center (CUNAM) using different temperatures and V/III ratios. Patterned sapphire substrates were used in all growths. The structural properties and crystal quality of the grown AlN thin films were investigated using the Rigaku SmartLab x-ray diffraction (XRD) system established within CÜNAM, and their optical properties were examined using the Varian Carry 5000 UV-VIS-NIR spectrophotometer system, also established within CÜNAM. The surface morphologies and growth modes of the samples were visualized using the Zeiss Scanning Electron Microscope (SEM) installed in DAYTAM.
Benzer Tezler
- Kızılötesi ışık kıyıcı geliştirilmesi
Development of infrared light chopper
YUSUF MERT GÜMÜŞAY
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
Savunma ve Savunma TeknolojileriGazi Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK
- Femtosaniye lazer ile işlenen yapıların katıhal lazerlerde uygulamaları ve üst çevrim pompalı Tm3+:KY3F10 lazerleri
Solid-state laser applications of femtosecond laser written structures and upconversion pumped Tm3+:KY3F10 lasers
YAĞIZ MOROVA
Doktora
Türkçe
2021
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SEDA AKSOY ESİNOĞLU
PROF. DR. ALPHAN SENNAROĞLU
- Modulation of terahertz waves by VO2 based metamaterials
VO2 tabanlı metamalzemeler ile terahertz dalgaları modülasyonu
AILEEN NOORI
Doktora
İngilizce
2023
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. GÜLNUR AYGÜN ÖZYÜZER
- Numerical and experimental investigaton of ultrasonic embossing technique for fabrication of thermoplastic microfluidic devices
Termoplastik mikroakışkan cihazların üretimi için ultrasonik baskı tekniğinin numerik ve deneysel olarak incelenmesi
FERAH ÇOĞUN
Doktora
İngilizce
2018
Makine MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MEHMET ALİ SAHİR ARIKAN
DR. ÖĞR. ÜYESİ ENDER YILDIRIM
- Nazan Bekiroğlu'nun romanlarının değerler eğitimi bağlamında incelenmesi
The invenstigation of Nazan Bekiroğlu's novels in the context of the education of values
FATMA TÜRKAN SAMURLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
Eğitim ve ÖğretimAkdeniz ÜniversitesiTürkçe ve Sosyal Bilimler Eğitimi Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MEVLÜT GÜLMEZ