Structural, optical and electrical characterization of nanocrystalline Nb2O5 thin films for gas sensor application
Gaz sensörü uygulaması için nanokristal Nb2O5 ince filmin yapısal, optik ve elektriksel karakterizasyonu
- Tez No: 779567
- Danışmanlar: PROF. DR. SEBAHADDİN ALPTEKİN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2022
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Çankırı Karatekin Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 92
Özet
Bu çalışmada, yüksek vakum altında radyo frekansı (RF) biriktirme sistemi püskürtme gücünün ve biriktirme sıcaklığının, biriktirilen niyobyum oksit (Nb2O5) ince filmlerin özellikleri üzerindeki etkisi araştırılmıştır. X-ışını kırınımı (XRD), RF gücünün artmasıyla saf Nb2O5 fazı için polikristal ortorombik yapıya dönüştürülen amorf özellikleri gösterir. Kristallik arttırıldı ve kristalit boyutu, kafes gerilmesinde bir azalmaya neden olan RF gücü ve altaş sıcaklığının artmasıyla arttı. Alan emisyon taramalı elektron mikroskobu (FE-SEM) ile araştırılan yüzey morfolojisi, biriktirilen filmlerin tüm yüzey üzerinde homojenliğini gösterir. Altaş sıcaklığının artması oksitleme derecesinin artmasına neden olur. İşlem elektron boşluklarını azaltabilir. Atomik kuvvet mikroskobu (AFM) sonuçları, RF gücünün ve altaş sıcaklığının parçacık boyutu ve yüzey pürüzlülüğü üzerindeki aşırı etkisini göstermektedir. Optik özellikler, RF gücünün artmasıyla bant kenarlarının daha keskin olduğunu göstermektedir. Optik enerji aralığı değerleri, RF gücünün artmasıyla azalmakta ve altaş sıcaklığının artmasıyla artmaktadır. Gaz hassasiyeti, çalışma sıcaklığından, partikul boyutundan, yüzey pürüzlülüğünden ve oksijen boşluklarından oldukça etkilenir. 160 W Rf gücünde hazırlanan numune için H2S gazına karşı maksimum hassasiyet 250°C'de 118,2 iken, 200°C çalışma sıcaklığında NO2'ye karşı maksimum hassasiyet 26,6 dır.
Özet (Çeviri)
I thank God Almighty with incalculable thanks for his many and countless blessings, and I praise Him with a great thank you befitting the greatness of His majesty, generosity, favors and benevolence. I extend my sincere thanks to my beloved Iraq and to my second home, Çankırı Karatekin University. I would like to extend my sincere thanks to the advisor Prof. Dr. Sebahaddin ALPTEKİN and Prof. Dr. Mohammed Khammass KHALAF for their proposal for the research project and their interest, guidance and follow-up throughout the supervision period with all that was characterized by a sincere scientific spirit. Had it not been for their efforts, the message would not have come out in this way, so may God reward them on my behalf. I also extend my thanks to the Head of the Physics Department, represented by Prof. Dr. Ali YİĞİT and the faculty members of the Physics Department of the Faculty of Science at Çankırı Karatekin University. I would like to thank my mother and father, who have always encouraged and supported me and provided me with emotional and moral support throughout the period of writing this thesis. Thank you from the heart for everything you have done for me. I would like to extend my heartfelt thanks to my brothers, sisters and friends for their support.
Benzer Tezler
- Nanocrystalline ZnO:Al thin films prepared by sol-gel dip coating technique and ZnO: Al/p-Si heterojunctions
Sol-gel daldırmalı kaplama tekniği ile üretilmiş nano yapılı ZnO:Al ince filmler ve ZnO: Al/p-Si heterokavşaklar
ÖZGE KARACASU
Yüksek Lisans
İngilizce
2010
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NİLGÜN BAYDOĞAN
PROF. DR. HÜSEYİN ÇİMENOĞLU
- Yaş yöntemle ITO ince filmlerin üretimi, elektriksel ve optiksel özelliklerinin karakterizasyonu
Wet deposi̇ted processing of ITO thin films and characterization of thei̇r optoelectronic properties
SANEM GÜZELLER
Yüksek Lisans
Türkçe
2016
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ESRA ÖZKAN ZAYİM
DR. REFİKA BUDAKOĞLU
- Plazma ile biriktirilmiş nanokristal silisyum filmlerin düşük alttaban sıcaklık optimizasyonu
Low substrate temperature optimization of plasma deposited nanocrystalline silicon films
SEMA UYSAL
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Fizik ve Fizik MühendisliğiKarabük ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. TAMİLA ANUTGAN
- ZnO/Si heteroeklem diyotların yapısal, elektriksel ve optik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of the structural, electrical and optical properties of ZnO/Si heterojunction diodes
SERHAT SARSICI
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiUludağ ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SERTAN KEMAL AKAY
- Metalik cam şeritlerin üretimi ve karakterizasyonu
A Production and characterization of metallic glass ribbons
KEREM GÜLTEKİN