Sİ3N4/TİALV ince film malzemelerinin yapısal elektriksel özellik ilişkisinin incelenmesi
Investigation of structural-electrical property relationship of Sİ3N4/TİALV thin film materials
- Tez No: 807088
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2023
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Eskişehir Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Lisansüstü Eğitim Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 72
Özet
Son zamanlarda Terahertz bandında görüntülemenin farklı avantajları olduğu görülmüştür ve güvenlik uygulamalarında kullanılmaya başlanmıştır. Ancak bu sistemler sınırlı hassasiyetleri ve maliyetlerinin yüksek olması nedeniyle halen çok yaygın bir kullanıma sahip değildirler. Kızılötesi bölgesinde yüksek soğurma kapasitesine sahip metal ince bir film Terahertz bölgesindeki yüksek yansıma katsayısı nedeniyle verimli kullanılamamaktadır. Metal/dielektrik ara yüzeydeki, özellikle ince metalik filmlerde oluşan plazmonik etkilerin potansiyelini tam olarak kullanabilmek için özgün malzeme sistemlerinin geliştirilmesi gerekmektedir. Bu tezde Terahertz bölgesinde çalışabilecek özgün olarak geliştirilecek metal/dielektrik etkin ortam ince film sistemleri ile soğurmaya karşı duyarlılığın arttırılması amaçlanmaktadır. Bu tezin amacı, TiAlV metal alaşım ince filmlerin kalınlığa bağlı yapısal, elektriksel ve terahertz optik özelliklerinin incelenmesidir. Bu kapsamda metal/dielektrik ara yüzeyindeki alaşım TiAlV ince filmlerin terahertz soğurma performansları tespit edilmiştir. Buna ek olarak, terahetz uygulamaları açısından kritik öneme sahip olacağı düşünülen ince film üretim parametrelerinin yapısal ve terahertz optik karakteristiklerine etkileri incelenmiştir TiAlV ince film alaşım sistemi farklı üretim parametreleri ile farklı kalınlıklarda DC magnetron sıçratma tekniği kullanılarak büyütülmüştür. Ortaya çıkan sonuçlar metalik TiAlV ince filmlerin THz uygulamalarında kullanımları hakkında önemli sonuçlar vermiştir.
Özet (Çeviri)
Recently, it has been seen that imaging in the Terahertz band has different advantages and has started to be used in security applications. However, these systems are still not widely used due to their limited sensitivity and high cost. A metal thin film with a high absorption capacity in the infrared region cannot be used efficiently due to its high reflection coefficient in the Terahertz region. In order to fully exploit the potential of plasmonic effects occurring at the metal/dielectric interface, especially in thin metallic films, novel material systems need to be developed. In this project, it is aimed to increase the sensitivity to absorption with metal/dielectric active medium thin film systems that will be developed specifically to operate in the Terahertz region. The aim of this thesis is to investigate the thickness-dependent structural, electrical and terahertz optical properties of TiAlV metal alloy thin films. In this context, the terahertz absorption performances of alloy TiAlV thin films at the metal/dielectric interface were determined. In addition, the effects of thin film production parameters, which are thought to be critical for terahertz applications, on the structural and terahertz optical characteristics were investigated. TiAlV thin film alloy system was grown using DC magnetron sputtering technique with different production parameters and different thicknesses. The resulting results gave important results about the use of metallic TiAlV thin films in THz applications
Benzer Tezler
- Manyetik sıçratma tekniği ile üretilmiş Mo2N ve nanokompozit Mo-N-Cu kaplamaların aşınma davranışlarının karşılaştırılması
Comparison of fretting behavior of Mo2N and nanocomposite Mo-N-Cu coatings produced by magnetron sputtering technique
AHMET ÖZTÜRK
Yüksek Lisans
Türkçe
2003
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA ÜRGEN
- Ark fiziksel buhar biriktirme yöntemiyle nanokompozit Mo-N-Cu kaplamaların üretimi ve karakterizasyonu
Production of Mo-N-Cu nanocomposite coatings by arc physical vapour deposition technique and their characterization
OSMAN LEVENT ERYILMAZ
- Ark-fbb yöntemiyle üretilen ultra-sert nanokompozit tialsin filmlerin karakterizasyonu
Characterization of super hard nanocomposite tialsin coatings deposited by arc-pvd process
FATİH ALPARSLAN SOYDAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF.DR. MUSTAFA ÜRGEN
- MgO ve MgF2 katkılı ß-SiAlON seramik üretimi ve kesici uç performanslarının incelenmesi
Produce ß-SiAlON ceramics, alloy MgO and MgF2, and examine cutting ends of performance
HAKKI SÖNMEZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Seramik MühendisliğiSakarya ÜniversitesiMetal Eğitimi Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. ZAFER TATLI
- Si3N4 ile pasive edilmiş AlGaN/GaN temelli çoklu yapılarda düşük alan iletimi ve sıcak-elektron iletimi çalışmaları
Investigations of low-field transport and hot-electron transport in passivated AlGaN/GaN hemts with Si3N4
GÖKHAN ATMACA
Doktora
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SEFER BORA LİŞESİVDİN