Computer simulation of electromigration in integrated circuits
Entegre devrelerde elektromigrasyon bilgisayar simulasyonu
- Tez No: 90695
- Danışmanlar: PROF. DR. TARIK ÖMER OĞURTANI
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: elektromigrasyon, yüzey difüzyonu. IV "EG YÜKSEKÖĞRETİM KURULU DOKÜMANTASYON MERKEZİ, Electromigration, surface diffusion III
- Yıl: 1999
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 147
Özet
?. oz ENTEGRE DEVRELERDE ELEKTROMİGRASYON BİLGİSAYAR SİMULASYONU Önder Uysal Metalürji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü, Danışman: Prof.Dr. Tank Ömer Oğurtanı, Aralık 1999, 139 pages Bu çalışmada, elektromigrasyon gelişiminin şekil değişikliği ile birlikte incelenmiştir. Oğurtanı tarafından irreversible termodinamik, tane sınırı kinetiği ve void etkileşimleri göz önüne alınarak“calculus of variation”tekniği ile formüle edilmiştir. Atomic flux ve genelleştirilmiş kimyasal kuvvetler elde edilmiştir. Bilgisayar simülasyonlan ile çeşitli parametreler değiştirlerek iki boyutta boşluk hareketi gerçekleştirilmiştir. Bu sırada elektron rüzgarı ve termostatik stress alam etkileri de göz önüne alınmıştır. Nümerik analizlerde, Laplace denkleminin çözümünde ve elektrostatik ve elektrostatik stres ile ilgili Kelvin denklemlerinde“Indirect Boundary Element Method”kullanılmıştır. Bunların sonucunda çok ilginç tane sının etkleşim morfolojileri ortaya çıkmıştır.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT COMPUTER SIMULATION OF ELECTROMIGRATION IN INTEGRATED CIRCUITS Uysal, Önder M.S., Department of Metallurgical and Materials Engineering Supervisor: Prof. Dr. Tank Ömer Oğurtanı December 1999, 139 pages In this study, the development of void damage during electromigration involves the shape change of voids. Using calculus of variation technique in connection with the fundamental postulates of linear irreversible thermodynamics, the kinetics of grain- boundary and void interaction at the triple junction is formulated by Oğurtanı. The atomic fluxes and generalized chemical forces are obtained. Extensive computer simulations have been performed on the configurational changes associated with voids during the inter and intragranual motions in two dimensional space, under the actions of capillary effect, electron wind and finally the thermohydrostatic stress field generated in passivated interconnects. In these numerical experiments, rather powerfull and fast ' Indirect Boundary Element Method, IBEM' has been utilised in the solution of Laplace as well as Kelvin equations related to electrostatic and the elastostatic-stress fields, respectively. As a result, very rich, and also unusual void grain-boundary interaction morphologies have been observed.
Benzer Tezler
- Computer simulation of grain boundary and cathode voiding N bamboo interconnects by surface diffusion under capillary and electromigration forges
Mikro elektronik devrelerdeki bambu benzeri arabağlantı elemanlarında gerçekleşen kapileri ve elektrogöç kuvvetlerinin etkisinde tane sınırı oluklanması ve katot bölgesinde boşluk oluşumu olaylarının bilgisayar modellemesi
ÖNCÜ AKYILDIZ
Yüksek Lisans
İngilizce
2004
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TARIK ÖMER OĞURTANI
- Computer simulation of electromigration induced void-grain boundary interactions and the prediction of cathode failure times in bamboo structures
Elektrogöç'e bağlı boşluk-tanecik sınırı etkileşimlerinin bilgisayar modellemesi ve bambu yapılardaki katot bozulma zamanlarının tahmini
ERSİN EMRE ÖREN
Doktora
İngilizce
2003
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TARIK OĞURTANI
- Computer simulation of grain boundary grooving by anisotropic surface drift diffusion due to capillary, electromigration and elastostatic forces
Kapiler, elektrogöç ve elastostatik kuvvetler etkisinde yön bağımlı yüzey sürüklenme difüzyonu ile tane sınırı oluklanmasının bilgisayar benzetimi
ÖNCÜ AKYILDIZ
Doktora
İngilizce
2010
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiPROF. DR. TARIK ÖMER OĞURTANI
PROF. DR. MEHMET KADRİ AYDINOL
- Investigation of electromigration induced hıllock and edge void dynamics on the interconnect surface by computer simulation
Yüzey tepecik ve boşluklarının elektrogöç nedenli dinamiğinin bilgisayar simülasyonu aracılığı ile araştırılması
AYTAÇ ÇELİK
Yüksek Lisans
İngilizce
2004
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TARIK OĞURTANI
- Investigation of electromigration and stress induced surface dynamics on the interconnect by computer simulation
Arabağlantı elemanlarının elektrogöç ve stress nedenli yüzey dinamiğinin bilgisayar simülasyonu aracılığı ile araştırılması
AYTAÇ ÇELİK
Doktora
İngilizce
2011
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü
PROF. DR. MEHMET KADRİ AYDINOL
PROF. DR. TARIK ÖMER OĞURTANI