PZT tabanlı akustik sensör üretimi ve karakterizasyonu
PZT-based acustic sensor production and characterization
- Tez No: 955473
- Danışmanlar: PROF. DR. TEVHİT KARACALI
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: PZT, kurşun zirkonat titanat, dönel kaplama, saçtırma, hibrit yöntem, PZT, lead zirconate titanate, spin-coating, sputtering, hybrid deposition
- Yıl: 2025
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Atatürk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Amaç: Bu çalışmanın amacı, kurşun zirkonat titanat (PZT) tabanlı fotoakustik sensör geliştirmek için PZT tabanlı akustik sensör üretimini gerçekleştirmektir. Bu kapsamda, PZT ince filmler dönel kaplama, RF saçtırma ve hibrit yöntemle çeşitli alttaşlar üzerine biriktirilmiş; elde edilen filmlerden akustik sensör yapıları oluşturulmuştur. Üretilen PZT filmlerin yapısal, yüzeysel ve optik özellikleri detaylı olarak incelenmiş ve sensör yapılarının elektriksel karakterizasyonu gerçekleştirilmiştir. Yöntem: Çalışmada, [Pb(Zr0,52Ti0,48)O3] bileşimindeki PZT filmler dönel kaplama, RF saçtırma ve her iki yöntemin ardışık olarak kullanıldığı hibrit bir yöntemle çeşitli alttaşlar üzerine biriktirilmiştir. Filmler, X-ışını kırınımı (XRD), taramalı elektron mikroskobu (SEM), enerji saçılım spektroskopisi (EDX) ve UV-VIS absorbans spektroskopisi gibi tekniklerle karakterize edilmiştir. Elde edilen PZT tabakalarına metalik elektrotlar (Ti/Ag) uygulanarak sandviç yapılar oluşturulmuş ve bu yapılar elektriksel olarak I-V ölçümleri ve frekansa bağlı empedans (|Z|-f) analizleriyle değerlendirilmiştir. Bulgular: Hibrit yöntemde kullanılan film biriktirme parametrelerinin yapısal ve yüzeysel özellikleri etkilediği, bu etkinin PZT filmlerdeki tanecik boyutunu değiştirdiği ve tanecik boyutunun, filmlerin elektriksel özelliklerini doğrudan etkilediği tespit edilmiştir. Sonuç: Bu tez çalışmasında dönel kaplama ve RF saçtırma yöntemlerinin bir araya getirilmesiyle literatüre yeni bir biriktirme yöntemi önerilmiş ve bu hibrit yöntemle başarılı şekilde PZT tabanlı akustik sensörler üretilmiştir. Elde edilen sensörlerin fotoakustik sensör üretimi için uygun olduğu belirlenmiştir.
Özet (Çeviri)
Purpose: The objective of this study is to fabricate PZT-based acoustic sensors for the development of photoacoustic sensor applications. In this context, lead zirconate titanate (PZT) thin films were deposited onto substrates using spin-coating, RF sputtering, and a hybrid method that combines both techniques sequentially. Acoustic sensor structures were fabricated using the obtained films. The structural, morphological, and optical properties of the PZT films were comprehensively characterized, and the electrical performance of the sensor structures was evaluated. Method: In this study, PZT thin films with the composition [Pb(Zr0,52Ti0,48)O₃] were deposited on substrates via spin-coating, RF sputtering, and a hybrid deposition approach that integrates both techniques. The films were characterized using X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX), and UV-VIS absorbance spectroscopy. Metallic electrodes (Ti/Ag) were applied to the PZT films to form sandwich structures, which were electrically characterized through current–voltage (I-V) measurements and frequency-dependent impedance (|Z|-f) analysis. Findings: It was found that the deposition parameters in the hybrid method significantly influenced the structural and surface properties of the PZT films. These effects altered the grain size of the films, which in turn had a direct impact on their electrical behavior. Results: In this thesis, a new hybrid deposition technique was proposed by combining spin-coating and RF sputtering methods, and PZT-based acoustic sensors were successfully fabricated using this approach. The results demonstrated that the developed sensors are suitable candidates for photoacoustic sensor applications.
Benzer Tezler
- Meteorolojik verilerin ısıl değerlendirilmesi ve bilgisayarda simülasyonu
Başlık çevirisi yok
KAYA SARICALI
- Zamanda ayrık sistemlerin modele uyumlu kontrolunda yeni bir yaklaşım
Başlık çevirisi yok
NİHAL YILDIZBAYRAK
Doktora
Türkçe
1983
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF. DR. M. KEMAL SARIOĞLU
- Yttrium doped P2T ceramics
Başlık çevirisi yok
AYDIN DOĞAN
Yüksek Lisans
İngilizce
1990
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUHARREM TİMUÇİN
- Kapalı hacimlardaki tabii yangınların analizinde yeni bir model
Ein Neues brandraummodeli für die analyse der natürlichen braende in geschlofenen raeumen
AYŞEN HAKSEVER
- GPS çalışmalarında en uygun uydu konumlarının belirlenmesi
The Determination of the most adequate satellite constallation in the GPS works
H.HAKAN DENLİ