Geri Dön

Integrated optical displacement sensors for scanning force microscopies

Taramalı uç mikroskopları için tümleşik optik algılayıcılar

  1. Tez No: 139316
  2. Yazar: COŞKUN KOCABAŞ
  3. Danışmanlar: PROF. DR. ATİLLA AYDINLI
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Taramalı uç mikroskobu, Taramalı kuvvet mikroskobu, Mach- Zehnder girişim, Halka çınlacı, Kırınım ağı çifleyici, Tümleşik optik, Dalga kılavuzu algılayıcıları. iv, Scanning Probe Microscopy, Scanning Force Microscopy, Mach- Zehnder interferometer, Ring resonator, Grating coupler, Displacement sensor, Integrated optics
  7. Yıl: 2003
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
  10. Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 105

Özet

Özet TARAMALI UÇ MİKROSKOPLARI İÇİN TÜMLEŞİK OPTİK ALGILAYICILAR Coşkun Kocabaş Fizik Yüksek Lisans Tez Yöneticisi: Prof. Atilla Aydınlı Temmuz 2003 Bu tezde, tümleşik optik ışık kılavuzu aygıtlarının taramalı uç mikrosko plarında algılayıcı olarak kullanılması incelendi. Bragg kırınım ağı, halka çınlacı, Mach-Zehnder girişim ölçerinden oluşan bu algılayıcılar düzlemsel yay üzerine imal edilip yüzey ve iğne arasında oluşan kuvvet nedeniyle sapmasını ölçmek için kullanılmaktadır. Düzlemsel yayın sapması, üzerine monte edilmiş optik aygıtın ışık geçirgenliğindeki değişimden faydalanılarak ölçülmektedir. Düzlemsel yaya takılı olan iğnenin haraketi sırasında düzlemsel yayın yüzeyinde oluşan zor, optik aygıtın kırınım indisini değiştirmesi sonucu optik geçirgenlikteki değişimlere sebep olmaktadır. Benzer şekilde optik dalga kılavuzu kırınım ağı çifleyicileri de algılayıcı olarak kullanılmıştır. Bu aygıtlar içeri ve dışarı çifleyici olmak üzere iki farklı durumda incelenmiştir. Düzlemsel yayın sapması sonucu saçılan ışığın doğrultusunda değişmeler oluşmakta ve saçılan ışığın şiddeti konum duyarlı fotodetektör ile ölçülebilmektedir. Önerilen bu yeni tasarım sayesinde 10~4Â-1 seviyesinde duyarlılık elde etmek mümkündür. 111

Özet (Çeviri)

tip displacement. The novel design proposed in this work provides very high displacement sensitivity of the order of 10-4Â-1.

Benzer Tezler

  1. Değişken kapasiteli yandan tahrikli elektrostatik mikromotor tasarımı

    Başlık çevirisi yok

    ERTUĞRUL DOĞAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1998

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Elektrik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. R. NEJAT TUNÇAY

  2. Theoretical and experimental investigation of silicon nanowire waveguide displacement sensors

    Eşzamanlı silikon nanokablo dalgakılavuzu yer-değişim algılayıcılarının kuramsal ve deneysel olarak incelenmesi

    MUHAMMET MUSTAFA KAYKISIZ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2013

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Mekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ERDAL BULĞAN

  3. Optical and micromechanical design and characterization of a laser scanning capsule endoscope unit

    Lazer taramalı kapsülü endoskop ünitesinin optik ve mikromekanik tasarımı ve karakterizasyonu

    İSRAA DHAHRAN SALAH ELDIN SALAHELDIN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2021

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. GÜNAY BAŞAR

    DOÇ. DR. ONUR FERHANOĞLU

  4. Monolithic and hybrid silicon-on-insulator integrated optical devices

    Yekpare ve melez yalıtkan üstü silisyum tümleşik optik aygıtlar

    İSA KİYAT

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2005

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF.DR. ATİLLA AYDINLI

  5. MEMS sensor platform for vital monitoring under mri and intraocular pressure measurement

    Yaşamsal işaretlerin ve göz içi basıncın ölçülmesine yönelik MEMS basınç ölçer platformunun geliştirilmesi

    PARVIZ ZOLFAGHARI

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2023

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Elektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ONUR FERHANOĞLU