Integrated optical displacement sensors for scanning force microscopies
Taramalı uç mikroskopları için tümleşik optik algılayıcılar
- Tez No: 139316
- Danışmanlar: PROF. DR. ATİLLA AYDINLI
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Taramalı uç mikroskobu, Taramalı kuvvet mikroskobu, Mach- Zehnder girişim, Halka çınlacı, Kırınım ağı çifleyici, Tümleşik optik, Dalga kılavuzu algılayıcıları. iv, Scanning Probe Microscopy, Scanning Force Microscopy, Mach- Zehnder interferometer, Ring resonator, Grating coupler, Displacement sensor, Integrated optics
- Yıl: 2003
- Dil: İngilizce
- Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 105
Özet
Özet TARAMALI UÇ MİKROSKOPLARI İÇİN TÜMLEŞİK OPTİK ALGILAYICILAR Coşkun Kocabaş Fizik Yüksek Lisans Tez Yöneticisi: Prof. Atilla Aydınlı Temmuz 2003 Bu tezde, tümleşik optik ışık kılavuzu aygıtlarının taramalı uç mikrosko plarında algılayıcı olarak kullanılması incelendi. Bragg kırınım ağı, halka çınlacı, Mach-Zehnder girişim ölçerinden oluşan bu algılayıcılar düzlemsel yay üzerine imal edilip yüzey ve iğne arasında oluşan kuvvet nedeniyle sapmasını ölçmek için kullanılmaktadır. Düzlemsel yayın sapması, üzerine monte edilmiş optik aygıtın ışık geçirgenliğindeki değişimden faydalanılarak ölçülmektedir. Düzlemsel yaya takılı olan iğnenin haraketi sırasında düzlemsel yayın yüzeyinde oluşan zor, optik aygıtın kırınım indisini değiştirmesi sonucu optik geçirgenlikteki değişimlere sebep olmaktadır. Benzer şekilde optik dalga kılavuzu kırınım ağı çifleyicileri de algılayıcı olarak kullanılmıştır. Bu aygıtlar içeri ve dışarı çifleyici olmak üzere iki farklı durumda incelenmiştir. Düzlemsel yayın sapması sonucu saçılan ışığın doğrultusunda değişmeler oluşmakta ve saçılan ışığın şiddeti konum duyarlı fotodetektör ile ölçülebilmektedir. Önerilen bu yeni tasarım sayesinde 10~4Â-1 seviyesinde duyarlılık elde etmek mümkündür. 111
Özet (Çeviri)
tip displacement. The novel design proposed in this work provides very high displacement sensitivity of the order of 10-4Â-1.
Benzer Tezler
- Değişken kapasiteli yandan tahrikli elektrostatik mikromotor tasarımı
Başlık çevirisi yok
ERTUĞRUL DOĞAN
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektrik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. R. NEJAT TUNÇAY
- Theoretical and experimental investigation of silicon nanowire waveguide displacement sensors
Eşzamanlı silikon nanokablo dalgakılavuzu yer-değişim algılayıcılarının kuramsal ve deneysel olarak incelenmesi
MUHAMMET MUSTAFA KAYKISIZ
Yüksek Lisans
İngilizce
2013
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ERDAL BULĞAN
- Optical and micromechanical design and characterization of a laser scanning capsule endoscope unit
Lazer taramalı kapsülü endoskop ünitesinin optik ve mikromekanik tasarımı ve karakterizasyonu
İSRAA DHAHRAN SALAH ELDIN SALAHELDIN
Yüksek Lisans
İngilizce
2021
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. GÜNAY BAŞAR
DOÇ. DR. ONUR FERHANOĞLU
- Monolithic and hybrid silicon-on-insulator integrated optical devices
Yekpare ve melez yalıtkan üstü silisyum tümleşik optik aygıtlar
İSA KİYAT
Doktora
İngilizce
2005
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. ATİLLA AYDINLI
- MEMS sensor platform for vital monitoring under mri and intraocular pressure measurement
Yaşamsal işaretlerin ve göz içi basıncın ölçülmesine yönelik MEMS basınç ölçer platformunun geliştirilmesi
PARVIZ ZOLFAGHARI
Doktora
İngilizce
2023
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ONUR FERHANOĞLU