Geri Dön

İnce filmlerin kalınlık ve optiksel sabitlerinin bulunması

Determination of optical constants and thickness of thin films

  1. Tez No: 150028
  2. Yazar: MİNE ERDEM ÖZGÜR
  3. Danışmanlar: PROF.DR. TÜLAY SERİN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Thin Films, Amorphous Silicon, Thickness, Refractive Index, Absorbtion Cofficient, Electrical Conductivity, Urbach's Constant, Electronical Band Gap
  7. Yıl: 2004
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Ankara Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 83

Özet

ÖZET Yüksek Lisans Tezi İNCE FİLMLERİN OPTİK SABİTLERİNİN VE KALINLIĞININ BELİRLENMESİ Mine ERDEM ÖZGÜR Ankara Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fizik Mühendisliği Anabilim Dalı Danışman: Prof.Dr.Tülay SERİN Bu çalışmanın amacı ince filmlerin kalınlık, soğurma sabiti, kırılma indisi ve band aralığı enerjisi gibi optiksel özelliklerini yeni bir yöntem yardımıyla incelemektir. Bu amaçla saf a-Si:H (Hidrojenlendirilmiş amorf silikon) ince filmlerinin, Perkin Elmer UV-VIS Spectrometer Lambda 2S spektrometresinde 600-1100 nm dalga boyu aralığında geçiş spektrumları ölçülmüştür. Bu spektrumlardan ince filmin geçirdiği ışığın geçiş genliği değerleri ölçülerek, ince filmin her dalga boyundaki kırılma indisi değerleri, bu değerler kullanılarak ortalama kalınlığı ve her dalga boyundaki soğurma sabiti değerleri hesaplanmıştır. Daha sonra her dalga boyunda elde edilen soğurma sabitlerinin karesinin enerjiye karşı grafiği çizilerek, bu grafikten ince filmin bant aralığı enerji değeri (Eg) hesaplanmıştır. a-Si:H ince filmler için Eg=l,78 eV bulunmuştur Soğurma sabitinin enerjiye karşı yarı logaritmik grafiği çizilerek bu grafikten Urbach sabiti (Eo) hesaplanmıştır. Aynı zamanda ince filmlerin elektriksel iletkenlikleri 40 °C - 100 °C aralığında iki nokta yöntemi yardımıyla bulunmuş ve bu değerler kullanılarak örneklerin aktivasyon enerjisi hesaplanmıştır. Ea=0,68 eV bulunmuştur. Saf a-Si:H ince filmin band aralığı enerjisi aktivasyon enerjisinin yaklaşık iki katıdır. 2004, 70 sayfa ANAHTAR KELİMELER: İnce Filmler, Amorf Silikon, Kalınlık, Kırılma İndisi, Soğurma Sabiti, Elektriksel İletkenlik, Urbach Sabiti, Elektronik Bant Aralığı

Özet (Çeviri)

ABSTRACT Master Thesis DETERMINATION OF OPTICAL CONSTANTS AND THICKNESS OF THIN FILMS Mine ERDEM ÖZGÜR Ankara University Graduate School of Natural and Applied Sciences Department of Engineering Physics Supervisor: Prof.Dr.Tülay SERİN The purpose of this thesis is to investigate a new method for determining optical properties of thin films such as thickness, refractive index and absorption coefficients For this reason, the transmission spectrums of pure a-Si:H thin films were measured between 600-1000 nm wavelength range by using a Perkin Elmer UV-VIS Lambda 2S spectrometer. Using the obtained spectrums, the refractive indexes, the average thickness and the absorption coefficients of thin films were determined for each wavelength by measuring the transmission amplitude of the light that transmit through thin films. After that, the curve of absorption coefficient for each wavelength versus energy was obtained. Using this graph, energy band gap value (Eg) for a-Si:H thin film was calculated. The energy band gap value for a-Si:H thin film is Eg=1.78 eV. The logaritmic plot of the absorption coefficient versus energy was drawn and using this graph the Urbach Coefficient (Eo) was calculated. In addition, the electrical conductivity of thin films was calculated between range of 40°C-100°C temperatures by two point method and using these values the activation energy of thin films was determined Ea=0.68 eV was found. The energy of band gap of a-Si:H thin film is almost two times than activation energy. 2004, 70 pages

Benzer Tezler

  1. Çok kristalli CdTe ince filmlerinin optiksel özellikleri: Optiksel sabitlerin 'zarf yöntemiyle' saptanması

    Optical properties of polycrystalline cdte thin films: Determination of optical constants by 'envelope method'

    BENGÜL ZENCİR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2007

    Fizik ve Fizik MühendisliğiMuğla Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. MURAT BAYHAN

  2. Püskürtme yöntemiyle büyütülen Cu katkılı ZnO filmlerin optiksel özelliklerinin incelenmesi

    The investigation of optical properties of Cu doped ZnO deposited by means of spray method

    ZEYNEP GÜNDÜZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2013

    Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. TÜLAY SERİN

  3. Fiziksel kaplama teknikleriyle üretilen CuIn1-xGaxSe2 ince filmlerin yapısal, elektriksel ve optiksel özellikleri

    Structural, electrical and optical properties of CuIn1-xGaxSe2 thin films fabricated by physical deposition techniques

    SARE AKGÖZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. HAKAN KARAAĞAÇ

  4. ALD yöntemi kullanılarak üretilmiş ZnO,TiO2 ve HfO2 ince film kaplamaların karakterizasyonu ve diyot özelliklerinin incelenmesi

    Characterizations and diode properties of ZnO, TiO2 and HfO2 thin films produced by ALD

    YAĞMUR ALTAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Metalurji MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HAKAN ATEŞ

  5. Bizmut katkılı ZnO ince filmlerin X-ışını yansıma yöntemiyle bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi

    Inventigation of some physical propertices of bismuth doped ZnO thin films by X-ray reflection

    AHMET AFYONCUOĞLU

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2022

    Fizik ve Fizik MühendisliğiHarran Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. FERHAT ASLAN