SiO2 ve SiO2-TiO2 ince filmlerinin sol-gel yöntemi ile üretilmesi ve mikroyapısal karakterizasyonu
SiO2 and SiO2-TiO2 thin deposition by sol-gel method and microstructural characterization
- Tez No: 171061
- Danışmanlar: DOÇ.DR. ENGİN BAŞARAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2005
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gebze Yüksek Teknoloji Enstitüsü
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 69
Özet
IV ÖZET Bu tezde Si02 ve SİO2-TİO2 ince filmleri sol-gel döndürme (spin) kaplama metoduyla üretilmiştir. Çözelti hazırlamada Si kaynağı olarak Tetramethylorthosilicate (TMOS), Ti kaynağı olarak Titanium (IV) Propoxide (TTIP) başlangıç öncüleri, 2-Propanol ve saf su kullanılmıştır. Hazırlanan çözeltiler Si altlıklar üzerine spin kaplama cihazı ile kaplanmış ve ince filmler değişik sıcaklıklarda 1 saat tavlanmıştır. Filmlerin mikroyapısal özellikleri X ışınlan kırınımı analizi (XRD) ve taramalı elektron mikroskobu (SEM) ile incelenmiştir. XRD ve SEM sonuçlan SİO2 ve SİO2-TİO2 ince filmlerinin amorf yapıda olduğunu göstermiştir. İnce filmlerin homojenliğinin ve mikroyapısının altlık yüzeyinin temizliği, çevresel şartlar, kurutma ve tavlama işlemleri sırasında yüzeyde oluşan gerilimler ve kullanılan kimyasallar ile yakından ilişkili olduğunu göstermiştir. SEM ile yapılan yan kesit ölçümlerinden SİO2-TİO2 filmlerin kalınlığı 0.75 nm civannda görülmüştür.
Özet (Çeviri)
SUMMARY In this thesis, the thin films of Si02 ve SİO2-TİO2 have been produced by the sol-gel spin coating method. Tetramethylorthosilicate (TMOS) as a source of Si and Titanium (IV) Propoxide (TT1P) as a source of Ti were used as a started precurser. In addition 2-Propanol and water were used to prepare the solutions. The solutions prepared have been deposited on Si wafer by the spin coater and thin films obtained were annealed under various annealing temperatures for 1 hour. The micostructural properties of the thin films have been investigated by X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM). The results of XRD and SEM showed that the thin films of Si02 ve Si02- T1O2 were amorphous. The results indicated that microstructure and homogeneity of thin films are mainly related to the surface cleanless of the substrates, enviremental conditions, stress produced during the drying and annealing process and materials which used for the solutions. The films thicknesses were measured to be around 0.75 nm from cross section measurement of the SİO2-TİO2 by SEM.
Benzer Tezler
- Optik filtre uygulamaları için katmanlı ve katkılı metal oksit filmlerin oluşturulması
Production of layered and doped metal oxide films for optical filter applications
DURŞEN SAYGIN HİNCZEWSKİ
Doktora
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FATMA ZEHRA TEPEHAN
- Thin film coatings with various materials and techniques for smart glass applications
Akıllı cam uygulamaları için farklı malzemeler ve tekniklerle ince film kaplamalar
AYŞE DİCEL
Yüksek Lisans
İngilizce
2021
Bilim ve Teknolojiİstanbul Teknik ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ESRA ZAYİM
- TiO2 ince filmleri ile kaplanmış yüzeylerin Escherichia coli'ye karşı fotokatalitik bakterisidal etkilerinin incelenmesi
The investigation of photocatalytic bactericidal effects against Escherichia coli by TiO2 thin films coated surfaces
FİGEN ÖZYILDIZ
- TiO2 ince filmleri ile kaplanmış yüzeylerin Staphylococcus aureus'a karşı fotokatalitik bakterisidal etkilerinin incelenmesi
The investigation of photocatalytic bactericidal effects against Staphylococcus aureus by TiO2 thin films coated surfaces
HAFİZE EFENDİLER
- Photocatalytic antimicrobial and self-cleaning properties of titania-silica mixed oxide thin films
Titanyum-silisyum oksit karışımı ince filmlerin foto-katalitik antimikrobiyal ve kendi kendini temizleme özellikleri
BERİL KORKMAZ ERDURAL
Doktora
İngilizce
2012
Kimya MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. UFUK BÖLÜKBAŞI
PROF. DR. GÜRKAN KARAKAŞ