SiO2 ince filmlerin sol jel yöntemi ile elde edilmesi ve mikroyapısal karakterizasyonu
SiO2 thin film deposition by sol-gel method and microstructural characterization
- Tez No: 171062
- Danışmanlar: DOÇ.DR. ENGİN BAŞARAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2005
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gebze Yüksek Teknoloji Enstitüsü
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 69
Özet
ÖZET Bu tez çalışmasında Si02 ince filmler sol jel döndürerek kaplama yöntel hazırlanmıştır. Çözeltiler hazırlanırken alkosit sınıfından tetramethylorthosilicate (TMOS) [Si(OCH3)4], başlangıç çözeltisi olarak kullanılmıştır. TMOS, propan2ol (C3H70H)'de çözdürüldükten sonra H2O hidroliz için damla damla çözeltiye eklenmiş ve çözeltiler hava ortamında iki saat karıştırılmıştır. Hazırlanan çözeltiler Si altlık üzerine kaplanarak hava ortamında 800° C, 900° C ve 1000° C'de tavlanmıştır. Elde edilen SİO2 ince filmlerin mikroyapısal özellikleri taramalı elektron mikroskobu (SEM) ve X ışını kırınımı (XRD) ile incelenmiştir. Sonuç olarak, sol jel ile elde edilen Si02 ince filmlerin 800° C, 900° C ve 1000° C'de amorf yapıda olduğu gözlenmiştir. SEM ile yapılan yan kesit ölçümlerinden tek bir katman için film kalınlığının 0.80 nm civarında olduğu görülmüştür. İnce filmlerin mikroyapısı çevresel şartlardan, kurutma ve tavlama işlemlerinden ve çözeltide kullanılan malzemelerden önemli ölçüde etkilediği gözlenmiştir.
Özet (Çeviri)
SUMMARY In this thesis study, SİO2 thin films were produced on Si substrates by sfflpgefc spin coating tecnique. Tetramethylorthosilicate (TMOS) [Si(OCH3)4], which is a type of metal alkoxides from organic precursors, is used as precursor solution. TMOS was dissolved in propan2ol (C3H7OH), and then H2O has added into solution drop by drop for hydrolysis. This solution was mixed in air for two hours. The prepared solution was then deposited on Si substrates. Finally these films were annealed at 800° C, 900° C, 1 000° C in air atmosphere for one hour. The microstructure of these films were investigated by using SEM. Consequently, it was observed that SİO2 thin films, which were derived from sol gel, were amourphous at 800° C, 900° C, 1000° C. Film thickness for one layer was measured to be around 0.80 nm from cross section measuments by SEM. The results indicated that microstructure of the thin films are mainly related to the environmental conditions, stress produced by drying and annealing processes and materials used for the solutions.
Benzer Tezler
- Co, Mn, Nd katkılı SiO2 ve SiO2-TiO2 ince filmlerin elde edilmesi ve optik özellikleri
Obtaining of Co, Mn, Nd doped SiO2 and SiO2-TiO2 thin films and their optical properties
ESRA ULUADAOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiKocaeli ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MERAL HOŞCAN
- Sol–jel yöntemi ile hazırlanan TiO2–SiO2 nanokompozit ince filmlerin fiziksel ve mekanik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of physical and mechanical properties of TiO2–SiO2 nanocomposite thin films prepared by sol-gel method
EZGİ DENİZ BİÇER
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ESRA ÖZKAN ZAYİM
UZMAN REFİKA BUDAKOĞLU
- Katkısız SiO2-TiO2 ince filmlerin elde edilmesi ve optik özelliklerinin incelenmesi
Preparation of undoped SiO2-TiO2 thin films and investigation of their optical properties
ADİL ÖZTÜRK
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiKocaeli ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MERAL HOŞCAN
- Preparation and characterization of titania-silica-gold thin films over ito substrates for laccase immobilization
Lakkaz tutuklanması için ıto üzerinde titantum dioksit-silisyum dioksit-altın ince filmler elde edilmesi ve karakterizasyonu
ZEYNEP EKER
Yüksek Lisans
İngilizce
2009
BiyoteknolojiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
PROF. DR. GÜRKAN KARAKAŞ
PROF. DR. MÜRVET VOLKAN
- Sol jel yöntemi ile nano SiO2 sentezi ve uygulamaları
Synthesis of nano silicondioxide particles via sol-gel method and applications
ÖMER KESMEZ