An adjustable impedance matching network using RF MEMS technology
RF MEMS teknoloji ile ayarlanabilir empedans uyumlama devresi
- Tez No: 173101
- Danışmanlar: DOÇ.DR. TAYFUN AKIN, Y.DOÇ.DR. ŞİMŞEK DEMİR
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Empedans uyumlayıcı, RF MEMS, sığal (kapasitif) yüklenmiş hat, eşdüzlemli dalga kılavuzu, mikroişleme. vı, Impedance matcher, RF MEMS, capacitively loaded line, CPW, micromachining. IV
- Yıl: 2003
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 152
Özet
oz RF MEMS TEKNOLOJİSİ İLE AYARLANABİLİR EMPEDANS UYUMLAMA DEVRESİ Ünlü, Mehmet Yüksek Lisans, Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü Tez Yöneticisi: Yrd. Doç. Dr. Şimşek Demir Ortak Tez Yöneticisi: Doç. Dr. Tayfun Akın Eylül 2003, 137 sayfa Bu tez RF MEMS ayarlanabilir empedans uyumlama devresinin tasarım, modelleme ve üretimini sunmaktadır. Aygıt empedans uyumlama için temel üç kütüklü empedans uyumlama tekniğini kullanmaktadır. Aygıtın üç adet, sığal (kapasitif) yüklenmiş eş düzlemli dalga kılavuzu olarak inşa edilmiş ayarlanabilir uzunlukta kütüğü bulunmaktadır. Kütüklerin sığal olarak yüklenmesi kütükler üzerine eş aralıklarla yerleştirilmiş MEMS anahtarlarla gerçekleştirilmektedir. Herkütük üzerinde A/40 aralıklarla yerleştirilmiş 40, toplam olarak da aygıtta 120 MEMS anahtar bulunmaktadır. Kütük uzunluğunun ayarlanabilirliği istenen uzunluğa en yalan MEMS anahtarın kapatılması ve toprağa sanal bir kısa devre yapılmasıyla sağlanmaktadır. Aygıt teorik olarak Smith abağı üzerinde her noktaya uyumlama yapma yeteneğine sahiptir. Aygıt, iletim hattı olarak eş düzlemli dalga kılavuzu kullanmaktadır. Aygıtın çalışma frekansı lOGHz'dir, ama aygıtın ayarlanabilirlik özelliğinden dolayı aygıtın l-40GHz arasında çalışması beklenmektedir. Aygıtın boyutları 8950 x 5720um2,dir. Bu çalışma RF MEMS aygıtların üretimi üzerine yapılan ilk ulusal çalışmanın devamıdır. Bu çalışmadaki aygıt yüzey mikroişleme teknolojisi ile Orta Doğu Teknik Üniversitesi mikroelektronik tesislerinde üretilmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT AN ADJUSTABLE IMPEDANCE MATCHING NETWORK USING RF MEMS TECHNOLOGY Ünlü, Mehmet M. Sc., Department of Electrical and Electronics Engineering Supervisor: Asst. Prof. Dr. Şimşek Demir Co-Supervisor: Assoc. Prof. Dr. Tayfun Akın September 2003, 137 pages This thesis presents design, modeling, and fabrication of an RF MEMS adjustable impedance matching network. The device employs the basic triple stub matching technique for impedance matching. It has three adjustable length stubs which are implemented using capacitively loaded coplanar waveguides. The capacitive loading of the stubs are realized using the MEMS switches which are evenly distributed over the stubs. There are 40 MEMS bridges on each stub which mare separated with X/40 spacing making a total of 120 MEMS switches in the structure. The variability of the stub length is accomplished by closing the MEMS switch nearest to the required stub length, and making a virtual short circuit to ground. The device is theoretically capable of doing matching to every point on the Smith chart. The device is built on coplanar waveguide transmission lines. It has a center operating frequency of 10GHz, but because of its adjustability property it is expected to work in l-40GHz range. It has dimensions of 8950 x 5720um2. This work is the continuation of the first national work on fabrication of RF MEMS devices. The device in this work is fabricated using the surface niicromachining technology in the microelectronic facilities of Middle East Technical University.
Benzer Tezler
- 5G sistemleri için yeni nesil anten tasarımı
A novel generation antenna design for 5G systems
ELİF MERVE KÜÇÜKÖNER
Doktora
Türkçe
2023
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSüleyman Demirel ÜniversitesiElektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EVREN EKMEKÇİ
- A novel suspended-load backpack with manually adjustable impedance to reduce metabolic cost of carrying loads
Yük taşıma metabolik maliyetini azaltmak için manuel olarak ayarlanabilir empedansa sahip yeni bir askıda yük sırt çantası
BATUHAN TOKER
Yüksek Lisans
İngilizce
2021
Mekatronik MühendisliğiSabancı ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. VOLKAN PATOĞLU
- Design of a stylus with variable tip compliance
Değiştirilebilir uç esnekliğine sahip stylus tasarımı
ÖZDEMİR CAN KARA
- DLC arayüzey tabakalı metal- yarıiletken yapıların üretilmesi ve dielektrik özelliklerinin frekansa bağlı incelenmesi
Production of DLC interface layered metal-semiconductor structures and frequency dependent investigation of dielectric properties
NURAY URGUN
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Mekatronik MühendisliğiKarabük ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SERHAT ORKUN TAN
- Seçici paraben tayini için moleküler baskılanmış elektrokimyasal sensörlerin geliştirilmesi
Developing of molecularly imprinted electrochemical sensor for selective paraben detection
BEYHAN BUSE YÜCEBAŞ