Geri Dön

Fabrication and characterization of aluminum oxide and silicon/aluminum oxide films with Si nanocrystals formed by magnetron co-sputtering technique

Aluminyum oksit ve silisyum/aluminyum oksit ince filmlerin mıknatıslı eş saçtırma tekniği ile üretilmesi ve incelenmesi

  1. Tez No: 176788
  2. Yazar: İLKER DOĞAN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. RAŞİT TURAN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Bilim ve Teknoloji, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Science and Technology, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2008
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 128

Özet

Doğru akım (DC) ve radyo frekanslı (RF) mıknatıslı eş saçtırma tekniği, değişik kompozisyonlu ince film üretimi için kullanılan en uygun tekniklerden biridir. Bu çalışmada, Al2O3 ve Si/Al2O3 ince filmleri mıknatıslı eş saçtırma yöntemi ile üretilmiştir. Al2O3 ince filmler için, stokiyometrik, optik ve kristalografikanalizler gerçekleştirilmiştir. Si içeren Al2O3 örnekler için ise, Si nanokristallerin oluşum koşulları incelenmiştir. Bunun için, ince filmler Si (100) alttaşlarınüzerine saçtırılmıştır. Al2O3 matrisin ve Si nanokristallerin değişik sıcaklıklardaki evrimini incelemek için örnekler üretim sonrası fırınlamaya tabi tutulmuştur. Kristalografik özellikler ve nanokristallerin boyutları X-Işını Kırınımı (XRD) tekniği ile belirlenmiştir. Atomik derişimlerdeki değişim ve bağ oluşumları XIşını Fotoelektron Spektroskopisi (XPS) ile incelenmiştir. Si nanokristallerin ve Al2O3 matrisin ışıma özellikleri ise Fotoışıma Spektroskopisi (PL) ile incelenmiştir. Son olarak, matristen ve nanokristallerden gelen karakteristik ışımalar ayrı ayrı tanımlanmıştır.

Özet (Çeviri)

DC and RF magnetron co-sputtering techniques are one of the most suitable techniques in fabrication of thin films with different compositions. In this work, Al2O3 and Si/Al2O3 thin films were fabricated by using magnetron co-sputtering technique. For Al2O3 films, the stoichiometric, optical and crystallographic analyses were performed. For Si contained Al2O3 films, the formation conditions of Si nanocrystals were investigated. To do so, these thin films were sputtered on Si (100) substrates. Post annealing was done in order to clarify the evolution of Al2O3 matrix and Si nanocrystals at different temperatures. Crystallographic properties and size of the nanocrystals were investigated by X-ray diffraction (XRD) method. The variation of the atomic concentrations and bond formations were investigated with X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The luminescent behaviors of Si nanocrystals and Al2O3 matrix were investigated with photoluminescence (PL) spectroscopy. Finally, the characteristic emissions from the matrix and the nanocrystals were separately identified.

Benzer Tezler

  1. AL7Sİ-xB4C VE AL7Sİ-xZrB2 (x= %5, %10 VE %15)kompozitlerinin mekanik alaşımlama ve sinterleme süreçlerinin incelenmesi ve karakterizasyon çalışmaları

    Development and characterization of AL7SI-xB4C AND AL7SI-xZRB2 (x= 5 wt.%, 10 wt.% AND 15 wt.%) composites via mechanical alloying and sintering

    BERNA KAYA

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2014

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUSTAFA LUTFİ ÖVEÇOĞLU

  2. Seydişehir alüminasında kalıplamayla seramik malzemelerin üretilmesi

    Başlık çevirisi yok

    TURAN TAMBAŞ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1998

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SERDAR ÖZGEN

  3. Katkılı ve katkısız çinko oksit (ZnO) ince filmlerin hazırlanması ve karakterizasyonu

    Preparation and characterization of doped and undoped zinc oxide (ZnO) thin films

    İDRİS SORAR

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2008

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. FATMA Z. TEPEHAN

  4. Investigation of anode properties and battery performances of metal mixed graphites for lithium ion batteries

    Lityum iyon pillerde metal ile katkılandırılmış grafitlerin anot özelliklerinin ve pil performanslarının incelenmesi

    HANDAN BAKALCI

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2015

    Enerjiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Enerji Bilim ve Teknoloji Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. NİLGÜN YAVUZ