Fabrication and characterization of aluminum oxide and silicon/aluminum oxide films with Si nanocrystals formed by magnetron co-sputtering technique
Aluminyum oksit ve silisyum/aluminyum oksit ince filmlerin mıknatıslı eş saçtırma tekniği ile üretilmesi ve incelenmesi
- Tez No: 176788
- Danışmanlar: PROF. DR. RAŞİT TURAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Bilim ve Teknoloji, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Science and Technology, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2008
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 128
Özet
Doğru akım (DC) ve radyo frekanslı (RF) mıknatıslı eş saçtırma tekniği, değişik kompozisyonlu ince film üretimi için kullanılan en uygun tekniklerden biridir. Bu çalışmada, Al2O3 ve Si/Al2O3 ince filmleri mıknatıslı eş saçtırma yöntemi ile üretilmiştir. Al2O3 ince filmler için, stokiyometrik, optik ve kristalografikanalizler gerçekleştirilmiştir. Si içeren Al2O3 örnekler için ise, Si nanokristallerin oluşum koşulları incelenmiştir. Bunun için, ince filmler Si (100) alttaşlarınüzerine saçtırılmıştır. Al2O3 matrisin ve Si nanokristallerin değişik sıcaklıklardaki evrimini incelemek için örnekler üretim sonrası fırınlamaya tabi tutulmuştur. Kristalografik özellikler ve nanokristallerin boyutları X-Işını Kırınımı (XRD) tekniği ile belirlenmiştir. Atomik derişimlerdeki değişim ve bağ oluşumları XIşını Fotoelektron Spektroskopisi (XPS) ile incelenmiştir. Si nanokristallerin ve Al2O3 matrisin ışıma özellikleri ise Fotoışıma Spektroskopisi (PL) ile incelenmiştir. Son olarak, matristen ve nanokristallerden gelen karakteristik ışımalar ayrı ayrı tanımlanmıştır.
Özet (Çeviri)
DC and RF magnetron co-sputtering techniques are one of the most suitable techniques in fabrication of thin films with different compositions. In this work, Al2O3 and Si/Al2O3 thin films were fabricated by using magnetron co-sputtering technique. For Al2O3 films, the stoichiometric, optical and crystallographic analyses were performed. For Si contained Al2O3 films, the formation conditions of Si nanocrystals were investigated. To do so, these thin films were sputtered on Si (100) substrates. Post annealing was done in order to clarify the evolution of Al2O3 matrix and Si nanocrystals at different temperatures. Crystallographic properties and size of the nanocrystals were investigated by X-ray diffraction (XRD) method. The variation of the atomic concentrations and bond formations were investigated with X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The luminescent behaviors of Si nanocrystals and Al2O3 matrix were investigated with photoluminescence (PL) spectroscopy. Finally, the characteristic emissions from the matrix and the nanocrystals were separately identified.
Benzer Tezler
- AL7Sİ-xB4C VE AL7Sİ-xZrB2 (x= %5, %10 VE %15)kompozitlerinin mekanik alaşımlama ve sinterleme süreçlerinin incelenmesi ve karakterizasyon çalışmaları
Development and characterization of AL7SI-xB4C AND AL7SI-xZRB2 (x= 5 wt.%, 10 wt.% AND 15 wt.%) composites via mechanical alloying and sintering
BERNA KAYA
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA LUTFİ ÖVEÇOĞLU
- Seydişehir alüminasında kalıplamayla seramik malzemelerin üretilmesi
Başlık çevirisi yok
TURAN TAMBAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SERDAR ÖZGEN
- High Dynamic Range CMOS-MEMS capacitive accelerometer array with drift compensation
Başlık çevirisi yok
METIN GOKHAN GUNEY
Doktora
İngilizce
2018
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolCarnegie Mellon UniversityPROF. GARY K. FEDDER
- Katkılı ve katkısız çinko oksit (ZnO) ince filmlerin hazırlanması ve karakterizasyonu
Preparation and characterization of doped and undoped zinc oxide (ZnO) thin films
İDRİS SORAR
Doktora
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FATMA Z. TEPEHAN
- Investigation of anode properties and battery performances of metal mixed graphites for lithium ion batteries
Lityum iyon pillerde metal ile katkılandırılmış grafitlerin anot özelliklerinin ve pil performanslarının incelenmesi
HANDAN BAKALCI
Yüksek Lisans
İngilizce
2015
Enerjiİstanbul Teknik ÜniversitesiEnerji Bilim ve Teknoloji Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NİLGÜN YAVUZ