Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemiyle çinko nitrür (Zn3N2) üretimi ve optiksel özellikleri
Production and optical properties of zinc nitride (Zn3N2) by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition system
- Tez No: 178369
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Biyokimya, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Kimya, Biochemistry, Physics and Physics Engineering, Chemistry
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2008
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Bölümü
- Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 126
Özet
Bu çalışmada Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama yöntemi ile Zn3N2 ince filmler oda sıcaklığında cam ve silisyum olmak üzere iki ayrı alt taban üzerine aynı kalınlık farklı basınçlarda ve aynı basınç farklı kalınlıklarda üretildi. Elde edilen filmlerin optik ve yapısal özelliklerinin kalınlık ve basınç değişiminden nasıl etkilendiği araştırıldı.
Özet (Çeviri)
In this work, Zn3N2 thin films were produced on glass and silicon substrates by Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition Method at room temperature for the same thickness at different pressure and for different thickness at the same pressure. Furthermore, the influence of thickness and pressure on the optical and structural properties were investigated for the produced Zn3N2 thin films.
Benzer Tezler
- Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemiyle p-tipi çinko oksit (ZnO) üretimi ve elektriksel özellikleri
Production and electrical properties of p-type zinc oxide (ZnO) by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition method
HAVVA YANIŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Atmalı plazma katodik ark yöntemiyle elde edilmiş ZnO (çinko oksit) ince filmlerde fotoiletkenlik
Photoconductivity of ZnO thin films which are grown by cathodic arc deposition
LATİFE NÜKHET ÖZBAYRAKTAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Atmalı katodik vakum ark depolama sistemiyle üretilen ZnO'nun elektriksel iletkenliği ve ısıl işlemle değişimi
Electrical conductivity and changing with thermal operation of ZnO which growth by pulsed cathodic vacuum arc deposition
MEDİHA SOYLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ŞADİ YILMAZ
- ZnO ince filmlerinin eldesi ve aygıt üretimi için parametrelerinin optimizasyonu
Deposition of thin ZnO films and parameter optimization for device production
EBRU ŞENADIM TÜZEMEN
Doktora
Türkçe
2007
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemi ile p-tipi ZnO (çinko oksit) üretimi ve yapısal özellikleri
P-type ZnO (zinc oxide) which are grown by pulsed filtered cathodic arc deposition method and structural properties
KAMURAN KARA
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF. DR. RAMAZAN ESEN