Design and fabrication of electrostatically actuated nanotweezers by guided self-assembly
Elektrostatik hareket prensibi ile çalışan nano cımbızların tasarımı ve yönlendirilmiş kendinden birleşme metodu ile üretimi
- Tez No: 182070
- Danışmanlar: Y.DOÇ.DR. ERDEM ALACA
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Makine Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Electrical and Electronics Engineering, Mechanical Engineering, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2006
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Koç Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 207
Özet
Objelerle nano metrik hassasiyetle etkileşim kabiliyeti olan nano ölçekli uçlara sahipNano-Elektro-Mekanik Sistemlerin (NEMS) nano bilim ve teknoloji alanlarında pekçok uygulaması bulunmaktadır. Bunların arasında, DNA molekülleri, karbon nanotüpler, nano teller ve nano parçacıklar gibi nano ölçekli objelerin tutulmasını vehareket ettirilmesini mümkün kılan nano cımbızların önemi büyüktür.Bu yüksek lisans tezi, elektrostatik hareket prensibi ile çalışan ve yönlendirilmişkendinden birleşme metodu ile üretilen nano tel uçlara sahip nano cımbızlarıntasarım ve üretimi ile ilgilidir. Başlıca amaç, işlem karmaşıklığını azaltacak ve olasıtasarım değişikliklerini mümkün kılacak şekilde, nano tellerin mikro elektronik ile tekbir üretim serisi içerisinde bütünleşmesini sağlamaktır. İkinci bir amaç ise, yüksekhassasiyetle kontrol sağlayan ve nano ölçekli uçlara sahip bir hareketmekanizmasının tasarımıdır.Bu tezin ana başarıları, (1) yönlendirilmiş kendinden birleşme yöntemi ile nano telüretimi için elekrodepozisyon işleminin optimizasyonu, (2) elektrostatik prensiplehareket eden taraklardan oluşan bir hareket mekanizmasının tasarım ve analizi, (3)nano cımbızlar için alternatif bir termal hareket mekanizmasının tasarım ve analizi,(4) nano cımbızların Kopenhag'daki, Danimarka Teknik Üniversitesi (DTU) Mikro veNano Teknoloji Departmanı'nda (MIC), üretilmesi ve (5) nano cımbızların mekaniktest ve karakterizasyonunun yine MIC ve Koç Üniversitesi (KU) temiz oda tesislerindegerçekleştirilmesi şeklinde sıralanabilir.
Özet (Çeviri)
Nano-Electro-Mechanical Systems (NEMS) with nano-scale end-effectors, whichare capable of interacting with objects with nano-metric precision, have manyapplications in nano-science and technology. Among these, nanotweezers havea significant importance, which enable handling and manipulation of nano-scaleobjects such as DNA molecules, carbon nanotubes, nanowires and nanoparticles.This M.S. thesis deals with the design and fabrication of electrostatically actuatednanotweezers with nanowire end-effectors fabricated by guided self-assembly.Primary aim is achieving the integration of nanowires into microelectronics in asingle batch process, reducing process complexity and enabling possible designvariations. Secondary aim is the design of an actuation mechanism with nano-scale end-effectors and providing a high-precision control.Major accomplishments of this research can be listed as (1) optimization of theelectro-deposition process for nanowire fabrication by guided self-assembly, (2)design and analysis of an electrostatically driven comb actuation mechanism forthe nanotweezers, (3) design and analysis of an alternative thermal actuationmechanism for the nanotweezers and (4) fabrication of the nanotweezers in theDepartment of Micro and Nanotechnology (MIC) at Technical University ofDenmark (DTU), in Copenhagen and mechanical testing and characterization ofnanotweezers again at MIC and Koç University (KU) cleanroom facilities.
Benzer Tezler
- Design and simulation of electrostatically actuated MEMS cantilever beam switch
Elektriksel olarak aktive olan kiriş tipi MEMS anahtarların tasarımı ve simulasyonu
AYŞE ÖZGÜL ERTANIR
Yüksek Lisans
İngilizce
2011
Bilim ve Teknolojiİstanbul Teknik ÜniversitesiKontrol ve Otomasyon Mühendisliği Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. SERHAT İKİZOĞLU
- Development of an integrated lab-on-a-chip (LOC) platform for multidrug effect analysis
Çoklu ilaç etkisi analizi için entegre bir çip üstü laboratuvar platformunun geliştirilmesi
ALİ CAN ATİK
Yüksek Lisans
İngilizce
2019
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HALUK KÜLAH
DOÇ. DR. ENDER YILDIRIM
- MEMS resonant temperature sensing with variable coupling stiffness and improved sensitivity
Yüksek çözünürlüklü, değişken eşlenik yay sabitli titreşim tabanlı MEMS sıcaklık sensörü
ERTUĞ ŞİMŞEK
Yüksek Lisans
İngilizce
2020
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. KIVANÇ AZGIN
DR. ÖĞR. ÜYESİ EMRE YÜCE
- Design, fabrication, and applications of electrostatically buckled nanomechanical systems
Elektrostatik olarak burkulan nanomekanik sistemlerin tasarımı, fabrikasyonu ve uygulamaları
SELÇUK OĞUZ ERBİL
Yüksek Lisans
İngilizce
2018
Makine Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. MEHMET SELİM HANAY
- Elektron ışın kaynağı ve otomotiv endüstrisindeki uygulamaları
Başlık çevirisi yok
ERCAN CİHAN
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SELAHATTİN ANIK