Development of nanopatterns on self assembled monolayer (SAM) organic films using scanning probe microscope (SPM) nanolithography techique
Kendinden bağlanan tek katmanlı organik filmler üzerinde (SAM) nanolithografi tekniği kullanılarak nanodesenlerin geliştirilmesi
- Tez No: 183457
- Danışmanlar: DOÇ. DR. SALİH OKUR, DOÇ. DR. METİN TANOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2006
- Dil: İngilizce
- Üniversite: İzmir Yüksek Teknoloji Enstitüsü
- Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 126
Özet
Nanodesenlerin yüzeyler üzerine üretilmesi ve fabrikasyonu nanometreölçe inde elektronik ve mekanik cihazların üretilmesinde oldukça önemlidir.Fotolitografi, elektron lithografi gibi kullanılan geçerli tekniklerin çözünürlük vekapasite özellikleri nanodesen üretimin sınırlandırmaktadır. Bu tekniklerden atomikboyutta sivri uç kullanılan taramalı uçlu mikroskop (SPM) lithografi tekni i, çe itliyüzeyler üzerine moleküler boyutta desen üretme kapasitesinden dolayı dikkatçekicidir. Dahası, SPM tekni i ile Kendinden Ba lanan Tek Katmanlı Organik(SAM) filmler üzerine moleküler hassasiyette nanodesenler yapmak ve görüntülemekmümkündür. Bu çalı mada; altın yüzeyleri üzerine nanoçizgiler ve titanyum yüzeyiüzerine oksitleme yöntemi ile desenler SPM lithografi yöntemlerine örnek olarakyapıldı. kinci a amada, Octadecylamine-HCl, Octadecanetiol (ODT) veDecylmercaptan (DM) organikleriyle mika, cam, titanyum ve çe itli silikon yüzeyleriüzerine SAM filmleri hazırlandı. Hazırlanan filmlerin kalınlıkları Atomik KuvvetMikroskobu (AFM) ile ölçüldü. AFM tipi ile uygulanan lokal kontak kuvvetinin SAMmoleküllerinin yer de i tirmesine neden olması ile SAM film yüzeyleri üzerindenanodesenler geli tirildi. Cam ve n tip silikon yüzeyleri üzerine organik kaplamayapılmadı ı ancak di er örneklerde kaplamalar yapıldı ı gözlendi. Üretilennanodesenler incelenerek derinlik ölçümleri yapıldı. Organiklerin boyları SPARTAM02 LINUX-UNIX programı yardımıyla ve PM3 methodu denen bir methodla ölçüldüve ölçülen derinlikler ile organiklerin hesaplanan boyları kar ıla tırılarak yüzeylerüzerinde tek katman olu turuldu u gözlendi.
Özet (Çeviri)
Patterning and fabrication of nanostructures on surfaces is a great demand fornanoscale electronic and mechanical devices. Current techniques such as electronbeam lithography and photolithography provides limited resolution and they are notcapable of reproducible in nanoscale. Among those, Scanning Probe Microscopy(SPM) lithography that uses a nanometer sharpened tip has demonstratedoutstanding capabilities for nanometer level patterning on various surfaces.Moreover, SPM techniques offer creating nanopatterns of Self AssembledMonolayers (SAMs) with molecular precision and visualizing surfaces with thehighest spatial resolution. In this work, nanoscratches on gold surfaces and oxidationpatterns on titanium surface were successfully performed as example of SPMlithography. In the second stage, Octadecylamine-HCl, Octadecanetiol (ODT) andDecylmercaptan (DM) SAM organic films were fabricated on various substrates; i.e.,mica, silica, titanium surface deposited on silicon, n and p type silicon, using selfassembly film preparation techniques. The film thicknesses were measured withAtomic Force Microscope (AFM). Nanopatterns were fabricated on SAM films usingAFM tip by exerting a local high pressure at the contact that causes the displacementof SAM molecules by a high shear force. It was observed that there was no formationof SAMs on n type Si and silica substrates whereas there were organic assemblies onthe other substrates. Fabricated nanopatterns were examined and thicknessmeasurement was done. Molecular lengths of the organics were evaluated by using ofSPARTAM 02 LINUX-UNIX with the method of PM3 and the measured values werecompared with the calculated ones and it was concluded that monolayers wereformed on the surfaces.
Benzer Tezler
- Blok-kopolimer filmlerin ve nanopartiküllerin mikroakışkan kalıplamayöntemiyle desenlenmesi
Patterns of block-copolymer films and nanoparticles fabricated by microfluidic molding
HASAN HÜSEYİN İPEKCİ
Doktora
Türkçe
2019
Mühendislik BilimleriErciyes ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MUSTAFA SERDAR ÖNSES
- Menopoza ilişkin Belirti Tarama Listesi'nin geliştirilmesi: Geçerlik ve güvenirlik çalışması
Development of symptom check list related with menopause: The study of validity and reliability
NİHAN TEMİZ
Yüksek Lisans
Türkçe
1999
PsikolojiHacettepe ÜniversitesiPsikoloji Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RÜVEYDE BAYRAKTAR
- Development of an artificial neural network model for the estimation of chlorophyll-a in lakes
Göllerdeki klorofil-a'nın belirlenmesi için bir yapay sinirsel ağ modelin geliştirilmesi
CÜNEYT KARUL
Doktora
İngilizce
1999
Çevre MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiÇevre Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SELÇUK SOYUPAK
- Development of a computer aided quality control software for the integration of CMM in meticum
Metucım bilgisayar tümleşik üretim sisteminde koordinat ölçme tezgahının entegrasyonu için bilgisayar destekli kalite kontrol yazılım geliştirilmesi
YUSUF BAŞIBÜYÜK
Yüksek Lisans
İngilizce
1999
Makine MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖMER ANLAĞAN