Termiyonik vakum ark teknolojisiyle üretilen bor deşarjların özelliklerinin incelenmesi
Boron processing using the thermionic vacuum arc technology
- Tez No: 184120
- Danışmanlar: PROF. DR. NACİ EKEM
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2006
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Eskişehir Osmangazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 101
Özet
TERM YON K VAKUM ARK TEKNOLOJ S YLE ÜRET LEN BORDEŞARJLARIN ÖZELL KLER N NCELENMESERD NÇ KARAKAŞÖZETBu tez çalışmasında; Termiyonik Vakum Ark (TVA) sisteminde yüksek erimenoktalı bir materyal olan bor elementinin deşarjları oluşturulmuş ve özellikleriincelenmiştir. kinci, üçüncü, dördüncü ve beşinci bölümler bu tez çalışmasının teorikkısımlarıdır. kinci bölümde plazma ve özellikleri hakkında bilgi, üçüncü bölümde bormateryalinin özellikleri ve kullanım alanları, dördüncü bölümde iyon kaplama tekniklerive iyonlarla kaplamanın avantajları ve beşinci bölümde TVA sistemi ve deşarjlarınınözellikleri ile ilgili teorik bilgiler verilmiştir. Altıncı ve yedinci bölümler ise deneyselkısımlardır. Altıncı bölümde bor TVA deşarjların akım-voltaj karakteristikleri, borbuharlarının vakum odasındaki deşarj öncesi ve sonrası için basınç değişimi ve bor incefilmleri üretilirken kaplanan yüzey üzerindeki kalınlık değişimleri incelenmiştir.Yedinci bölümde TVA sisteminde oluşturulan bor ince filmlerinin XPS, SEM, HRTEM,elektron difraksiyon izleri, AFM ve optik özelliklerinin analizleri yapılmıştır.
Özet (Çeviri)
BORON PROCESSING USINGTHE THERMIONIC VACUUM ARC TECHONOLOGY (TVA)ERD NÇ KARAKAŞSUMMARYIn this thesis study, discharges of the boron having high melting point wereproduced and properties of the boron thin films and discharges were investigated in theThermionic Vacuum Arc (TVA). Second, third, fourth and fifth chapters are a part oftheoretical information in the thesis study. Second chapter about description andproperties of plasmas, third chapter about properties and applications of the boronelement and compounds, forth chapter about some ion deposition methods andadvantage of ion deposition and fifth chapter about system, discharges and properties ofthe TVA were presented. Sixth and seventh chapters are a part of experimental in thisthesis study. Sixth chapter boron TVA discharges discharge current-voltagecharacteristics, discharge current-pressure effect in the vacuum vessel by generatingboron TVA discharges and deposition rate of the boron in the TVA were investigated.At the last chapter, XPS, SEM, HRTEM, electron diffraction pattern, AFM and opticalproperties were analyzed growing thin films of the boron in the TVA.
Benzer Tezler
- Plazma görüntü paneli
Plasma display panel
ÖZGÜR AYDIN
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NACİ EKEM
- Termiyonik vakum ark metodu ile üretilen titanyum dioksit ince filmlerin elektrokromik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of electrochromic properties of titanium dioxide thin films grown by thermionic vacuum arc method
ERBİL ŞİLİK
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SUAT PAT
- Termiyonik vakum ark yöntemi ile katkılı çinko oksit ince film üretimi
Production of doped ZnO thin films using thermionic vacuum arc method
SERCAN SADIK ERDEM
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Fizik ve Fizik MühendisliğiAfyon Kocatepe ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ MEHMET ÖZKAN
- Termiyonik vakum ark (TVA) yöntemiyle Ag-Al2O3 katmanlı kompozit malzeme üretimi
Production of Ag-Al2O3 laminar composite material using termionic vacuum arc (TVA) method
ÖZGÜR KÜSMÜŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2004
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. NACİ EKEM
- Termiyonik vakum ark (TVA) yöntemiyle nano katmanlı kompozit malzeme üretimi
Production of nano laminar composite material using with thermionic vacuum arc (TVA)
SERDAR DEMİRKOL
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NACİ EKEM