Geri Dön

Kuru aşındırma yöntemi ile hazırlanan silikon yüzeylerin yapısal ve optik özelliklerinin incelenmesi

Investigation of structural and optical properties of silicon surfaces prepared by the dry etching technique

  1. Tez No: 213001
  2. Yazar: İSMAİL KABAÇELİK
  3. Danışmanlar: PROF. DR. BÜLENT ULUĞ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2007
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Akdeniz Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 53

Özet

Bu çalışmada Si plakanın HF-HNO3 karışım buharına tutulması ile sentezlenen Amonyum Silikon Florür, ASF, {(NH4)2SiF6} yapıların oluşum mekanizmalarına ilişkin literatürde önerilen iki mekanizmadan yalnızca bir tanesinin geçerliliği, Winkler yöntemi ile tepkime ürünü olarak oksijen çıkışı olup olmadığına bakılarak sınanmıştır.ASF filmlerin etkin fotolüminesans (FL) sergilemesi üzerine, sıcaklığa bağlı FL özelliği incelenmiş ve 2-2.2 eV dolaylarında ışıma yaptığı gözlenmiştir. Uyarıcı lazerin ASF filmlerin FL özelliğini etkilediği görülmüştür. Si plakanın asit karışım buharıyla etkileşim zamanı değiştirilerek oluşturulan örneklerin FL özellikleri karşılaştırılmıştır. Belirli sürelerle lazer ışığı etkisine bırakılan ASF filmlerin FTIR ölçümlerine göre, lazerin kimyasal değişikliğe neden olmadığı anlaşılmıştır. Değişik etkileşim sürelerinde oluşturulan ASF filmlerin elektron mikroskobu incelemeleri ile ASF yapıların parçacık boyutunun ~0.5?m ile 2?m arasında değiştiği gözlenmiştir.

Özet (Çeviri)

In this study, validity of only one of the two proposed mechanisms to explain the formation mechanism of Ammonium Silicon Fluoride-ASF {(NH4)2SiF6} films -grown on Si substrates which are exposed to the vapour of a HF-HNO3 mixture- is tested via the Winkler method by investigating whether oxygen comes out as a reaction product.As a result of observing that ASF films exhibit efficient Photoluminescence (PL), temperature-dependent PL properties of the films are investigated and luminescence around 2-2.2 eVs is observed. It is also observed that the laser beam used as the excitation source affects the PL properties of the films. Besides, PL properties of samples synthesized by varying the Si substare's duration of exposure to acid vapor are compared. According to the FTIR measurement results of ASF films exposed to laser light for specified periods, it is found that laser light causes no chemical modifications. Through electron microscope investigations of ASF films prepared at various exposure periods, it is determined that particle size varies between 0.5 and 2 ?m.

Benzer Tezler

  1. Biomimetic antireflection coatings on silicon

    Biyobenzetim yöntemiyle silisyum tabanlı ince film yansıtmayan kaplama üretimi

    MÜMİN BALABAN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2013

    Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. HÜSEYİN KIZIL

  2. Piezoelektrik ile tetiklenen valfsiz mikro pompa tasarımı, üretimi ve akışkan debisini etkileyen faktörlerin belirlenmesi

    Design, fabrication and defining factors affecting fluid flow rate of valveless piezoelectric-triggered micropump

    SEVDA ŞİMŞEK

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SEYHAN ONBAŞIOĞLU

    PROF. DR. ALİ KOŞAR

  3. Kokil kalıba döküm yöntemiyle üretilen bronz ve pirinç malzemelerın sıcak dövme ve ısıl işlem sonrası aşınma ve korozyon özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of the wear and corrosion properties of bronze and brass materials produced by mold casting method after hot forging and heat treatment

    HANİFİ TAZE

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2022

    Metalurji MühendisliğiKarabük Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HAYRETTİN AHLATCI

  4. Characterization and recovery of rare earth elements from iron mining sludge

    Demir madenciliği çamurundan nadir toprak elemanlarının karakterizasyonu ve geri kazanımı

    AZMAT FATIMA SIDDIQUI

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2020

    Çevre Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Çevre Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    Prof. Dr. İSMAİL KOYUNCU

    Assist. Prof. Dr. BÖRTE KÖSE MUTLU

  5. GaN tabanlı alan etkili transistörlerde SiC arka-yüzey geçiş deliği aşındırma uygulaması

    Back side via hole etching application of SiC for GaN based field effect transistors

    MEHMET TAHA HALİLOĞLU

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SEFER BORA LİŞESİVDİN