Geri Dön

Bazı metallerin RF magnetron sıçratma yöntemiyle TiN ve TiAlN ile kaplanması

TiN and TiAlN coated some metals by RF magnetron sputtering method

PDF İndir

  1. Tez No: 232244
  2. Yazar: MİNE ÖZET
  3. Danışmanlar: PROF. DR. AYHAN GÜLDESTE
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2008
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Erciyes Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 73

Özet

Ti, Ni ve Al kaplanmış düşük karbonlu çelik malzemeler RF magnetron sıçratma yöntemi ile farklı kaplama şartlarında TiN, TiAlN ile tek tabakalı, TiN-AlN ile çok tabakalı olarak kaplandı. Kaplanan numunelerin mikro yapısal özellikleri X-ışını toz kırınımı (XRD) tekniği ve taramalı elektron mikroskobu (SEM) ile incelendi. Nano sertlik ve kalınlık ölçümleri yapıldı. Yapışma özelliği test edildi. Ancak, altlıklar sertleştirilmiş metal olmadığından test sırasında numunelerden akustik emisyon sinyali alınamadı.Kaplama kalınlıklarının artan bias voltajıyla azaldığı görüldü. TiAlN kaplamanın sertliğinin, TiN kaplamaların sertliğinden yaklaşık üç kat daha büyük olduğu bulundu.Çok tabakalı kaplamalar, iki ve on iki tabaka olarak yapıldı. Her iki kaplamada da ilk tabaka TiN ile son tabaka AlN ile kaplandı. AlN, TiN'e göre yumuşak kaplama oluşturur. Bu durum sertlik açısından dezavantaj olarak görünse de çoklu kaplamalarda esneklik sağlayarak kaplamanın kırılmasını ve çatlamasını önler. Yapılan incelemelerde elde edilen sonuçlara göre on iki tabaka kaplama ile kaplama kalitesinin yükseldiği gözlendi.

Özet (Çeviri)

Ti, Ni and Al coated steel of low carbon materials were coated by RF-magnetron sputtering method at different coating conditions. While TiN, TiAlN were coated as single layer, TiN-AlN were coated as multilayer on the substrate. Structural properties of the coated layers were studied by means of Scanning Electron Microscopy (SEM) and X-Ray Diffraction(XRD) techniques. Nanohardness and thickness of the coatings were measured.It has been observed that the thickness of coated layers decreases with increasing bias voltage. As the oxidation resistance and hardness of the TiN coatings are low, TiAlN coatings have been made. The main reason is that why Al is used in TiAlN coatings which is an alternative of TiN coating, to increase the oxsidation resistance of coatings.Multilayer coatings have been carried out as a two layers and a twelve layers. TiN has been coated as a first layer and lasted AlN in both. Because of TiN more adhesive than AlN on the substrate and oxsidation resistance of AlN is higher than TiN, this coating order has been chosen. Also, as AlN softer than TiN, it prevents to be broken or to be cracked of coating by providing flexibility on surface.As a result, it has been observed that twelve layers coatings are better than mono layer and two layers coatings in respect of quality.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    432895

    Application of photoemission spectroscopy in surface characterization of chromium oxide to define oxide phases growing by reactive magnetron sputtering deposition

    Fotoemisyon spektroskopisinin reaktif magnetron saçtırma yöntemi ile büyütülen oksitlenmiş krom filmlerin, oksit fazlarının karakterizasyonunda kullanılması

    İSMET GELEN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2016

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. OSMAN ÖZTÜRK

    DOÇ. DR. MUSTAFA ERKOVAN

  2. Tez No

    571380

    Synthesis of ZnO and Si nanowires for the fabrication of 3rd generation solar cells

    Üçüncü nesil güneş pillerinin üretimi için ZnO ve Si nanotellerin sentezlenmesi

    ELİF PEKSU

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. HAKAN KARAAĞAÇ

  3. Tez No

    389309

    Design and implementation of a broadband impedance matching network using simplified real frequency technique matching 6.25 ohm output impedance of a high speed dac to 50 ohm

    Bir hızlı DAC' ın çıkış katı için, SRFT yöntemi ile bir geniş band empedans eşleştirici ağı tasarımı ve gerçekleştirilmesi

    HAMID YADEGAR AMIN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2015

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Elektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. İSMAİL SERDAR ÖZOĞUZ

  4. Tez No

    419004

    BCS-BEC crossover with model square well interaction in 2D and 3D

    İki ve üç boyutta model kare kuyu potansiyeli etkileşimiyle BCS-BEY geçişi

    HASAN HÜSEYİN SÖMEK

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2015

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. AHMET LEVENT SUBAŞI

  5. Tez No

    83162

    Bazı S-alkil ve S-arilisotiyosemikarbazonların d5-10 metal iyonları ile verdiği komplekslerinin spektroskopik yöntemle incelenmesi

    Spektroscopic investigation of complexes of d5-10 metal ions with some S-alkyl and S-aryl isothiosemicarbazonee

    AYHAN YAVUZ GENEL

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    1999

    Kimyaİstanbul Üniversitesi

    Kimya Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. BAHRİ ÜLKÜSEVEN

Geri Dön