Measurement of physical and optical properties of thin films with an ellipsometric technique
Ellipsometrik teknik kullanarak ince filmlerin fiziksel ve optiksel özelliklerinin ölçümü
- Tez No: 270413
- Danışmanlar: PROF. NACİ İNCİ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2010
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Boğaziçi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tezde, elipsometrenin çalışma tekniği detaylı bir şekilde çalışıldı. Polietilenglikol,altın ve silikon dioksit ince filmlerinin kalınlıkları ve bazı optiksel özellikleri elipsometreile ölçüldü. Polietilenglikol, kimyasal sentez yoluyla altın kaplı BK7 camınınüzerine bağlandı. PEG in neme bağlı kalınlığı ölçülürken etrafın bağıl nem düzeyipotasyumnitrat tuzu ile kontrol edildi. Bu nem değerlerine tekabül eden polietilenglikolkalınlıkları elipsometre ile olçüldü. Nemdeki artış ile polietilenglikolun kalınlaştığıgözlendi. PEG in dışında, silikon dioksit ve altın filmlerinin kalınlığı ve kırıcılık indisleri ölçüldü.
Özet (Çeviri)
In this thesis, working mechanism of ellipsometer is studied in details. Thicknessand refractive index of polyethyleneglycol(PEG), gold and silicon dioxide films aremeasured using an elipsometer. PEG is attached to a gold coated surface on a BK7glass using a chemical synthesis method. Potasiumcloride is used to control the relativehumidity of the enviroment for insitu measurments of the humidity dependent thicknessof PEG polymer film. The PEG thicknesses, which correspond to certain relativehumidity levels, are measured using the ellipsometry. It is observed that the thicknessincreases with the increasing humidity. Apart from PEG thickness and refractiveindices of SiO2 and gold films are measured.
Benzer Tezler
- Kimyasal püskürtme yöntemi ile üretilen bor katkılı nio ince filmlerinin elektriksel ve optiksel özelliklerinin ölçülmesi
Measurement of electrical and optical properties of boron doped nio thin films produced by chemical spray pyrolysis method
HAKAN YAYKAŞLI
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Fizik ve Fizik MühendisliğiKahramanmaraş Sütçü İmam ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ÜMİT ALVER
- Farklı azot akış hızına sahip ortamlarda ısıl işlem uygulanmış ultrasonik sprey piroliz yöntemiyle oluşturulan sn-katkılı indiyum oksit ince filmlerin fiziksel ve optik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of physical and optical properties sn-doped indium oxide thin films fabricated by ultrasonic spray pyrolysis method and heat treatment under different nitrogen flow rate atmospheres
MURAT KOÇ
Doktora
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiSüleyman Demirel ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MURAT ÖZTÜRK
DR. ÖĞR. ÜYESİ MURAT KALELİ
- Fiziksel kaplama teknikleriyle üretilen CuIn1-xGaxSe2 ince filmlerin yapısal, elektriksel ve optiksel özellikleri
Structural, electrical and optical properties of CuIn1-xGaxSe2 thin films fabricated by physical deposition techniques
SARE AKGÖZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HAKAN KARAAĞAÇ
- Production of diamond-like carbon films and modelling of piezoresistance/optical properties
Elmas benzeri karbon filmlerin üretimi ve piezodirenç/optik özelliklerinin modellenmesi
ERAY HUMALI
Doktora
İngilizce
2025
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUHAMMET KÜRŞAT KAZMANLI
- Sol–jel yöntemi ile hazırlanan TiO2–SiO2 nanokompozit ince filmlerin fiziksel ve mekanik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of physical and mechanical properties of TiO2–SiO2 nanocomposite thin films prepared by sol-gel method
EZGİ DENİZ BİÇER
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ESRA ÖZKAN ZAYİM
UZMAN REFİKA BUDAKOĞLU