Geri Dön

Measurement of physical and optical properties of thin films with an ellipsometric technique

Ellipsometrik teknik kullanarak ince filmlerin fiziksel ve optiksel özelliklerinin ölçümü

  1. Tez No: 270413
  2. Yazar: EMİNE ERTUĞRUL
  3. Danışmanlar: PROF. NACİ İNCİ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2010
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Boğaziçi Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 35

Özet

Bu tezde, elipsometrenin çalışma tekniği detaylı bir şekilde çalışıldı. Polietilenglikol,altın ve silikon dioksit ince filmlerinin kalınlıkları ve bazı optiksel özellikleri elipsometreile ölçüldü. Polietilenglikol, kimyasal sentez yoluyla altın kaplı BK7 camınınüzerine bağlandı. PEG in neme bağlı kalınlığı ölçülürken etrafın bağıl nem düzeyipotasyumnitrat tuzu ile kontrol edildi. Bu nem değerlerine tekabül eden polietilenglikolkalınlıkları elipsometre ile olçüldü. Nemdeki artış ile polietilenglikolun kalınlaştığıgözlendi. PEG in dışında, silikon dioksit ve altın filmlerinin kalınlığı ve kırıcılık indisleri ölçüldü.

Özet (Çeviri)

In this thesis, working mechanism of ellipsometer is studied in details. Thicknessand refractive index of polyethyleneglycol(PEG), gold and silicon dioxide films aremeasured using an elipsometer. PEG is attached to a gold coated surface on a BK7glass using a chemical synthesis method. Potasiumcloride is used to control the relativehumidity of the enviroment for insitu measurments of the humidity dependent thicknessof PEG polymer film. The PEG thicknesses, which correspond to certain relativehumidity levels, are measured using the ellipsometry. It is observed that the thicknessincreases with the increasing humidity. Apart from PEG thickness and refractiveindices of SiO2 and gold films are measured.

Benzer Tezler

  1. Elektron demeti buharlaştırma yöntemi ile hazırlanmış tungsten oksit ince filmler üzerine detaylı bir çalışma: Elektrokromik cihaz üretimi ve karakterizasyonları

    A detailed study on tungsten oxide thin films prepared by electron beam evaporation method: Electrochromic device preperation and characterizations

    DİLEK EVECAN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2022

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ESRA ZAYİM

  2. Termal buharlaştırma yöntemi ile hazırlanan (Cu-Ag) ince filmlerinin fiziksel özelliklerinin incelenmesi ve Kβ/Kα X-ışını şiddet oranlarının ölçülmesi

    Measurement of Kβ/Kα X-ray intensity ratios, and investigation of physical properties of (Cu-Ag) thin films produced by thermal evaporation method

    DURDU HAYRETTİN AYAS

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2017

    Fizik ve Fizik MühendisliğiKahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ÖMER SÖĞÜT

  3. Farklı azot akış hızına sahip ortamlarda ısıl işlem uygulanmış ultrasonik sprey piroliz yöntemiyle oluşturulan sn-katkılı indiyum oksit ince filmlerin fiziksel ve optik özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of physical and optical properties sn-doped indium oxide thin films fabricated by ultrasonic spray pyrolysis method and heat treatment under different nitrogen flow rate atmospheres

    MURAT KOÇ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2018

    Fizik ve Fizik MühendisliğiSüleyman Demirel Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MURAT ÖZTÜRK

    DR. ÖĞR. ÜYESİ MURAT KALELİ

  4. Sol–jel yöntemi ile hazırlanan TiO2–SiO2 nanokompozit ince filmlerin fiziksel ve mekanik özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of physical and mechanical properties of TiO2–SiO2 nanocomposite thin films prepared by sol-gel method

    EZGİ DENİZ BİÇER

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ESRA ÖZKAN ZAYİM

    UZMAN REFİKA BUDAKOĞLU

  5. Synthesis and characterization of fluorene-type and hydrogenated amorphous carbon thin films in RF and DC glow discharges

    Fluoren-tipi ve hidrojenlenmiş amorf karbon ince fimlerinin RF ve DC elektriksel boşalmaları altında sentezlenmesi ve karakterizasyonu

    DOĞAN MANSUROĞLU

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2015

    Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. KADRİ SİNAN BİLİKMEN