Measurement of physical and optical properties of thin films with an ellipsometric technique
Ellipsometrik teknik kullanarak ince filmlerin fiziksel ve optiksel özelliklerinin ölçümü
- Tez No: 270413
- Danışmanlar: PROF. NACİ İNCİ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2010
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Boğaziçi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 35
Özet
Bu tezde, elipsometrenin çalışma tekniği detaylı bir şekilde çalışıldı. Polietilenglikol,altın ve silikon dioksit ince filmlerinin kalınlıkları ve bazı optiksel özellikleri elipsometreile ölçüldü. Polietilenglikol, kimyasal sentez yoluyla altın kaplı BK7 camınınüzerine bağlandı. PEG in neme bağlı kalınlığı ölçülürken etrafın bağıl nem düzeyipotasyumnitrat tuzu ile kontrol edildi. Bu nem değerlerine tekabül eden polietilenglikolkalınlıkları elipsometre ile olçüldü. Nemdeki artış ile polietilenglikolun kalınlaştığıgözlendi. PEG in dışında, silikon dioksit ve altın filmlerinin kalınlığı ve kırıcılık indisleri ölçüldü.
Özet (Çeviri)
In this thesis, working mechanism of ellipsometer is studied in details. Thicknessand refractive index of polyethyleneglycol(PEG), gold and silicon dioxide films aremeasured using an elipsometer. PEG is attached to a gold coated surface on a BK7glass using a chemical synthesis method. Potasiumcloride is used to control the relativehumidity of the enviroment for insitu measurments of the humidity dependent thicknessof PEG polymer film. The PEG thicknesses, which correspond to certain relativehumidity levels, are measured using the ellipsometry. It is observed that the thicknessincreases with the increasing humidity. Apart from PEG thickness and refractiveindices of SiO2 and gold films are measured.
Benzer Tezler
- Elektron demeti buharlaştırma yöntemi ile hazırlanmış tungsten oksit ince filmler üzerine detaylı bir çalışma: Elektrokromik cihaz üretimi ve karakterizasyonları
A detailed study on tungsten oxide thin films prepared by electron beam evaporation method: Electrochromic device preperation and characterizations
DİLEK EVECAN
Doktora
Türkçe
2022
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ESRA ZAYİM
- Termal buharlaştırma yöntemi ile hazırlanan (Cu-Ag) ince filmlerinin fiziksel özelliklerinin incelenmesi ve Kβ/Kα X-ışını şiddet oranlarının ölçülmesi
Measurement of Kβ/Kα X-ray intensity ratios, and investigation of physical properties of (Cu-Ag) thin films produced by thermal evaporation method
DURDU HAYRETTİN AYAS
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiKahramanmaraş Sütçü İmam ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖMER SÖĞÜT
- Farklı azot akış hızına sahip ortamlarda ısıl işlem uygulanmış ultrasonik sprey piroliz yöntemiyle oluşturulan sn-katkılı indiyum oksit ince filmlerin fiziksel ve optik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of physical and optical properties sn-doped indium oxide thin films fabricated by ultrasonic spray pyrolysis method and heat treatment under different nitrogen flow rate atmospheres
MURAT KOÇ
Doktora
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiSüleyman Demirel ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MURAT ÖZTÜRK
DR. ÖĞR. ÜYESİ MURAT KALELİ
- Sol–jel yöntemi ile hazırlanan TiO2–SiO2 nanokompozit ince filmlerin fiziksel ve mekanik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of physical and mechanical properties of TiO2–SiO2 nanocomposite thin films prepared by sol-gel method
EZGİ DENİZ BİÇER
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ESRA ÖZKAN ZAYİM
UZMAN REFİKA BUDAKOĞLU
- Synthesis and characterization of fluorene-type and hydrogenated amorphous carbon thin films in RF and DC glow discharges
Fluoren-tipi ve hidrojenlenmiş amorf karbon ince fimlerinin RF ve DC elektriksel boşalmaları altında sentezlenmesi ve karakterizasyonu
DOĞAN MANSUROĞLU
Doktora
İngilizce
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. KADRİ SİNAN BİLİKMEN