ZnO tabanlı yarı iletkenlerde metal kontak özelliklerinin araştırılması
Investigation of metal contact properties at ZnO based semiconductors
- Tez No: 283227
- Danışmanlar: PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: PFCVAD, ZnO, omik Kontak, Doğrultucu (Schottky) Kontak, PFCVAD, ZnO, ohmic Contact, Schottky Contact
- Yıl: 2011
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 88
Özet
Bu çalışmada Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama (PFCVAD) sistemi kullanılarak cam alt tabanlar üzerine oda sıcaklığında çinko nitrür ve çinko oksit ince filmler üretildi. Çinko nitrür filmlerin 450 °C de tavlanmasıyla p-tipi ZnO (Çinko Oksit) ince filmler elde edildi. Doğal olarak n-tipi olan çinko oksit ince filmler de 450 °C de tavlandı. İnce filmlerin optik özellikleri belirlendi. Bu ince filmler üzerine Ag (Gümüş), Al (Alüminyum), In (İndiyum) metalleri Vakum Termal Evaporasyon sistemi ile kontaklar yapıldı. Bu örneklerin I-V ölçümleri yapılarak kontakların özellikleri araştırıldı. Kontaklar omik olarak bulundu.
Özet (Çeviri)
In this study thin zinc nitride and zinc oxide films were deposited at room temperature on glass substrates by a pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition (PFCVAD) system. The zinc nitride thin films changed into p-type ZnO (Zinc Oxide) thin films by annealing at 450 °C. As deposited n-type ZnO (Zinc Oxide) thin films annealed at 450 °C. Optical properties of these thin films were determined. The metal contacts were made on these thin films with Ag (Silver), Al (Aluminium), In (Indium) by Vacuum Thermal Evaporation system. The contact properties of these films were investigated by I-V measurements. The contact types were found to be ohmic.
Benzer Tezler
- Yarı iletken metal oksit karışımların fotosensör duyarlılığına etkisi
The effect of semiconductor metal oxide mixtures on photosensor sensitivity
HALİL İBRAHİM ÖZDEMİR
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
EnerjiFırat ÜniversitesiEnerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HİKMET ESEN
DR. ÖĞR. ÜYESİ FEHMİ ASLAN
- Atomic layer deposition of metal oxides on self-assembled peptide nanofiber templates for fabrication of functional nanomaterials
Kendıliğinden düzenlenen peptit nanolif kalıplar ve atomik katman kaplama yöntemiyle fonksiyonel nanomalzeme üretimi
HAMİT EREN
Yüksek Lisans
İngilizce
2016
Mühendislik Bilimleriİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MUSTAFA ÖZGÜR GÜLER
- Ultrafast spin dynamics in diluted magnetic semiconductor nanostructures
Seyreltilmiş manyetik yarıiletken nanomalzemelerde ultrahızlı spin dinamiği
MUHAMMET ARUCU
Doktora
İngilizce
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiMarmara ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ŞAHİN AKTAŞ
PROF. DR. ROY W. CHANTRELL
- Solution-processed thin film deposition and characterization of multinarychalcogenides: Towards highly efficient Cu2BaSn(S,Se)4 solar devices
Solüsyon yöntemiyle sentezlenmiş çok elementli kalkojenitlerin ince film kaplama ve karakterizasyonu: Yüksek verimli Cu2BaSn(S,Se)4 bazlı güneş soğuran cihazlara doğru
BETÜL TEYMUR
Doktora
İngilizce
2022
EnerjiDuke UniversityMalzeme Bilimi ve Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. DAVİD B.MİTZİ
- Oksit yarıiletken tabanlı optik gaz sensörlerinin geliştirilmesi
Development of oxide semiconductor based optical gas sensors
ÖMER ÇOBAN
Doktora
Türkçe
2018
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SEBAHATTİN TÜZEMEN