ZnO tabanlı yarı iletkenlerde metal kontak özelliklerinin araştırılması
Investigation of metal contact properties at ZnO based semiconductors
- Tez No: 283227
- Danışmanlar: PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: PFCVAD, ZnO, omik Kontak, Doğrultucu (Schottky) Kontak, PFCVAD, ZnO, ohmic Contact, Schottky Contact
- Yıl: 2011
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmada Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama (PFCVAD) sistemi kullanılarak cam alt tabanlar üzerine oda sıcaklığında çinko nitrür ve çinko oksit ince filmler üretildi. Çinko nitrür filmlerin 450 °C de tavlanmasıyla p-tipi ZnO (Çinko Oksit) ince filmler elde edildi. Doğal olarak n-tipi olan çinko oksit ince filmler de 450 °C de tavlandı. İnce filmlerin optik özellikleri belirlendi. Bu ince filmler üzerine Ag (Gümüş), Al (Alüminyum), In (İndiyum) metalleri Vakum Termal Evaporasyon sistemi ile kontaklar yapıldı. Bu örneklerin I-V ölçümleri yapılarak kontakların özellikleri araştırıldı. Kontaklar omik olarak bulundu.
Özet (Çeviri)
In this study thin zinc nitride and zinc oxide films were deposited at room temperature on glass substrates by a pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition (PFCVAD) system. The zinc nitride thin films changed into p-type ZnO (Zinc Oxide) thin films by annealing at 450 °C. As deposited n-type ZnO (Zinc Oxide) thin films annealed at 450 °C. Optical properties of these thin films were determined. The metal contacts were made on these thin films with Ag (Silver), Al (Aluminium), In (Indium) by Vacuum Thermal Evaporation system. The contact properties of these films were investigated by I-V measurements. The contact types were found to be ohmic.
Benzer Tezler
- Sensör uygulamaları için farklı kalınlıklarda oluşturulan zno nano ince filmlerin Schottky engel diyotlar üzerine etkisi
The effect of different thicknesses zno nano thin films on Schottky barrier diodes for sensor applications
ATAKAN BEKAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiKastamonu ÜniversitesiElektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. OSMAN ÇİÇEK
- Atomic layer deposition of metal oxides on self-assembled peptide nanofiber templates for fabrication of functional nanomaterials
Kendıliğinden düzenlenen peptit nanolif kalıplar ve atomik katman kaplama yöntemiyle fonksiyonel nanomalzeme üretimi
HAMİT EREN
Yüksek Lisans
İngilizce
2016
Mühendislik Bilimleriİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
DOÇ. DR. MUSTAFA ÖZGÜR GÜLER
- Biyopolimer temelli katalizörlerin biyolojik aktivitelerinin incelenmesi ve yapay fotosentez uygulamaları
Investigation of biological activities of biopolymer based catalysts and applications of artificial photosynthesis
MÜNEVVER TUNA GENÇ
Doktora
Türkçe
2025
BiyoteknolojiSelçuk ÜniversitesiBiyoteknoloji Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İMREN HATAY PATIR
PROF. DR. CRISTINA POTRICH
- Geniş bant aralıklı ZnO'nun, elektrokimyasal olarak büyütülmesi, karakterizasyonu ve mümkün elektronik uygulamalarının araştırılması
Electrochemical growth and characterization of wide bandgap and investigation of its possible electronic applications
HATİCE ASIL
Doktora
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. CEVDET COŞKUN
- Yarı iletken metal oksit karışımların fotosensör duyarlılığına etkisi
The effect of semiconductor metal oxide mixtures on photosensor sensitivity
HALİL İBRAHİM ÖZDEMİR
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
EnerjiFırat ÜniversitesiEnerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HİKMET ESEN
DR. ÖĞR. ÜYESİ FEHMİ ASLAN