Geri Dön

ZnO tabanlı yarı iletkenlerde metal kontak özelliklerinin araştırılması

Investigation of metal contact properties at ZnO based semiconductors

  1. Tez No: 283227
  2. Yazar: NİHAL TOZLU
  3. Danışmanlar: PROF. DR. HAMİDE KAVAK
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: PFCVAD, ZnO, omik Kontak, Doğrultucu (Schottky) Kontak, PFCVAD, ZnO, ohmic Contact, Schottky Contact
  7. Yıl: 2011
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Çukurova Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 88

Özet

Bu çalışmada Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama (PFCVAD) sistemi kullanılarak cam alt tabanlar üzerine oda sıcaklığında çinko nitrür ve çinko oksit ince filmler üretildi. Çinko nitrür filmlerin 450 °C de tavlanmasıyla p-tipi ZnO (Çinko Oksit) ince filmler elde edildi. Doğal olarak n-tipi olan çinko oksit ince filmler de 450 °C de tavlandı. İnce filmlerin optik özellikleri belirlendi. Bu ince filmler üzerine Ag (Gümüş), Al (Alüminyum), In (İndiyum) metalleri Vakum Termal Evaporasyon sistemi ile kontaklar yapıldı. Bu örneklerin I-V ölçümleri yapılarak kontakların özellikleri araştırıldı. Kontaklar omik olarak bulundu.

Özet (Çeviri)

In this study thin zinc nitride and zinc oxide films were deposited at room temperature on glass substrates by a pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition (PFCVAD) system. The zinc nitride thin films changed into p-type ZnO (Zinc Oxide) thin films by annealing at 450 °C. As deposited n-type ZnO (Zinc Oxide) thin films annealed at 450 °C. Optical properties of these thin films were determined. The metal contacts were made on these thin films with Ag (Silver), Al (Aluminium), In (Indium) by Vacuum Thermal Evaporation system. The contact properties of these films were investigated by I-V measurements. The contact types were found to be ohmic.

Benzer Tezler

  1. Yarı iletken metal oksit karışımların fotosensör duyarlılığına etkisi

    The effect of semiconductor metal oxide mixtures on photosensor sensitivity

    HALİL İBRAHİM ÖZDEMİR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2022

    EnerjiFırat Üniversitesi

    Enerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HİKMET ESEN

    DR. ÖĞR. ÜYESİ FEHMİ ASLAN

  2. Atomic layer deposition of metal oxides on self-assembled peptide nanofiber templates for fabrication of functional nanomaterials

    Kendıliğinden düzenlenen peptit nanolif kalıplar ve atomik katman kaplama yöntemiyle fonksiyonel nanomalzeme üretimi

    HAMİT EREN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2016

    Mühendislik Bilimleriİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. MUSTAFA ÖZGÜR GÜLER

  3. Ultrafast spin dynamics in diluted magnetic semiconductor nanostructures

    Seyreltilmiş manyetik yarıiletken nanomalzemelerde ultrahızlı spin dinamiği

    MUHAMMET ARUCU

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2015

    Fizik ve Fizik MühendisliğiMarmara Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ŞAHİN AKTAŞ

    PROF. DR. ROY W. CHANTRELL

  4. Solution-processed thin film deposition and characterization of multinarychalcogenides: Towards highly efficient Cu2BaSn(S,Se)4 solar devices

    Solüsyon yöntemiyle sentezlenmiş çok elementli kalkojenitlerin ince film kaplama ve karakterizasyonu: Yüksek verimli Cu2BaSn(S,Se)4 bazlı güneş soğuran cihazlara doğru

    BETÜL TEYMUR

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2022

    EnerjiDuke University

    Malzeme Bilimi ve Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. DAVİD B.MİTZİ

  5. Oksit yarıiletken tabanlı optik gaz sensörlerinin geliştirilmesi

    Development of oxide semiconductor based optical gas sensors

    ÖMER ÇOBAN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2018

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAtatürk Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SEBAHATTİN TÜZEMEN