Two-dimensional selectively thinned steel micromirrors
Seçici olarak inceltilmiş iki boyutlu çelik mikro aynalar
- Tez No: 297854
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. ARDA DENİZ YALÇINKAYA
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2011
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Boğaziçi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 84
Özet
Bu tez, esas olarak, tarama tabanlı projeksiyon sisteminde kullanılmak üzere, elektromanyetik olarak eylenen çelik mikro-opto-elektro-mekanik aynalar üzerinedir; QVGA ve VGA ekran yeterliliklerine sahip mikroaynaların tasarımına odaklanmıştır. Bu çalışma için tasarlanmış tarayıcı çeşitleri iki boyutlu askılı bağlanmış burunumsal tarayıcı ve bu tasarımın tali kol eklenmiş, iç ve/veya dış kiriş sayıları artırılmış varyasyonlarıdır. Bazı tasarımların iç ayna ve dış kirişlerinde inceltme işlemi uygulanmıştır. Yapısal malzeme olarak paslanmaz çelik SS 420 maddesi kullanılmıştır. Aynaların üretiminde iki farklı yöntem kullanılmıştır: (i) fotolitografi sonrası elektrokimyasal aşındırma, (ii) elektro-erozyon (EDM). Toplam optik tarama açısını yükseltmek için mekanik kuplajı artıracak tasarımlar kullanılmıştır.
Özet (Çeviri)
This thesis mainly deals with electromagnetically actuated resonant steel MOEMS scanners developed for a scanner-based projection system and focuses on the design of micromirrors to achieve QVGA and VGA specs. Types of scanners designed for this work are 2D gimballed torsional scanner and its design variations with the addition of sub-arms and increasing the number of beams in inner and/or outer frames. Stainless steel 420 is used as the structural material. Selective thinning is applied in the fabrication of some designs. Resonant-mode dynamic actuation is done with a time-varying currentcarrying external coil. Two different techniques are used for the fabrication of scanners: (i) electrochemical etching after photolithographic process (ii) electric discharge machining (EDM). In order to increase the total optical scan angle (TOSA), designs favoring the mechanical coupling are employed.
Benzer Tezler
- Monitoring the diffusion and degradation characteristics of crystals via Raman spectroscopy
Kristal yapıların difüzyon ve bozulma karakteristiklerinin Raman spekroskopisi yolu ile gözlenmesi
BARIŞ AKBALI
Yüksek Lisans
İngilizce
2018
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HASAN ŞAHİN
- Electrospun polyacrylonitrile based composite nanofibers containing polyindole and graphene oxide
Poliindol ve grafen oksit içeren poliakrilonitril tabanlı kompozit nanofiberler
İLKNUR BOZKAYA GERGİN
Doktora
İngilizce
2023
Polimer Bilim ve Teknolojisiİstanbul Teknik ÜniversitesiPolimer Bilim ve Teknolojisi Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ABDÜLKADİR SEZAİ SARAÇ
- Polisilisyum tabaka üzerine fotolitografi yöntemi 0,3 mikron şekillendirme prosesinin optimizasyonu
Optimization of 0,3 µm photolithography process parameters over polysilicon layer
ZELİHA ÖZDOĞAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜSNÜ ATAKÜL
- Katkılı SIO2 filmlerin CHF3-O2 plazması içerisinde reaktifiyon aşındırılması
Başlık çevirisi yok
SUAT ALİ ERTUĞRUL
- Kısmi aralıklarla tamamlanmış kuyuların performansı
Selectively-completed well performance
YILDIRAY ÇINAR
Yüksek Lisans
Türkçe
1995
Petrol ve Doğal Gaz Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiY.DOÇ.DR. TURHAN YILDIZ