Pfcvad sistemi ile üretilen n ve p tipi zno ince filmlerin fotoiletkenlik özelliklerinin karşılaştırılması
Comparison of the photoconductivity properties of the n and p type zno thin films which are grown by pfvad system
- Tez No: 307811
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2013
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 146
Özet
Bu çalışmada, n ve p tipi ZnO ince filmler, Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama (PFCVAD) yöntemi ile cam alt tabanlar üzerine oda sıcaklığında elde edilmiştir. Azot Katkılı ve katkısız ZnO (N:ZnO ve ZnO) ince filmler üç seri ince film şeklinde incelemiştir. Birinci seride ısısal oksidasyon ile n ve p tipi ZnO ince filmler elde edilip karakterizasyonu yapılırken ikinci ve üçüncü seri ince filmler daha yüksek oksijen ve azot gaz akış oranlarında üretilerek karakterizasyonu üzerinde durulmuştur. Elde edilen yarıiletken ince filmlerin optiksel, yapısal, elektriksel, yüzey ve fotoiletkenlik özellikleri belirlenmiş ve tartışılmıştır.
Özet (Çeviri)
In this study, n and p type ZnO thin films were deposited at room temperature on glass substrates by Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition (PFCVAD) system. There are three part of semiconductor thin films in this study. In first part, n and p type thin films were prepared with thermal oxidation method and second and third part of these thin film?s pressure is higher than first part of thin films. Finally, optical, structural, electrical, surface images and photoconductivity properties of these thin films were determined and discussed.
Benzer Tezler
- PFCVAD sistemi ile üretilen n ve p-tipi zno ince filmlerin fotolüminesans özelliklerinin karşılaştırılması
Comparison of the pholuminescence properties of the n and p-type zno thin films which are grown by PFCVAD system
HAVVA ÖZDAMAR
Doktora
Türkçe
2014
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Atmalı filtreli katodik vakum ark ile üretilen karbon filmlerin yapısı ve özellikleri
Structure and properties of carbon films produced by filtered cathodic vacuum arc
MERHAN KILIÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Atmalı katodik vakum ark depolama sistemiyle üretilen ZnO'nun elektriksel iletkenliği ve ısıl işlemle değişimi
Electrical conductivity and changing with thermal operation of ZnO which growth by pulsed cathodic vacuum arc deposition
MEDİHA SOYLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ŞADİ YILMAZ
- ZnO tabanlı yarı iletkenlerde metal kontak özelliklerinin araştırılması
Investigation of metal contact properties at ZnO based semiconductors
NİHAL TOZLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemi ile p-tipi ZnO (çinko oksit) üretimi ve yapısal özellikleri
P-type ZnO (zinc oxide) which are grown by pulsed filtered cathodic arc deposition method and structural properties
KAMURAN KARA
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF. DR. RAMAZAN ESEN