Geri Dön

Atmalı filtreli katodik vakum ark ile üretilen karbon filmlerin yapısı ve özellikleri

Structure and properties of carbon films produced by filtered cathodic vacuum arc

  1. Tez No: 465371
  2. Yazar: MERHAN KILIÇ
  3. Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2017
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Çukurova Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 58

Özet

Bu çalışmada atmalı filtreli katodik vakum ark depolama (PFCVAD) sistemi ile cam alt tabanlar üzerine karbon filmler depolanmıştır. Karbon plazma kaynağı olarak yüksek saflıkta grafit çubuk kullanılmıştır. En iyi filmi üretmek için argon gazı altında, argon gazı olmadan farklı atımlarda ve farklı yüksekliklerde üretimler yapılmıştır ve özellikleri incelenmiştir. Elde edilen filmlerin optik özellikleri (optik soğurma katsayısının spektral değişimi, yasak enerji aralığı) spektrometre ile ölçülüp, hesaplanmıştır.

Özet (Çeviri)

In this study, carbon films were deposited on glass substrates by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition (PFCVAD). A high purity graphite rod was used as the carbon plasma source. For determination of best film production parameters, different source to substrate distance values tested. Also the vacuum and argon atmosphere is tried. Optical parameters determined by spectrometer , crystallographic properties by XRD spectrometer and topographical properties are determined by AFM.

Benzer Tezler

  1. Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu

    Production and characterization of carbon nanowall thin films by pulsed filtered catodic vacuum arc deposition and electron cyclotron resonance microwave plasma tecniques

    BİRSEN KESİK ZEYREK

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HAMİDE KAVAK

  2. PFCVAD sistemi ile üretilen n ve p-tipi zno ince filmlerin fotolüminesans özelliklerinin karşılaştırılması

    Comparison of the pholuminescence properties of the n and p-type zno thin films which are grown by PFCVAD system

    HAVVA ÖZDAMAR

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2014

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HAMİDE KAVAK

  3. Pfcvad sistemi ile üretilen n ve p tipi zno ince filmlerin fotoiletkenlik özelliklerinin karşılaştırılması

    Comparison of the photoconductivity properties of the n and p type zno thin films which are grown by pfvad system

    KAMURAN KARA

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2013

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMAZAN ESEN

  4. ZnO tabanlı fotodedektör tasarımı, fabrikasyonu ve karakterizasyonu

    Design, fabrication and characterisation of a ZnO-based photodetector

    ÜMİT DOĞAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ KAMURAN KARA

  5. The role of different modes of bias voltage on the morphology, structure and durability of tin and tialn coatings produced with cathodic arc physical vapor deposition

    Farklı hızlandırma voltaj türlerinin katodik ark fiziksel biriktirme yöntemi ile üretilen tin ve tialn kaplamaların morfoloji, yapı ve dayanaklılığı üzerindeki rolü

    GOLNAZ TAGHAVI POURIAN AZAR

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN