Atmalı filtreli katodik vakum ark ile üretilen karbon filmlerin yapısı ve özellikleri
Structure and properties of carbon films produced by filtered cathodic vacuum arc
- Tez No: 465371
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2017
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmada atmalı filtreli katodik vakum ark depolama (PFCVAD) sistemi ile cam alt tabanlar üzerine karbon filmler depolanmıştır. Karbon plazma kaynağı olarak yüksek saflıkta grafit çubuk kullanılmıştır. En iyi filmi üretmek için argon gazı altında, argon gazı olmadan farklı atımlarda ve farklı yüksekliklerde üretimler yapılmıştır ve özellikleri incelenmiştir. Elde edilen filmlerin optik özellikleri (optik soğurma katsayısının spektral değişimi, yasak enerji aralığı) spektrometre ile ölçülüp, hesaplanmıştır.
Özet (Çeviri)
In this study, carbon films were deposited on glass substrates by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition (PFCVAD). A high purity graphite rod was used as the carbon plasma source. For determination of best film production parameters, different source to substrate distance values tested. Also the vacuum and argon atmosphere is tried. Optical parameters determined by spectrometer , crystallographic properties by XRD spectrometer and topographical properties are determined by AFM.
Benzer Tezler
- Manisa yöresinde domateste anlaşmalı tarım ve karşılaşılan sorunlar
Başlık çevirisi yok
OSMAN MURAT KOÇTÜRK
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Gıda MühendisliğiEge ÜniversitesiTarım Ekonomisi Ana Bilim Dalı
PROF. DR. METİN TALİM
- Ayvalı (Isparta ili) ve dolayının jeolojisi
Başlık çevirisi yok
KAMİL YILMAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Jeoloji Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiMineraloji-Petrografi Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. YÜCEL YILMAZ
- Bazı yabancı patates çeşitlerinin kalite özellikleri üzerinde araştırmalar
Başlık çevirisi yok
ATINÇ AKBULAK
Yüksek Lisans
Türkçe
1987
ZiraatEge ÜniversitesiTarla Bitkileri Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. METİN B. YILDIRIM