Atmalı filtreli katodik vakum ark ile üretilen karbon filmlerin yapısı ve özellikleri
Structure and properties of carbon films produced by filtered cathodic vacuum arc
- Tez No: 465371
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2017
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 58
Özet
Bu çalışmada atmalı filtreli katodik vakum ark depolama (PFCVAD) sistemi ile cam alt tabanlar üzerine karbon filmler depolanmıştır. Karbon plazma kaynağı olarak yüksek saflıkta grafit çubuk kullanılmıştır. En iyi filmi üretmek için argon gazı altında, argon gazı olmadan farklı atımlarda ve farklı yüksekliklerde üretimler yapılmıştır ve özellikleri incelenmiştir. Elde edilen filmlerin optik özellikleri (optik soğurma katsayısının spektral değişimi, yasak enerji aralığı) spektrometre ile ölçülüp, hesaplanmıştır.
Özet (Çeviri)
In this study, carbon films were deposited on glass substrates by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition (PFCVAD). A high purity graphite rod was used as the carbon plasma source. For determination of best film production parameters, different source to substrate distance values tested. Also the vacuum and argon atmosphere is tried. Optical parameters determined by spectrometer , crystallographic properties by XRD spectrometer and topographical properties are determined by AFM.
Benzer Tezler
- Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of carbon nanowall thin films by pulsed filtered catodic vacuum arc deposition and electron cyclotron resonance microwave plasma tecniques
BİRSEN KESİK ZEYREK
Doktora
Türkçe
2020
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- PFCVAD sistemi ile üretilen n ve p-tipi zno ince filmlerin fotolüminesans özelliklerinin karşılaştırılması
Comparison of the pholuminescence properties of the n and p-type zno thin films which are grown by PFCVAD system
HAVVA ÖZDAMAR
Doktora
Türkçe
2014
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Pfcvad sistemi ile üretilen n ve p tipi zno ince filmlerin fotoiletkenlik özelliklerinin karşılaştırılması
Comparison of the photoconductivity properties of the n and p type zno thin films which are grown by pfvad system
KAMURAN KARA
Doktora
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- ZnO tabanlı fotodedektör tasarımı, fabrikasyonu ve karakterizasyonu
Design, fabrication and characterisation of a ZnO-based photodetector
ÜMİT DOĞAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ KAMURAN KARA
- The role of different modes of bias voltage on the morphology, structure and durability of tin and tialn coatings produced with cathodic arc physical vapor deposition
Farklı hızlandırma voltaj türlerinin katodik ark fiziksel biriktirme yöntemi ile üretilen tin ve tialn kaplamaların morfoloji, yapı ve dayanaklılığı üzerindeki rolü
GOLNAZ TAGHAVI POURIAN AZAR
Doktora
İngilizce
2019
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN