LiNbO3 temelli entegre optik nano ölçekli aygıtların simülasyon, dizayn, fabrikasyon ve karakterizasyonu
Simulation, design, fabrication and characterization of LiNbO3 based nanoscale integrated optics devices
- Tez No: 430927
- Danışmanlar: PROF. DR. ERDEM YAZGAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2016
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Hacettepe Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 86
Özet
LiNbO3 (Lityum Niyobat) sahip olduğu birçok fiziksel ve elektro-optik özellik sayesinde günümüzde entegre optik alanında çok önemli bir yere sahip olmuştur. LiNbO3 dalgakılavuzları entegre optik çiplerin en önemli yapıtaşlarından biridir. Lityum Niyobat alttaş üzerinde birçok farklı dalgakılavuzu üretim tekniği vardır ve herbirinin farklı üstünlükleri bulunmaktadır. Bu tez çalışmasında, LiNbO3 alttaş üzerine yüksek sıcaklıklarda (900oC ve 1010oC) titanyum difüzyonu yöntemi ile çeşitli dalgakılavuzu yapıları ve farklı işlevleri olan aygıtlar üretilmiştir. Fabrikasyon sırasında titanyum metali kaplama kalınlığındaki nanometrik farklılıklar, difüzyon süresi ve sıcaklığındaki değişimlerin dalgakılavuzlarının ve aygıtların çalışma performansı üzerinde etkileri gözlemlenmiş ve sunulmuştur. 55 nm gibi kaplama kalınlıkları kılavuz bölgesinde kip oluşumu için yeterli olmazken, 900oC gibi nispeten düşük sıcaklıklarda kip oluşumu için gerekli sürenin 1010oC' de gerçekleştirilen difüzyonlara göre çok daha uzun olduğu yapılan simulasyonlar neticesinde görülmüştür. Üretilen dalgakılavuzları için en iyi koşullar 85 nm titanyum kaplı örneklerin 1010oC'de 8 saatlik difüzyonu sonucunda elde edilmiştir. Tez fabrikasyonları sonucunda oldukça düşük kayıplı (37 dB) dalgakılavuzları da üretilmiştir.
Özet (Çeviri)
Owing to its many physical and electro-optical properties, LiNbO3 (Lithium Niobate) is one of the most undispensible materials in integrated optics field nowadays. LiNbO3 based waveguide is one of the most important part of an integrated optic chip. There are several fabrication methods to build waveguides on Lithium Niobate wafers and all of them have their own superiorities. In this thesis work, several waveguide types and devices those have different application were fabricated on LiNbO3 substrates by indiffusion of titanium metal at high temperatures (900oC - 1010oC). During the fabrication process, the effect of several parameters such as the nanometric differences in the thickness of titanium, diffusion time and temperature were observed and the effects of these changes on device performances were reported. Thicknesses around 55 nm observed as not enough for forming a mode in waveguide, while it was observed with the simulation results that diffusion times to build a mode in waveguide structure are much longer than diffusion at temperatures 1010oC. The best results for waveguide throughput was obtained in the diffusion of 85 nm titanium for 8 hours at 1010oC. In this thesis fabrications, very low loss waveguides (37 dB), which there are few similar works in literature, were completed.
Benzer Tezler
- Optical properties of multilayer antireflection coating systems on a ferroelectric base
Ferroelektrik temelli çok katmanlı yansıtmasız sistemlerin optik özellikleri
FİLİZ KARAÖMERLİOĞLU
Doktora
İngilizce
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF. DR. EMİRULLAH MEHMETOV
- Investigation of the dynamic properties of ferroelectric crystals close to phase transitions
Faz geçişleri yakınında ferroelektrik kristallerin dinamik özelliklerinin araştırılması
ALİ KİRACI
Doktora
İngilizce
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HASAN HAMİT YURTSEVEN
- LiNbO3 tabanlı şiddet kipleyicisi tasarımı, üretimi ve karakterizasyonu
Design, fabrication and characterization fo LiNbO3 based intensity modulator
SEVAL DÖNERTAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. BARIŞ AKAOĞLU
- LiNbO3 tabanlı modülatör üretimi ve karakterizasyonu
Fabrication and characterization of LiNbO3 based intensity modulator
BUSE BACINOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Metalurji MühendisliğiGazi ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAKAN ATEŞ
- Fotokırıcı LiNbO3:Fe kristali; holografik bilgi depolama ve yüksek sıcaklık optik özellikler
Photorefractive LiNbO3:Fe crystal; holographic data storage and optical properties in high temperature
ALİ VEYSEL TUNÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2005
Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ.DR. HİKMET YÜKSELİCİ