Yüksek performanslı, yüksek hızlı InP tabanlı ıngaas fotodedektör proses geliştirme
High-performance, high-speed inp based InGaAs photodedector process development
- Tez No: 444620
- Danışmanlar: PROF. DR. MEHMET RECAİ ELLİALTIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2016
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Hacettepe Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışma, uzun mesafe iletişim sistemlerinde yoğun bir şekilde kullanılan fotodedektörlerin tasarlanma aşamalarını ve üretim aşamalarını kapsamaktadır. InP tabanlı InGaAs aktif katmanlı fotodedektörler imal edilip bu fotodedektörlerin karakterizasyonu yapılarak yüksek hızlı bir fotodedektör üretimi hedeflenmiştir. Bu süre boyunca yapılan fabrikasyonlardan elde edilen ölçüm sonuçlara göre fabrikasyon ve tasarım adımlarında değişiklikler yapılıp yüksek hızlı bir fotodedektör elde edilmiştir. Aynı zamanda farklı eşörgüsel yapılar kullanılarak elde edilen fotodedektörlerin karanlık akım, kapasitans ve hız özelliklerinin iyileştirilmesi amaçlanmıştır. Fotodedektörlerin akım/gerilim, kapasitans ölçümleri ve hız ölçümleri yüksek duyarlılıklı cihazlar ile yapılmıştır. Yapılan fabrikasyonlar sonunda ise eşörgüsel yapının katmanları ve fabrikasyonda kullanılan kontak metalleri arasındaki kapasitans etkinin fotodedektörlerin hız değerinin artması için mümkün mertebe azaltılması gerektiği, aynı zamanda kullanılan kontak metallerin seri dirençlerinin azaltılmasının dedektörün hız değerini arttırdığı görülmüştür.
Özet (Çeviri)
This work includes the design methods and fabrication methods of the photodetectors which are used often in long-distance communication systems. The aim of this thesis is that fabricating a high performance and high speed InP based InGaAs photodetectors. At the same zamanı this thesis includes the characterization of the photodetectors. During this work a high speed InP based InGaAs photodetector was made with changing the design methods and fabrication methods according to the characterization results. In other words, different epitaxial structures were used for decreasing the dark current and capacitance, increasing the speed of phototodetectors. The characterization of the photodetectors was made with various systems. It was observed that changing of capacitance between layers of epitaxial structure and the contact metals of photodetectors affect the speed of the photodetectors, as this capacitance decreasing, the speed of the photodetectors increases. At the same zamanı another result of the thesis is that changing of the serial resistivity of the contact metals affect the speed of the photodetectors, as this resisitivity decreasing, the speed of the photodetectors increases.
Benzer Tezler
- Development of ligand exchange and coating strategies for the colloidal quantum dot based high-resolution short-wave infrared imaging sensors
Koloidal kuantum nokta tabanlı yüksek çözünürlüklü kısa dalga kızılötesi görüntüleme sensörleri için ligand değişimi ve kaplama stratejilerinin geliştirilmesi
BATUHAN UZUN
Yüksek Lisans
İngilizce
2024
KimyaOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
DR. ÖĞR. ÜYESİ DEMET ASİL ALPTEKİN
PROF. DR. TAYFUN AKIN
- Single and dual band quantum well infrared photodetector focal plane arrays on InP substrates
InP taban üzerinde tek ve iki bantlı kuantum kuyulu kızıl ötesi fotodedektör odak düzlem matrisleri
SÜLEYMAN UMUT EKER
Doktora
İngilizce
2010
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. CENGİZ BEŞİKCİ
- SiGe BiCMOS front-end integrated circuits for X-band phased arrays
X-band faz dizinleri için sige BiCMOS ön uç devreleri
TOLGA DİNÇ
Yüksek Lisans
İngilizce
2012
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSabancı ÜniversitesiElektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. YAŞAR GÜRBÜZ
- Development of dopant-free hole transport and passivation materials for high-performance perovskite solar cells
Yüksek performanslı perovskit güneş hücreleri için dopant gerektirmeyen boşluk geçirgen ve pasivasyon malzemelerinin geliştirilmesi
FİGEN VARLIOĞLU YAYLALI
Doktora
İngilizce
2023
Polimer Bilim ve TeknolojisiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiPolimer Bilim ve Teknolojisi Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. EMRULLAH GÖRKEM GÜNBAŞ
PROF. DR. HÜSNÜ EMRAH ÜNALAN
- Polilaktik asit tabanlı iletken filament kullanılarak 3b baskılı elektrotların geliştirilmesi ve nitro-polisiklik aromatik hidrokarbonların amperometrik tayininde uygulanması
Development of 3D-printed electrodes using polylactic acid-basedconductive filament and their application in amperometric determination of nitro-policyclic aromatic hydrocarbons
HARUN NALÇAKAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2026
KimyaAnkara ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MÜŞERREF ÖNAL
DR. ÖĞR. ÜYESİ GÜLBİN KURTAY