Yüksek performanslı, yüksek hızlı InP tabanlı ıngaas fotodedektör proses geliştirme
High-performance, high-speed inp based InGaAs photodedector process development
- Tez No: 444620
- Danışmanlar: PROF. DR. MEHMET RECAİ ELLİALTIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2016
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Hacettepe Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışma, uzun mesafe iletişim sistemlerinde yoğun bir şekilde kullanılan fotodedektörlerin tasarlanma aşamalarını ve üretim aşamalarını kapsamaktadır. InP tabanlı InGaAs aktif katmanlı fotodedektörler imal edilip bu fotodedektörlerin karakterizasyonu yapılarak yüksek hızlı bir fotodedektör üretimi hedeflenmiştir. Bu süre boyunca yapılan fabrikasyonlardan elde edilen ölçüm sonuçlara göre fabrikasyon ve tasarım adımlarında değişiklikler yapılıp yüksek hızlı bir fotodedektör elde edilmiştir. Aynı zamanda farklı eşörgüsel yapılar kullanılarak elde edilen fotodedektörlerin karanlık akım, kapasitans ve hız özelliklerinin iyileştirilmesi amaçlanmıştır. Fotodedektörlerin akım/gerilim, kapasitans ölçümleri ve hız ölçümleri yüksek duyarlılıklı cihazlar ile yapılmıştır. Yapılan fabrikasyonlar sonunda ise eşörgüsel yapının katmanları ve fabrikasyonda kullanılan kontak metalleri arasındaki kapasitans etkinin fotodedektörlerin hız değerinin artması için mümkün mertebe azaltılması gerektiği, aynı zamanda kullanılan kontak metallerin seri dirençlerinin azaltılmasının dedektörün hız değerini arttırdığı görülmüştür.
Özet (Çeviri)
This work includes the design methods and fabrication methods of the photodetectors which are used often in long-distance communication systems. The aim of this thesis is that fabricating a high performance and high speed InP based InGaAs photodetectors. At the same zamanı this thesis includes the characterization of the photodetectors. During this work a high speed InP based InGaAs photodetector was made with changing the design methods and fabrication methods according to the characterization results. In other words, different epitaxial structures were used for decreasing the dark current and capacitance, increasing the speed of phototodetectors. The characterization of the photodetectors was made with various systems. It was observed that changing of capacitance between layers of epitaxial structure and the contact metals of photodetectors affect the speed of the photodetectors, as this capacitance decreasing, the speed of the photodetectors increases. At the same zamanı another result of the thesis is that changing of the serial resistivity of the contact metals affect the speed of the photodetectors, as this resisitivity decreasing, the speed of the photodetectors increases.
Benzer Tezler
- Bir ilaç fabrikasında personel gereksinmesinin belirmesi seçilmesi ve elde tutulmasına yönelik bir uygulama çalışması
Başlık çevirisi yok
EMİNE BOZBAĞ
Yüksek Lisans
Türkçe
1989
İşletmeİstanbul ÜniversitesiÇalışma Ekonomisi ve Endüstri İlişkileri Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TUĞRAY KAYNAK
- Çimentonun sertleşmesi üzerinde kimyasal komponentlerin etkisi
Başlık çevirisi yok
NACİYE TÜRKEL
Yüksek Lisans
Türkçe
1986
Kimya MühendisliğiUludağ ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA CEBE
- Halvetiyyenin Şa'baniyye kolu ve Şa'ban-ı Veli
Başlık çevirisi yok
L. NİHAL YAZAR
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Türk Dili ve EdebiyatıGazi ÜniversitesiYRD. DOÇ. DR. ABDÜLKERİM ABDÜLKADİROĞLU
- Bazı esterlerin kinetik incelenmesi ve termodinamik parametrelerin belirlenmesi
Kinetic study and detesmination of thermodnamic parameters of some esters
İBRAHİM TAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
1986
Kimya MühendisliğiUludağ ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA CEBE
- İzmir'de bazı yolların kapatılarak yaya bölgeleri oluşturma da kent peyzajını geliştirme açısından yeniden planlanması üzerinde araştırmalar
Başlık çevirisi yok
BAHAR TÜRKYILMAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Şehircilik ve Bölge PlanlamaEge ÜniversitesiŞehir ve Bölge Planlama Ana Bilim Dalı