Characterization of perovskite-like high k dielectric materials for metal-insulator-metal capacitors
Başlık çevirisi mevcut değil.
- Tez No: 597762
- Danışmanlar: PROF. BERND TILLACK
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2013
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Technısche Unıversıtat Berlın
- Enstitü: Yurtdışı Enstitü
- Ana Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Özet yok.
Özet (Çeviri)
Metal-Insulator-Metal (MIM) capacitors are one of the key building blocks in radio frequency analog/mixed signal integrated circuits. According to International Technology Roadmap for Semiconductors requirements, MIM capacitors should exhibit high capacitance densities accompanied with low leakage current density, small voltage dependency and high quality factor for future applications. However, based on conventional dielectric materials, like SiO2 and Si3N4, it is not possible to meet these requirements mainly due to limited capacitance density values and reliability issues. Therefore, there is urgent need to replace the conventional dielectric material with high dielectric constant materials as this is the most promising solution. In this thesis, the focus is on screening of different alternative dielectric materials using single or multilayer dielectric structures for future MIM capacitor applications. Moreover, influences of post-deposition annealing and electrode materials on MIM capacitor properties are investigated. Special attention is given on the characterization of MIM capacitors in terms of physical and main electrical properties.
Benzer Tezler
- Characterization of molybdenum oxide and magnesium doped zinc oxide charge transport layers deposited by sputtering for heterojunction solar cells
Heteroeklem güneş hücreleri için saçtırma yöntemi ile büyütülmüş molibden oksit ve magnezyum katkılı çinko oksit yük taşıyıcı tabakaların karakterizasyonu
GENCE BEKTAŞ
Yüksek Lisans
İngilizce
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
YRD. DOÇ. DR. SELÇUK YERCİ
DOÇ. DR. ALPAN BEK
- Low temperature growth, characterization, and applications of RF-sputtered srtio3 and BaSrTiO3 thin films
SrTiO3 ve BaSrTiO3 ince filmlerin düşük sıcaklıkta depolanması, karakterizasyonu ve uygulamaları
TÜRKAN BAYRAK
Yüksek Lisans
İngilizce
2016
Mühendislik Bilimleriİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
YRD. DOÇ. DR. NECMİ BIYIKLI
- Preparation and characterization of carbon quantum dot- based composite thin films
Karbon kuantum nokta esaslı kompozit ince filmlerinin hazırlanması ve karakterizasyonu
RAMAZAN FERHAT ERDEN
Yüksek Lisans
İngilizce
2025
Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SEDEN BEYHAN
- Kurşun esaslı yeni ferroelektrik malzemelerin üretimi ve karakterizasyonu
Production of lead-based new ferroelectric materials and their characterization
AYGÜL ALKAN GÜLTEKİN
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Mühendislik BilimleriGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
Y.DOÇ.DR. HÜSEYİN YILMAZ
- Çevre dostu kurşunsuz piezoelektrik parçacık katkılı PVDF kompozitlerin piezoelektrik uygulamaları için üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of environmentally friendly lead free piezoelectric particle added PVDF composites for piezoelectric applications
SERHAT TIKIZ
Doktora
Türkçe
2025
Seramik MühendisliğiAfyon Kocatepe ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. METİN ÖZGÜL