Characterization of perovskite-like high k dielectric materials for metal-insulator-metal capacitors
Başlık çevirisi mevcut değil.
- Tez No: 597762
- Danışmanlar: PROF. BERND TILLACK
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2013
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Technische Universität Berlin
- Enstitü: Yurtdışı Enstitü
- Ana Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 156
Özet
Özet yok.
Özet (Çeviri)
Metal-Insulator-Metal (MIM) capacitors are one of the key building blocks in radio frequency analog/mixed signal integrated circuits. According to International Technology Roadmap for Semiconductors requirements, MIM capacitors should exhibit high capacitance densities accompanied with low leakage current density, small voltage dependency and high quality factor for future applications. However, based on conventional dielectric materials, like SiO2 and Si3N4, it is not possible to meet these requirements mainly due to limited capacitance density values and reliability issues. Therefore, there is urgent need to replace the conventional dielectric material with high dielectric constant materials as this is the most promising solution. In this thesis, the focus is on screening of different alternative dielectric materials using single or multilayer dielectric structures for future MIM capacitor applications. Moreover, influences of post-deposition annealing and electrode materials on MIM capacitor properties are investigated. Special attention is given on the characterization of MIM capacitors in terms of physical and main electrical properties.
Benzer Tezler
- Characterization of molybdenum oxide and magnesium doped zinc oxide charge transport layers deposited by sputtering for heterojunction solar cells
Heteroeklem güneş hücreleri için saçtırma yöntemi ile büyütülmüş molibden oksit ve magnezyum katkılı çinko oksit yük taşıyıcı tabakaların karakterizasyonu
GENCE BEKTAŞ
Yüksek Lisans
İngilizce
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. SELÇUK YERCİ
DOÇ. DR. ALPAN BEK
- La2-xNaxNiMnO6 (x=0.0, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0) çift katmanlı perovskit malzemelerin yapısal, manyetik ve manyetokalorik özelliklerinin incelenmesi
La2-xNaxNiMnO6 investigation of the structural, manyetic and manyetocaloric properties of double-layer peroskit materials
İBRAHİM BARIŞ SEVER
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Fizik ve Fizik MühendisliğiAdıyaman ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ALİ OSMAN AYAŞ
- Lityum ve tantalyum katkılı sodyum potasyum niobat piezoseramiklerinin spark plazma sinterleme ile üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of lithium and tantalum added potassium sodium niobate piezoceramics via spark plasma sintering
MEHMET KAHRAMAN ÖZMEN
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. GÜLTEKİN GÖLLER
- Boya duyarlı güneş pilleri için ftalosiyanin boyaların geliştirilmesi
Development of phthalocyanine dyes for dye sensitive solar cells
YİĞİT CAN DEMİRCİ
- Doping strategy for enhanced photocatalytic hydrogen production on tantalum layered perovskite nanosheets
Tantal katmanlı perovskit nanotabakalarda geliştirilmiş fotokatalitik hidrojen üretimi için katkı stratejisi
TUĞBA YALÇIN
Doktora
İngilizce
2024
EnerjiKoç ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. UĞUR ÜNAL