Bazı oksit ve ııı-v yarıiletken mikro ve nano yapıların yüzey fiziği özelliklerinin incelenmesi
Investigation of surface physics properties of some oxide and iii-v semiconductor micro and nanostructures
- Tez No: 618716
- Danışmanlar: PROF. DR. SEBAHATTİN TÜZEMEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Temas açısı, Yüzey enerjisi, Yüzey gerilimi, Contact angle, Surface energy, Surface tension
- Yıl: 2020
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Atatürk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Malzeme Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tezde, katkısız ve katkılı n-WO3, p-NiO ile n-TiO2, n-GaAs (Te), n-InP ve SI-GaAs (Un), InP (Fe) yarıiletkenlerdeki cihaz özelliklerinin belirlenmesi ve yüzey olaylarını kontrol etmek amacıyla yüzey enerjileri ölçüldü. Ek olarak, n tipi ve p tipi yarıiletkenlerin yüzey enerjilerinin ve temas açılarının oksidasyon sonucu nasıl değiştiği gözlendi. n-tipi yarıiletkenlerin (WO3, NiO, TiO2, GaAs) temas açıları ve yüzey enerji oksitlenme öncesi ile sonrası arasında farklı sonuçlar gösterdi. p-tipi (InP, NiO) yarıiletkenlerde ise oksitleme öncesi ve sonrasındaki temas açıları ile yüzey enerji değerleri karşılaştırıldığında kayda değer bir değişme olmadığı görüldü. Oksit numuneler yüzey enerjisi bakımından n tipi ve p tipine göre zıt davranış gösteridi. Bunun sebebi yüzeydeki oksijen kansantrasyonunun tipe bağlı olmasıdır. InP ve GaAs gibi III-V numunelerde yüzey enerjisi sonuçları katkı tipine ve oksidasyona çok sıkı bir şekilde bağlıdır. Oksit ve III-V yarıiletkenlerde tavlama işlemi sonrasında numunelerin yüzey bölgesinde yapısal özellikler değişti. Bazı numunelerin tavlama öncesi hidrofobik özellik gösteriyorken tavlama sonrası hidrofilik özellik gösterdiği gözlemlendi. Yani yüzey pürüzlülüğü azalarak yüzeyin daha düzgün hale geldiği saptandı.
Özet (Çeviri)
In this thesis, in order to determine the surface properties of the device properties in n-WO3, p-NiO, n-TiO2, n-GaAs (Te), n-InP and SI-GaAs (Un), InP (Fe) semiconductors and to control surface events surface energies were measured. In addition, it was observed how the surface energies and contact angles of the n-type and p-type semiconductors changed as a result of oxidation. The contact angles of n-type semiconductors (WO3, NiO, TiO2, GaAs) and the surface energy showed different results between before and after oxidation. In p-type (InP, NiO) semiconductors, it was observed that there was no significant change when the contact angles before and after oxidation and the surface energy values were compared. Oxide samples showed opposite behavior in terms of surface energy compared to n type and p type. The reason for this is that the oxygen cancer on the surface depends on the type. In III-V samples such as InP and GaAs, surface energy results are very tightly dependent on the additive type and oxidation. After annealing in oxide and III-V semiconductors, structural properties of the samples have changed in the surface region. While some samples showed hydrophobic properties before annealing, it was observed that they showed hydrophilic properties after annealing. In other words, the surface roughness decreased and the surface became smoother.
Benzer Tezler
- Growth and characterization of sol-gel derived Cu(In,Ga)Se2 (CIGS) thin-films and beta irradiation effect
Cu(In,Ga)Se2 (CIGS) ince filmlerin sol-jel tekniğiyle büyütülmesi, karakterizasyonu ve beta ışınlarının etkisinin incelenmesi
ŞENGÜL AKYOL
Yüksek Lisans
İngilizce
2015
Enerjiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜSEYİN ÇİMENOĞLU
PROF. DR. NİLGÜN BAYDOĞAN
- Nano-scale chemically modified thin film characterization for chemical mechanical planarization applications
Nano-boyutta kimyasal modifiye edilmiş ince filmlerin kimyasal-mekanik düzleştirme uygulamaları için karakterizasyonu
AYŞE KARAGÖZ
Doktora
İngilizce
2015
Mühendislik BilimleriÖzyeğin ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GÜL BAHAR BAŞIM DOĞAN
- Synthesis and characterization of amide containing polybenzoxazines from bio-based compounds
Biyo bazlı bileşiklerden amid içeren polibenzoksazinlerin sentezi ve karakterizasyonu
EMİNE YILMAZ
Yüksek Lisans
İngilizce
2024
Polimer Bilim ve Teknolojisiİstanbul Teknik ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BARIŞ KIŞKAN
- Atomic layer deposition of III-nitrides and metal oxides; their application in area selective ALD
III-nitratların ve metal oksitlerin atomik katman kaplamısı; bunların alan seçici ALD`deki uygulamaları
ALI HAIDER
Doktora
İngilizce
2017
Bilim ve Teknolojiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı (disiplinlerarası)
Assist. Prof. AYKUTLU DANA
DR. NECMİ BIYIKLI
- Alüminyum (III) iyonunun bazı oksijen verici ligandlar ile oluşturduğu komlekslerin ve alüminyum oksidin çimento özelliklerine etkilerinin incelenmesi
Research of the aluminium (III) complexes with some oxigen donor ligans and effects of aluminium oxide on cement properties
MELEK BERKER
