Dielektrik ince filmlerin si fotodetektör aygıt performansına etkisinin incelenmesi
Investigation of the effect of dielectric thin films on si photodetector device performance
- Tez No: 721899
- Danışmanlar: DOÇ. DR. AKIN BACIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2022
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Hacettepe Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Nanoteknoloji Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 103
Özet
Bu çalışma Silisyum tabanlı fotodedektörlerde dielektrik ince filmlerin fotocevap ve karanlık akım gibi isterler üzerindeki etkisinin incelenmesini içermektedir. Silvaco yazılımı kullanılarak bilgisayar destekli modeller oluşturulmuş ve parametrik simülasyonlar gerçekleştirilmiştir. Detektör fotocevap performansının artırılması noktasında dielektrikler için yansıtmazlık düzeyleri hesaplanmıştır. Silisyum ile olan uyum gözetilerek en başarılı yansıtmazlık performansı 1.87 kırma indisli Si3N4 ince filmden elde edilmiştir. Dielektrik – yarıiletken arayüzeyindeki yük yoğunluğunun ölçülmesi yolu ile pasivasyon performansları incelenmiştir. Bu anlamda kapasitans – voltaj ölçümleri için simülasyonlar yapılmış ve deneysel çalışmalar öncesinde teorik zemin oluşturulmuştur. Islak termal oksidasyon, PECVD ve arındırma ile kuru termal oksidasyon gibi metotlarla büyütülen SiO2 ince filmlerin pasivasyon performansları fotoiletkenlik ve kapasitans ölçümleriyle karşılaştırmalı olarak gerçekleştirilmiştir. Arındırma ile kuru oksitleme tekniğiyle büyütülmüş SiO2 ince filmlerin Silisyum tabanlı aygıtlar için en başarılı pasivasyonu sağladığı görülmüştür.
Özet (Çeviri)
This work contains the investigation of dielectric films effect on photoresponse and dark current in Silicon-based photodetectors. Computer-aided models were created using Silvaco software and parametric simulations were performed. Anti-reflection values were calculated for the dielectrics to increase the detector photo response performance. Considering the compatibility with Silicon, the most successful anti-reflection performance was obtained from Si3N4 thin film with refractive index of 1.87. Passivation performances were investigated by measuring the charge density at the dielectric-semiconductor interface. Simulations have been made for capacitance-voltage measurements and theoretical ground has been established before experimental studies. The passivation performances of SiO2 thin films grown by methods such as wet thermal oxidation, PECVD and gettering dry thermal oxidation were compared with photoconductivity and capacitance measurement results. It has been observed that SiO2 thin films grown by the gettering dry oxidation technique provide the most successful passivation for Silicon-based devices.
Benzer Tezler
- HfO2 ince filmlerin atomik katman biriktirme tekniği ile büyütülmesi ve akım-iletim mekanizmalarının incelenmesi
Deposition of HfO2 thin films by atomic layer deposition technique and investigation of current-transport mechanisms
ABDULSAMED KAYA
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇankırı Karatekin ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HALİT ALTUNTAŞ
- P53 geninin nokta mutasyonunu sentetik oligonükleotit kullanarak tespit edebilen optik tabanlı DNA biyosensörünün geliştirilmesi
Development of an optical DNA biosensor for the detection of point mutations in p53 gene using synthetic oligonucleotites
ALİGÜL BÜYÜKAKSOY
Yüksek Lisans
Türkçe
2009
Mühendislik BilimleriGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. AHMET YAVUZ ORAL
DOÇ. DR. FERRUH ÖZCAN
- MOS yapıların dielektrik uygulamaları için vanadyum oksit ince filmlerin incelenmesi
Investigation of vanadium oxide thin films for dielectric applications of MOS structures
YUSUF BİLGEN
Doktora
Türkçe
2019
Fizik ve Fizik MühendisliğiBatman ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. OSMAN PAKMA
- Preparation of PLZT thin films by chemical solution deposition and their characterization
PLZT ince filmlerin kimyasal çözeltiden biriktirme yöntemiyle hazırlanışı ve karakterizasyonu
BURKAN KAPLAN
Yüksek Lisans
İngilizce
2005
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MACİT ÖZENBAŞ
- Vanadyum oksit ince filmlerin optik sensörlerin algılama özelliklerine etkisi
The effect of vanadium oxide thin films on the detection properties of optical sensors
ADEM SARAÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SELİM ACAR