Gerçek zamanlı görüntü işleme kullanılarak kartezyen robot ile fotolitografide maske hizalama
Mask alignment in photolithography with cartesian robot using real-time image processing
- Tez No: 734360
- Danışmanlar: PROF. DR. MUSTAFA ANUTGAN, DR. ÖĞR. ÜYESİ HAKAN YILMAZ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Mekatronik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering, Mechatronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2022
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Karabük Üniversitesi
- Enstitü: Lisansüstü Eğitim Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Mekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 138
Özet
Bu tez çalışmasında, yarı iletken teknolojisinin temelini oluşturan aygıtların (transistör dizinleri, entegre devreler, vb.) üretim süreçlerindeki kritik aşamalarda kullanılan maske hizalayıcının üretimi amaçlanmaktadır. Bu teknolojiyi geliştirmek ve projenin Türkiye'deki laboratuvarlara taşınabilir hale gelmesini sağlamak hedeflerimiz arasındadır. Cihazın yarı otomatik veya tam otomatik bir yapıda olması ve istenilen işlemlerin büyük bir bölümünü önceden verilen komutlar sayesinde otonom olarak gerçekleştirmesi hedeflenmektedir. Gelişmeye açık olan bu sistemin kontrol bloğu, görüntü işleme ve geribesleme algoritmalarının etkin yazılım ile istenilen komutları eksiksiz yerine getirmesi sonucunda daha hassas hizalamaların yapılması planlanmaktadır. Bu sayede, geliştirmiş olduğumuz ürün kullanılarak daha yüksek kalitede teknolojik yarıiletken aygıtlar üretilebilecektir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, it is aimed to produce the mask aligner used in the critical stages of the production processes of the devices (transistor arrays, integrated circuits, etc.) that form the basis of semiconductor technology. Developing this technology and making the project portable to laboratories in Turkey are among our goals. It is aimed that the device will be semi-automatic or fully automatic and perform most of the desired operations autonomously, thanks to the commands given beforehand. It is planned to make more precise alignments with the control block, image processing and feedback algorithms of this system, which is open to development, fully fulfilling the desired commands with the effective software. In this way, higher quality technological semiconductor devices will be produced using the product we have developed.
Benzer Tezler
- Camera controlled pick and place application with Puma 760 robot
Puma 760 robot ile kamera denetli al ve yerleştir uygulaması
DENİZ DURUSU
Yüksek Lisans
İngilizce
2005
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AYDIN ERSAK
- Manipulation of visually recognized objects using deep learning
Görsel tanınan nesnelerin derin öğrenme kullanarak hareket ettirilmesi
ERTUĞRUL BAYRAKTAR
Doktora
İngilizce
2018
Mekatronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. PINAR BOYRAZ
- Stochastic bitstream-based vision and learning machines
Stokastik bit akışı tabanlı görü ve öğrenme makineleri
SERCAN AYGÜN
Doktora
İngilizce
2022
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve Kontrolİstanbul Teknik ÜniversitesiElektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ECE OLCAY GÜNEŞ
- Ameliyat simülatörleri için özgün üç boyutlu konum belirleme sistemi geliştirilmesi
Development of original three dimensional positioning system for operating simulators
HİLAL ATICI
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolAnadolu ÜniversitesiBilgisayar Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. YAŞAR HOŞCAN
- Radyal pompa çarkları içerisindeki üç boyutlu sürtmeli ve sürtmesiz akışın sayısal analizi
Full 3D viscous and inviscid analysis of flow in radial pump impelleri
AŞKIN KARAKAS