InAlAs/InGaAs metal-yarıiletken-metal fotodedektörlerin aygıt simülasyonu, epitaksiyel büyütülmesi ve karakterizasyonu
Device simulation, epitaxial growth, and characterization of the metal-semiconductor-metal photodetectors based on InAlAs/InGaAs
- Tez No: 881330
- Danışmanlar: DOÇ. DR. İLKAY DEMİR
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Bilim ve Teknoloji, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Science and Technology, Physics and Physics Engineering, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2024
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Sivas Cumhuriyet Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nanoteknoloji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tez çalışmasında, Silvaco TCAD simülasyon programı ile MSM fotodedektör yapısındaki soğurma tabakası, bariyer tabakası ve dijital dereceli süperörgü tabakasının kalınlıklarının aygıt üzerindeki etkisi araştırılmıştır. MSM fotodedektör yapısındaki her tabakanın aygıtın karanlık akımı, fotoakımı ve foto-karanlık akım oranı üzerindeki etkisi detaylı bir şekilde gösterilmiş ve optimize yapılar oluşturulmuştur. Optimize edilen yapılar Metal Organik Buhar Fazı Epitaksi (MOVPE) sistemi ile büyütülmüştür. MSM fotodedektör yapılarının konsantrasyon oranları, süperörgü tabakalarının kalınlıkları ve büyüme oranları üzerine optimizasyon yapılmıştır. Büyütülen yapıların yapısal karakterizasyonları için Yüksek Çözünürlüklü X-Işını Kırınımı (HRXRD) sistemi kullanılmıştır. Bu sayede MSM fotodedektör yapılarında kullanılacak tabakaların kalınlıkları ve akışları hassas bir şekilde optimize edilmiştir. Optimizasyon çalışmasından sonra MSM fotodedektör yapıları büyütülmüş, HRXRD sistemi yapısal özellikleri ve Fotolüminesans (PL) sistemi ile optik özelliklerini araştırılmıştır. Ayrıca büyütülen yapının fabrikasyonu yapılmış ve MSM fotodedektörün aygıt performansı gösterilmiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, the effect of the absorption layer, barrier layer, and digital-grade superlattice layer thicknesses in the MSM photodetector structure on the device is investigated with the Silvaco TCAD simulation program. The effect of each layer in the MSM photodetector structure on the device's dark current, photocurrent, and photocurrent-dark current ratio is demonstrated in detail and optimized structures are created. The optimized structures are grown by the Metal Organic Vapour Phase Epitaxy (MOVPE) system. Concentration ratios, thicknesses of superlattice layers, and growth rates of MSM photodetector structures are optimized. High-resolution X-ray diffraction (HRXRD) system is used for the structural characterization of the grown structures. In this way, the thicknesses and flows of the layers used in MSM photodetector structures are sensitively optimized. After the optimization study, MSM photodetector structures were grown and investigated structural properties were by the HRXRD system, and optical properties were by the Photoluminescence (PL) system. The fabrication of the grown structure is also performed and the device performance of the MSM photodetector is demonstrated.
Benzer Tezler
- Hidrolik kontrol valflerinde çalışma kuvvetleri
Operating forces in hydraulic control valves
MUSTAFA İNAL
- Mikrogözenekli polipropilen ve silikon kaplı mikrogözenekli kapiler tüplerde gaz-gaz transferi ve modellenmesi
Başlık çevirisi yok
ÇETİN ÇAKMAKLI
Doktora
Türkçe
1987
Kimya MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ERHAN PİŞKİN
- Türkiye'de baraj alanlarının kamulaştırılması Bitlis Ayşehatun barajı örneği
Nationalization of dam lands in Turkey Bitlis Ayşehatun dam
MEHMET İNAL
Yüksek Lisans
Türkçe
1988
ZiraatAnkara ÜniversitesiTarım Ekonomisi Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ZİYA GÖKALP MÜLAYİM
- Tarım sektörünün planlanmasında input-output modeli ve Türkiye örneği
Başlık çevirisi yok
ŞENOL ERDOĞMUŞ
