Gabor dalgacığı kullanılarak ince filmlerin yüzey profillerinin belirlenmesi
Determination of surface profile of thin film by using gabor wavelet
- Tez No: 884675
- Danışmanlar: PROF. DR. EMRE COŞKUN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2024
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çanakkale Onsekiz Mart Üniversitesi
- Enstitü: Lisansüstü Eğitim Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 60
Özet
İnce filmler, son yıllarda yapılan bilimsel çalışmalar arasında büyük bir ivme kazanmıştır. Günümüzde ince film teknolojisi, birçok teknolojik çalışmanın belirleyici unsuru haline gelmiştir. İnce filmler kullanılarak, transistörler, ledler, entegre devreler ve diyotlar üretilmektedir. Entegre devreler, tek bir ince film üzerine kondansatör, transistör ve diyotların bir araya getirilmesiyle oluşturulmaktadır. Elde edilen bu entegre devreler, bilgisayarların, saatlerin, hesap makinelerinin, otomobillerin, kameraların, televizyonların, cep telefonlarının ve birçok yenilenebilir enerji kaynaklarının kalbini oluşturmaktadır. Bu yüzden aygıt teknolojisinin gelişebilmesi için ince filmlerin yüzey profili analizleri oldukça önemlidir. Ekonomik ve kullanışlı olması nedeniyle optik yöntemler yüzey profili analizinde en çok tercih edilen yöntemdir. Yüzey profili belirme yöntemlerinde optik yöntemlerin yanı sıra Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM), Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) vb. farklı yöntemler bulunmaktadır. Bu çalışmada, optik ölçüm yöntemi olarak tek renk kırınım faz mikroskopisi (TRKFM) kullanılmıştır. Kırınım Faz Mikroskobunda, ince film yüzeyinin interferogram görüntüleri alınır ve analiz edilir. Bu çalışma kapsamında yüzey profili analizinde teorik olarak simülasyon çalışmalarından yararlanılmıştır. Oluşturulan simülasyonlar ile Sürekli Dalgacık Dönüşümü (SDD) kullanılarak yüzey profili analiz algoritması geliştirilmiştir. Analiz dalgacığı olarak Gabor dalgacığı tercih edilmiştir. Simülasyon çalışmaları ile SDD yönteminin yüzey analizine uygunluğu gösterilmiştir. Teorik çalışmalar için geliştirilen algoritmalar, TRKFM sistemi ile alınan interferogram görüntülerinin analizine uygun hale getirilmiştir. Analizi yapılması istenilen interferogram görüntülerinin SDD yöntemi ile yüzey profilleri belirlenmiştir. Teorik ve deneysel olarak elde edilen sonuçlar karşılaştırılmıştır.
Özet (Çeviri)
Thin films have gained great momentum in scientific studies in recent years. Thin film technology is the defining element of technological studies today. Transistors, LEDs, integrated circuits, and diodes are produced using thin films. Integrated circuits are constructed by combining transistors, diodes, and capacitors on a single thin film. These integrated circuits form the heart of computers, watches, calculators, automobiles, cameras, televisions, mobile phones, and many renewable energy sources. Therefore, surface profile analysis of thin films is very important for the development of device technology. Optical methods are the most preferred method in surface profile analysis because they are economical and useful. In addition to optical methods, there are different methods such as Scanning Electron Microscope (SEM), Atomic Force Microscope (AFM), etc. in surface profile determination methods. Monochromatic Diffraction Phase Microscopy (MDPM) has been preferred as an optical method in this work. In the Monochromatic Diffraction Phase Microscope, interferogram images of the thin film surface are taken and analyzed. In this work, theoretical simulation studies were used in surface profile analysis. With the simulation studies, a surface profile analysis algorithm was developed using the Continuous Wavelet Transform (SDD) method. Gabor wavelet was preferred as the analysis wavelet. The suitability of the SDD method for surface analysis has been demonstrated through simulation studies. The algorithms developed for theoretical studies have been adapted to the analysis of interferogram images taken with the MDPM system. The surface profiles of the interferogram images to be analyzed were determined with SDD. The theoretical and experimental results were compared.
Benzer Tezler
- Yalıtkan filmlerin yansıma spektrumu kullanılarak Gabor dalgacığı ile kırılma indisinin belirlenmesi
Determination of the refractive index of dielectric films from the reflectance spectrum by using Gabor wavelet
ERHAN TİRYAKİ
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇanakkale Onsekiz Mart ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SERHAT ÖZDER
- İris görüntülerini analiz ederek kimlik tanıma
Identification by analysing iris images
ZEINAB SAEEDNIA
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolAtatürk ÜniversitesiBilgisayar Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. TOLGA AYDIN
- Fundus floresein anjiografi görüntüleri üzerinden görüntü işleme teknikleri kullanılarak retinal damar hastalıklarının belirlenmesi
Determination of retinal vascular diseases by using image processing techniques on fundus fluorescein
HALİT ÇETİNER
Doktora
Türkçe
2016
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolSüleyman Demirel ÜniversitesiBilgisayar Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. BAYRAM CETİŞLİ
- Face recognition using Gabor wavelet transform
Gabor dalgacıklarını kullanarak yüz tanıma
BURCU KEPENEKCİ
Yüksek Lisans
İngilizce
2001
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. A. AYDIN ALATAN
DOÇ. DR. GÖZDE BOZDAĞI AKAR
- Yapay sinir ağları kullanılarak cilt hastalıklarının teşhis edilmesi için yardımcı bir sistem gerçekleştirilmesi
Developing a subsystem for dermatological diseases diagnosis using artificial neural networks
MUSA KAPLAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2016
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolFırat ÜniversitesiBilgisayar Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. AHMET ÇINAR