Geri Dön

RF magnetron kopartma ile büyütülen V2O5 ince filmlerin optik ve elektrokromik özelliklerinin incelenmesi

Investigation of optical and electrochromic properties of V2O5 thin films deposited by RF magnetron sputtering

  1. Tez No: 920918
  2. Yazar: DİLEK EKİN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. ÖZLEM DUYAR COŞKUN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2024
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Hacettepe Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Fizik Mühendisliği Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: 95

Özet

Bu yüksek lisans tez çalışmasında RF magnetron kopartma yöntemi ile V2O5 hedef malzemesi kullanılarak V2O5 ince filmler hazırlanmış ve film büyütme parametrelerinin, filmlerin optik ve elektrokromik özellikleri üzerindeki etkileri incelenmiştir. İnce filmlerin özellikleri, sıcaklık, büyütme süresi, gaz kısmi basınçları ve toplam basınç gibi büyütme parametrelerine bağlı olarak değişim göstermektedir. Bu çalışmada toplam basınç içerisindeki oksijen yüzdesinin V2O5 ince filmlerinin özellikleri üzerindeki etkileri incelenmiştir. Büyütülmüş V2O5 ince filmlerin optik geçirgenlik ve optik yansıtmaları ile renkli ve şeffaf hallerinin absorbans ölçümleri alınarak optik geçirgenlikleri incelenmiş ve optik modülasyonları hesaplanmıştır. Filmlerin elektrokromik özellikleri çevrimsel voltametri (CV), Kronoamperometri (CA) ve Kronokulometri (CC) ölçümleri ile incelenmiştir. CV eğrileri kullanılarak V2O5 ince filmlerin renklenme verimlilikleri, CA eğrileri ile anodik ve katodik renklenmelerdeki yükleri, CC eğrileri ile büyütülen V2O5 ince filmlerin iyon depolama etkinlikleri hesaplanmıştır.

Özet (Çeviri)

In this master's thesis study, V2O5 thin films were prepared using V2O5 target material by RF magnetron sputter method and the effects of film growth parameters on the optical and electrochromic properties of the films were investigated. The properties of thin films vary depending on growth parameters such as temperature, growth time, gas partial and total pressure. In this study, the effects of oxygen percentage in total pressure on the properties of V2O5 thin films were investigated. Optical transmittance and optical reflectance of grown V2O5 thin films and absorbance measurements of colored and transparent forms were taken and optical modulations were calculated. Electrochromic properties of the films were investigated by cyclic voltammetry (CV), chronoamperometry (CA) and chronocoulometry (CC) measurements. Coloration efficiencies of V2O5 thin films were calculated using CV curves, charges in anodic and cathodic colorations were calculated using CA curves, and ion storage efficiencies of grown V2O5 thin films were calculated using CC curves.

Benzer Tezler

  1. RF magnetron kopartma tekniği ile büyütülen LiCoO2 ince filmlerin optik, elektrokromik ve yapısal özelliklerinin incelenmesi

    The investigation of optical, electrochromic and structural properties of LiCoO2 thin films grown by RF magnetron sputtering

    BUĞRAHAN ERBAR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ÖZLEM DUYAR COŞKUN

  2. Reaktif RF magnetron kopartma yöntemi kullanılarak hazırlanan WO3 ince filmlerin optik, yapısal ve elektrokromik özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of optical, structural and electrochromic properties of WO3 thin films prepared by reactive RF magnetron sputtering method

    SELEN DEMİREL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2014

    Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe Üniversitesi

    Nanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ÖZLEM DUYAR COŞKUN

  3. Co katkılı ZnO seyreltik manyetik ince filmlerin sentezi ve fiziksel özellikleri

    Synthesis and physical properties of Co doped ZnO diluted magnetic thin films

    MUSA MUTLU CAN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2011

    Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. TEZER FIRAT

  4. RF magnetron kopartma tekniği kullanılarak hazırlanan Nb2O5ince filmlerin optik özelliklerinin incelenmesi

    The investigation of optical properties of Nb2O5 thin films prepared by RF magnetron sputtering

    MELTEM YEŞİLTEPE

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2012

    Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe Üniversitesi

    Nanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ÖZLEM DUYAR COŞKUN

  5. Katı hal elektrokromik aygıt tasarımı, hazırlanması ve karakterizasyonu

    Solid state electrochromic device design, preparation and characterization

    MEHMET ALİ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ÖZLEM DUYAR COŞKUN