İnce filmlerin optik özelliklerinin elipsometrik yöntemle tayini
Determination of optical properties of thin films by ellipsometry method
- Tez No: 96264
- Danışmanlar: Y.DOÇ.DR. HALUK ŞAFAK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Elipsometri, İnce film, Jones hesaplaması, Selenyum m, Ellipsometry, Thin Films, Jones Calculation, Selenium IV
- Yıl: 2000
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Selçuk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 67
Özet
ÖZET Yüksek Lisans Tezi İNCE FİLMLERİN OPTİK ÖZELLİKLERİNİN ELİPSOMETRİK YÖNTEMLE TAYİNİ Gültekin ÇELİK Selçuk Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fizik Anabilim Dalı Danışman: Yrd. Doç. Dr. Haluk ŞAFAK 2000, 67 Sayfa Jüri: Yrd. Doç. Dr. Haluk ŞAFAK Yrd. Doç. Dr. Ö.Famk YÜKSEL Yrd. Doç. Dr. Mehmet TAŞER Bu çalışmada, ince filmlerin optik özelliklerinin belirlenmesinde yaygın şekilde kullanılan spektroskopik elipsometre tekniği incelenmiştir. Mevcut imkanlar çerçevesinde bahsedilen deneysel düzenek tasarlanmış ve kurulmuştur. Bir monokromatör kullanılarak, görünür bölgedeki değişik dalgaboylan ve gelme açılan için ölçümler yapılmış, bulunan deneysel parametreler bilgisayar ortamında değerlendirilerek ince film selenyum yapının kırılma indisi ve sönüm katsayısı belirlenmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT McS. Thesis DETERMINATION of OPTICAL PROPERTIES of THTN FILMS by ELLIPSOMETRY METHOD Gffltekin ÇELİK Selçuk University Graduate School of Natural and Applied Sciences Department of Physics Supervisor: Ass. Prof. Dr. Haluk ŞAFAK 2000, 67 Pages Jury: Ass. Prof. Dr. Haluk ŞAFAK Ass. Prof. Dr. Ö. Faruk YÜKSEL Ass. Prof. Dr. Mehmet TAŞER In this study, a spectroscopic ellipsometry setup used widely in determining the optical properties of thin films was designed and realised. By means of this setup, optical constants of Se thin films deposited onto a glass substrate were determined. The measurements were performed for different wavelengths in visible range and for various incidence angles by using a monochromator. The experimental data obtained were evaluated in a computer and the refractive index and extinction coefficient of Se thin film were calculated.
Benzer Tezler
- Vakumda buharlaştırma yöntemiyle hazırlanan Cu2S ince filmlerin optik özelliklerinin elipsometrik incelenmesi
Ellipsometric study of optical properties of Cu2S thin films prepared by vacuum evaporation technique
FATİH ERSAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2009
EnerjiAdnan Menderes ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. HÜSEYİN DERİN
- Vakumda buharlaştırma yöntemiyle hazırlanan alüminyum ince filmlerin optik özellikleri
Başlık çevirisi yok
HÜSEYİN DERİN
Yüksek Lisans
Türkçe
1991
Fizik ve Fizik MühendisliğiEge ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. KAYHAN KANTARLI
- Reaktif RF saçtırma yöntemi ile TiN ince filmlerin üretilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Producing of TiN thin films by reactive RF sputtering and investigating of some physical properties
MURAT NEBİ
Yüksek Lisans
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SUAT PAT
- Vakumda ısısal buharlaştırma yöntemiyle büyütülen Cu2Se ince filmlerin optik özelliklerinin elipsometrik incelenmesi
Ellipsometric study of optical properties of Cu2Se thin films deposi̇ted by vacuum evaporation technique
SEDAT KORKMAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiAydın Adnan Menderes ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HÜSEYİN DERİN
- Kalın bir taşıyıcı üzerindeki soğurucu ince filmlerin optik özelliklerinin belirlenmesi
Başlık çevirisi yok
AHMET YILMAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
1992
Fizik ve Fizik MühendisliğiCumhuriyet ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NEVZAT KAVCAR