Ion implantation in planar targets with semi-cylindrical grooves
Yarı silindirik girintisi olan düzlemsel hedeflerde iyon ekimi
- Tez No: 119218
- Danışmanlar: PROF. DR. ORDAL DEMOKAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: İyon ekimi, Girintili yüzeyler, Ion Implantation, Grooves. Ill
- Yıl: 2002
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 46
Özet
öz YARI SİLİNDİRİK GİRİNTİSİ OLAN DÜZLEMSEL HEDEFLERDE İYON EKİMİ Filiz, Yasemin Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Ordal Demokan Temmuz 2002, 36 sayfa Bu çalışmada geniş kapsamlı endüstri ürünleri düşünülerek, daha ideal iyon ekimi yapabilmek için, sonsuz uzunluktaki yarı silindir biçiminde girintisi olan düzlemsel hedefler etrafındaki iyon-matris plakaları analitik olarak çalışılmıştır. Girinti içindeki ve dışındaki potansiyel profili türetilmiş ve girinti içindeki hız bileşenleri hesaplanmıştır. Girinti yüzeyi üzerindeki geliş açısı değişimi ve girinti dışındaki sabit potansiyel çizgileri elde edilmiştir. Sonuçların sayısal simulasyonlarla uyumlu olduğu gözlenmiştir. Sonuçta, bu çeşit girintili yüzeyler üzerindeki ekimin homojenliğini geliştirmek için öneriler sunulmuştur.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT ION IMPLANTATION IN PLANAR TARGETS WITH SEMI- CYLINDRICAL GROOVES Filiz, Yasemin M. S., Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Ordal Demokan July 2002, 36 pages In this work, the ion-matrix sheaths near planar targets with infinitely long, semi-cylindrical grooves are studied analytically to optimize ion implantation, concerning a broad range of industrial products. The potential profiles inside and outside the groove are derived and the velocity components inside the groove are estimated. The variation of the angle of incidence on the surface of the groove and the constant potential contours outside the groove are obtained. Results are observed to be in good agreement with the numerical simulations. Finally, suggestions for improving the uniformity of implantation on the surfaces of such grooves are stated.
Benzer Tezler
- Dynamic ion behavior in plasma source ion implantation
Plazma kaynaklı iyon ekiminde dinamik iyon hareketi
BİGE BOZKURT
Yüksek Lisans
İngilizce
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF.DR. SİNAN BİLİKMEN
- Plazmada nitrürlenmiş Ti-6Al-4V alaşımının difüzyon kinetiği ve aşınma davranışının incelenmesi
Investigation of diffusion kinetics and wear behaviour of plasma nitrided Ti-6Al-4V alloy
ŞÜKRÜ TAKTAK
Doktora
Türkçe
2002
Metalurji MühendisliğiSakarya ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HATEM AKBULUT
- Ion implementation in plasmas with diminishing positive column
Pozitif sütunu yok olan plazmalarda iyon ekimi
SEMA AKMAN
Yüksek Lisans
İngilizce
2002
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ORDAL DEMOKAN
- Characterization of ultra high molecular weight polyetylene (UHMWPE) modified by metal-gas hybrid ion implantation technique
Metal-gaz hibrit iyon implantasyon tekniğiyle modifiye edilmiş yüksek atomik kütleli polietilenin karakterizasyonu
ŞADİYE EMEL SOKULLU URKAÇ
Yüksek Lisans
İngilizce
2006
Polimer Bilim ve Teknolojisiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ.DR. FUNDA TIHMINLIOĞLU
PROF. AHMET ÖZTARHAN
- İyon implantasyonu yöntemiyle yüzeyi farklı tip elementlerle modifiye edilmiş 316 L tipi paslanmaz çeliğin yüzey karakteristiklerinin karşılaştırılması
The Comparision of surface characteristics of modified 316 L type stainless steel with various elements by ion implantation
İBRAHİM ETEM SAKLAKOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
1999
Makine MühendisliğiCelal Bayar ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. VURAL CEYHUN
PROF. DR. AHMET ÖZTARHAN