Ion implantation in planar targets with semi-cylindrical grooves
Yarı silindirik girintisi olan düzlemsel hedeflerde iyon ekimi
- Tez No: 119218
- Danışmanlar: PROF. DR. ORDAL DEMOKAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: İyon ekimi, Girintili yüzeyler, İyon ekme, Ion Implantation, Grooves. Ill, Groove surfaces, Ion implantation
- Yıl: 2002
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
öz YARI SİLİNDİRİK GİRİNTİSİ OLAN DÜZLEMSEL HEDEFLERDE İYON EKİMİ Filiz, Yasemin Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Ordal Demokan Temmuz 2002, 36 sayfa Bu çalışmada geniş kapsamlı endüstri ürünleri düşünülerek, daha ideal iyon ekimi yapabilmek için, sonsuz uzunluktaki yarı silindir biçiminde girintisi olan düzlemsel hedefler etrafındaki iyon-matris plakaları analitik olarak çalışılmıştır. Girinti içindeki ve dışındaki potansiyel profili türetilmiş ve girinti içindeki hız bileşenleri hesaplanmıştır. Girinti yüzeyi üzerindeki geliş açısı değişimi ve girinti dışındaki sabit potansiyel çizgileri elde edilmiştir. Sonuçların sayısal simulasyonlarla uyumlu olduğu gözlenmiştir. Sonuçta, bu çeşit girintili yüzeyler üzerindeki ekimin homojenliğini geliştirmek için öneriler sunulmuştur.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT ION IMPLANTATION IN PLANAR TARGETS WITH SEMI- CYLINDRICAL GROOVES Filiz, Yasemin M. S., Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Ordal Demokan July 2002, 36 pages In this work, the ion-matrix sheaths near planar targets with infinitely long, semi-cylindrical grooves are studied analytically to optimize ion implantation, concerning a broad range of industrial products. The potential profiles inside and outside the groove are derived and the velocity components inside the groove are estimated. The variation of the angle of incidence on the surface of the groove and the constant potential contours outside the groove are obtained. Results are observed to be in good agreement with the numerical simulations. Finally, suggestions for improving the uniformity of implantation on the surfaces of such grooves are stated.
Benzer Tezler
- İstanbul-Boğaziçi yeşil alan sistemlerinin belirlenmesi
Başlık çevirisi yok
NURGÜL ERDEM
Doktora
Türkçe
1996
Peyzaj Mimarlığıİstanbul ÜniversitesiPeyzaj Mimarlığı Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AHMET CENGİZ YILDIZCI
- Dynamic ion behavior in plasma source ion implantation
Plazma kaynaklı iyon ekiminde dinamik iyon hareketi
BİGE BOZKURT
Yüksek Lisans
İngilizce
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF.DR. SİNAN BİLİKMEN
- Novel cochlear electrode array development using microfabrication techniques
Mikrofabrikasyon teknikleri kullanılarak yenilikçi koklear elektrot dizini geliştirilmesi
GÜLÇİN ŞEFİYE AŞKIN
Doktora
İngilizce
2024
Makine MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiNanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. BİLSAY SÜMER
- Makula ödemi tedavisinde intravitreal triamsinolon asetonid enjeksiyonu
Intravitreal triamsinolone acetonide injection in the treatment of macula edema
REFİKA HANDE KARAKAHYA
Tıpta Uzmanlık
Türkçe
2007
Göz HastalıklarıSağlık BakanlığıGöz Hastalıkları Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. DEFNE KALAYCI
- 24 Ocak Kararları sonrasında ihracatta vergi teşvik politikası uygulaması ve değerlendirilmesi
Başlık çevirisi yok
ŞÜKRÜ ÇADIRCIBAŞI