An experimental study on single crystal diamond turning of optical quality silicon
Optik kalitede silikonun tek kristal elmas ile tornalanmasının deneysel olarak incelenmesi
- Tez No: 177415
- Danışmanlar: PROF. DR. MUSTAFA İLHAN GÖKLER
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Makine Mühendisliği, Mechanical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2008
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 102
Özet
Silikon kızılötesi görüntüleme sistemlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu sistemlerdeki optik elemanların yüzey kalitesi, cihazların performansı açısından önemli bir kriter olarak değerlendirilir. Tornalanarak elde edilen optik yüzeylerde; kesme parametreleri ve takım geometrisi yüzey pürüzlülüğü açısından belirleyici faktörler arasındadır.Bu çalışmada kesme parametreleri ile ortalama yüzey pürüzlülüğü Ra arasında bir ilişki incelenmiştir. 50 mm çağlı silikon yüzeyler, değişik kesme parametreleri kullanılarak tornalanmıştır. Kullanılan tezgah 2-eksenli CNC bir tornadır. Deneylerde, silikon yüzeyler sabit devirde yada sabit kesme hızında işlenmiştir. Deneyler esnasında kullaılan takımların talaş açıları -15 derece ve -25 derece olarak değiştirilmiştir. İşlenen yüzeyler, 0.1 nm çözünürlüklü bir interferometere ile ölçülerek Ra değerleri elde edilmiştir.Deney tasarımı ?faktoriyel tasarım? esasları kullanılarak yapılmıştır. Yapılan çalışma sonucunda kesme parametrelerinin ve talaş açısının yüzey pürüzlülüğü üzerindeki etkisi incelenmiştir. Lineer bir regresyon modeli elde edilerek belirli koşullar altında Ra değerinin öngörülmesini sağlayan bir formül elde edilmiştir. Bunların yanısıra, silikon malzenin işlenmesinde kristal yöneliminin etkisi gözlenmiştir. Elde edilen en iyi Ra değeri yaklaşık olarak 1 nm olup, kabul edilebilir üst sınır olan 25 nm'nin çok altındadır
Özet (Çeviri)
Silicon is commonly used in infrared (IR) imaging systems. The surface quality is an important issue in optics manufacturing since surface roughness affects optical performance of imaging systems. Surface quality of an optical component is determined by number of factor, including cutting parameters; cutting speed, depth of cut and feed in radial direction.In this thesis, an experimental study has been performed to investigate the relation between cutting parameters and average roughness of the surface of silicon. In the experiments, silicon specimens, which have a diameter of 50 mm, were face turned by using a 2-axis CNC single point diamond turning machine. The specimens were machined by using either constant spindle speed or constant cutting speed. Two different tools with rake angles of -15 degrees and -25 degrees were used. The attained surfaces were measured by using a white light interferometer, which has a resolution of 0.1nm.The experiments were designed according to the ?factorial design? method, considering cutting parameters. The effects of cutting parameters and tool rake angles on surface quality of silicon were observed. The best average surface roughness obtained was about 1 nm which is quite better than the acceptable average surface roughness level of 25 nm.
Benzer Tezler
- B4C esaslı kompozitlerin B4C/Me başlangıç tozlarından hareketle spark plazma sinterleme (SPS) yöntemi ile üretilmesi ve karakterizasyonu
Production and characterization of B4C based composites from B4C/Me starting powders by using spark plasma sintering (SPS) method
MERAL CENGİZ
Doktora
Türkçe
2016
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FİLİZ ŞAHİN
- Tarihi eserlerde kullanılan CaSO4 harç ve sıvalarının incelenmesi
Investigation of historical CaSO4 mortars and plasters
ESRA Z. UZGİL
- Scaling-up eutectic freeze crystallization
Ötektik donma kristalizasyonunda boyut büyütme
FATMA ELİF GENCELİ
Doktora
İngilizce
2008
Kimya MühendisliğiTechnische Universiteit Delft (Delft University of Technology)PROF. DR. GEERT JAN WITKAMP
- Polielektrolitlerin borik asit kristalizasyonuna etkisi
The Effectt of the polyelectrolytes on boric asid crystallization
PERVİZ SAYAN
- Pikrik asit ile 2-aminofenol ve 4-aminofenol arasında oluşan enerjik ko-kristallerin x-ışını kırınımı ve kuantum mekaniksel hesaplama yöntemleri ile incelenmesi
Investigation of energetic co-crystals formed between picric acid with 2-aminophenol and 4-aminophenol by x-ray diffraction and quantum mechanical calculation methods
LEVENT TÜRKER
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. LEYLA YILDIRIM