SnO2 filmlerinin bazı fiziksel özellikleri üzerine taban sıcaklığının etkisi
The effect of substrate temperature on some physical properties of SnO2 films
- Tez No: 198821
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. FERHUNDE ATAY
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: SnO2 filmleri, Ultrasonik kimyasal püskürtme, Elektrik veoptik özellikler, XRD, SEM-EDS, SnO2 films, Ultrasonic spray pyrolysis, electrical and opticalproperties, XRD, SEM-EDS
- Yıl: 2005
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Eskişehir Osmangazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 96
Özet
ÖZETSnO2 ILOPOHUL XOWUDVRQLN NLP\DVDO SÂVNÂUWPH WHNQL÷L LOH YH350 ± 5 ºC WDEDQ VÃFDNOÃNODUÃQGD HOGH HGLOPLúWLU (OGH HGLOHQ ILOPOHULQ ED]ÃHOHNWULNVHOYHRSWLN|]HOOLNOHULNULVWDOVLVWHPOHULYH\Â]H\PRUIRORMLOHULLQFHOHQPLúYH PLNURDQDOL]OHUL \DSÃOPÃúWÃU )LOPOHULQ NDOÃQOÃNODUÃQÃQ - P DUDVÃQGDGH÷LúWL÷L YH DUWDQ WDEDQ VÃFDNOÃ÷ÃQD ED÷Oà RODUDN NDOÃQOÃNODUÃQ D]DOGÃ÷ÃEHOLUOHQPLúWLU ;5' GHVHQOHULQGHQ WÂP ILOPOHULQ SROLNULVWDO \DSÃGD ROGXNODUÃEHOLUOHQPLúWLU )LOPOHULQ WHUFLKOL \|QHOLPOHUL LoLQ \DUà SLN JHQLúOLNOHUL YH WDQHER\XWODUà KHVDSODQPÃú YH WDEDQ VÃFDNOÃ÷ÃQÃQ DUWPDVÃ\OD NULVWDOOHúPH VHYL\HOHULQLQDUWWÃֈ EHOLUOHQPLúWLU 6(0 J|UÂQWÂOHULQGHQ ILOPOHULQ \Â]H\OHULQLQ KRPRMHQGD÷ÃOÃPD VDKLS ROXS ROPDGÃNODUà YH WDEDQ VÃFDNOÃ÷ÃQÃQ DUWPDVÃ\OD KRPRMHQOL÷LQDUWWÃֈ J|]OHQPLúWLU ('6 PLNURDQDOL]OHULQGHQ 6Q YH 2 HOHPHQWOHULQLQ NDWÃLoHULVLQGH YDU ROGX÷X WHVSLW HGLOPLúWir. Tüm filmler için geçirgenlikVSHNWUXPODUÃQGDQID\GDODQDUDN\DQVÃPDYHOLQHHUVR÷XUPDNDWVD\ÃODUÃKHVDSODQPÃúYH EX SDUDPHWUHOHULQ GDOJDER\XQD ED÷Oà RODUDN GH÷LúLPOHUL LQFHOHQPLúWLU)LOPOHULQ \DVDN HQHUML DUDOÃNODUÃQÃQ - H9 DUDVÃQGD GH÷LúWL÷L EHOLUOHQPLúWLU)LOPOHULQ LOHWLP PHNDQL]PDODUÃQà LQFHOHPHN DPDFÃ\OD HOGH HGLOHQ ,-VNDUDNWHULVWLNOHULQGHQ ILOPOHULQ RKPLN |]HOOLN J|VWHUGLNOHUL WHVSLW HGLOPLúWLU)LOPOHULQ NDUDQOÃNWD LOHWNHQOLNOHULQLQ 5.40x10-1-2.24x10-3 (FP-1 DUDVÃQGDGH÷LúWL÷L J|UÂOPÂúWÂU )LOPOHULQ LOHWNHQOLNOHULQLQ VÃFDNOÃ÷D ED÷Oà GH÷LúLPOHULQGHQGÂúÂN YH \ÂNVHN VÃFDNOÃN E|OJHOHUL LoLQ GRQ|U YH GRQ|U JLEL GDYUDQDQ WX]DNODUÃQHQHUMLOHULQLQ VÃUDVÃ\OD -2.10 meV ve 0.049- H9 DUDVÃQGD GH÷LúWL÷LJ|UÂOPÂúWÂU
Özet (Çeviri)
SUMMARYSnO2 films were deposited at 200, 250, 300 ve 350 ± 5 ºC substratetemperature by ultrasonic spray pyrolysis technique. It was seen from the XRDpatterns that all films have polycrystalline structure. For preferential orientationsof the films, half peak widths and grain sizes were calculated. Whether the surfaceof the films are homogenous or not was investigated using SEM photographs andwas found that with the increase of substrate temperature homogenity wasincreased. It was determined from EDS microanalyses of the films that Sn and Oelements were present in solid films. Using transmission spectra, reflection andlinear absorbtion coefficients of the films were calculated. The variations of theseparameters depending on the wavelength were investigated. It was determinedthat forbidden energy gaps varied between 3.1-3.7 eV. The conductivity of thefilms in dark were found between 5.40x10-1-2.24x10-3 (FP-1. I-Vcharacteristics were used in order to determine the conductivity mechanisms ofthe films and it was found that all films have ohmic structure. Using the variationsof electrical conductivities with temperature, the energies of donors and traps likedonor were calculated between 0.28-2.10 meV ve 0.049-0.082 eV for low andhigh temperature regions, respectively.
Benzer Tezler
- SnO2 filmlerinin püskürtme yöntemiyle elde edilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Production of SnO2 films by spray pyrolysis method and investigation of some physical properties
SEÇKİN AKIN
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnadolu ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. EVREN TURAN
YRD. DOÇ. DR. SAVAŞ SÖNMEZOĞLU
- ITO, IZO ve AZO ince filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Investigation of some physical properties of ITO, IZO and AZO thin films
SALİHA ELMAS
Doktora
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ŞADAN KORKMAZ
- Spray pyrolysis yöntemi ile elde edilen farklı antimon katkılı SnO2 ve SnO2:Sb(ATO) ince filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin araştırılması
Invesigation of some properties of different antimony doped SnO2 and SnO2:Sb(ATO) thin films deposited by spray pyrolysis technique
GÜVEN TURGUT
Doktora
Türkçe
2014
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BAHATTİN DÜZGÜN
PROF. DR. MEHMET ERTUĞRUL
- Spray pyrolysıs yöntemi ile farklı altlık sıcaklığında elde edilen SnO2 ve SnO2:F ince filmlerin bazı fiziksel özelliklerine, altlık sıcaklığının etkisinin araştırılması
The investigation of substrate temperature' s effect on some physical properties of SnO2 and SnO2:F thin films deposited at the different substrate temperature by spray pyrolysis technique
DEMET TATAR
Doktora
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BAHATTİN DÜZGÜN
PROF. DR. MEHMET ERTUĞRUL
- Preparation of indium tin oxide thin films and investigation of hydrogen post-treatment effect
İndiyum kalay oksit ince filmlerin hazırlanması ve hidrojen ile indirgeme etkisinin incelenmesi
GÖKÇEN GÖKÇELİ
Yüksek Lisans
İngilizce
2018
Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NİLGÜN YAVUZ