Deep-trench Rie optimization for high performance MEMS microsensors
Yüksek performanslı MEMS duyargaları için derin-kuyu Rie optimizasyonu
- Tez No: 201678
- Danışmanlar: PROF. DR. RAŞİT TURAN, PROF. DR. TAYFUN AKIN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Metalurji Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Derin kuyu asındırma, mikro elektro mekanik sistemler (MEMS), Anizotropik kuru silikon asındırma, Deep Reactive Ion Etching (DRIE), Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Anisotropic Dry Silicon Etching
- Yıl: 2007
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tez yüksek boy-en oranına sahip 3 boyutlu MEMS duyargaları elde etmek için derin kuyu alındırma tekniğinin optimizasyon çalısmalarını sunmaktadır. 2 ayrı uygulama için optimizasyon yapılmıstır. Bunlar, asındırılmıs pul silisyum mikro isleme sürecinde kullanılmak üzere 1 mikrometre genisliğindeki kanalların 20 mikrometre derinliğe indirilmesi ve ileriki çalısmalarda kullanılmak üzere 1 mikrometre genisliğindeki kanallarda 100 mikrometre derinlik elde edilmesidir. Silikon asındırma hızını ve kanal profil açısını etkileyen adım süreleri, asındırma vii adımı basıncı, uygulanan besleme gücü ve silicon pulun sıcaklığı incelenmistir. MEMS dönüölçer ve ivme ölçer üretiminde kullanılabilecek derin kuyu asındırma süreci parametrelerinin optimizasyon çalısmalarında kullanılan silicon pullar ODTÜ ? MET tesislerinde hazırlanmıs ve yine bu tesislerde basarı ile üretilmislerdir. Asındırılmıs pul silicon mikro isleme için hazırlanan desen asındırılacak silicon pullara fotoresist, S1813, kullanılarak tek maske ile aktarılmıstır. Fotoresistin seçiciliği 100 mikron denemesi için yeterli olmayacağından dolayı maske olarak silikondioksit, (SiO2), kullanılmıstır. Bu çalısmada dike yakın yan duvarlar ile 100 mikrondan fazla derinliğe ulasılmıstır. Özetle, bu çalısma entegre MEMS duyargaları için basarılı derin kuyu asındırma süreci uygulamasını genis bir çerçevede anlatmaktadır.
Özet (Çeviri)
This thesis presents the optimization of deep reactive ion etching process (DRIE) to achieve high precision 3-dimensional integrated micro electro mechanical systems (MEMS) sensors with high aspect ratio structures. Two optimization processes have been performed to achieve 20 ?m depth for 1 ?m opening for a dissolved wafer process (DWP) and to achieve 100 ?m depth for 1 ?m opening for silicon-on-glass (SOG) process. A number of parameters affecting the etch rate and profile angle are investigated, including the step times, etch step pressure, platen power, and electrode temperature. v Silicon etch samples are prepared and processed in METU-MET facilities to understand and optimize the DRIE process parameters that can be used for the production of MEMS gyroscopes and accelerometers. The etch samples for DWP are masked using a photoresist, Shipley S1813. After the optimization process, vertical trench profiles are achieved with minimum critical dimension loss for trench depths up to 20 6m. Since the selectivity of the resist is not sufficient for 100 6m-deep trench etch process, silicon dioxide (SiO2) is used as the mask for this process. At the end of the optimization processes, more than 100 ?m depth for 1 ?m opening with almost vertical sidewalls are achieved. In summary, this study provides an extensive understanding of the DRIE process for successful implementations of integrated MEMS sensors.
Benzer Tezler
- Aşıklı Höyük 4 G-H derin sondaj açması kemik buluntuları
Aşıklı Höyük 4 G-H deep sounding trench bone tools
MÜNÜSE KAYA
Yüksek Lisans
Türkçe
2002
Arkeolojiİstanbul ÜniversitesiPrehistorya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NUR BALKAN ATLI
- Açık derin kazılarda zemin deformasyonlarının nümerik analizi
Numerical analysis of soil deformations at open deep excavations
OKTAY SEVENCAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2009
İnşaat MühendisliğiYıldız Teknik Üniversitesiİnşaat Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İ. KUTAY ÖZAYDIN
- Kıbrıs yayı ve çevresinin yapısal ve tektonik özellikleri
Geological and tectonic properties of the Cyprus arc and the surroundings
SEDA OKAY
Yüksek Lisans
Türkçe
2001
Jeofizik MühendisliğiDokuz Eylül ÜniversitesiJeofizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF.DR. MUSTAFA ERGÜN
- Engineering geoarakaya Damects and consolidation grouting of downstream left Bank of The
Başlık çevirisi yok
UBEYD SEZER
Yüksek Lisans
İngilizce
1993
Jeoloji MühendisliğiDokuz Eylül ÜniversitesiJeoloji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NECDET TÜRK
- Salat Tepe buluntuları ışığı altında Doğu ve Güneydoğu Anadolu Erken Demir Çağ kültürel yapısı
The Early Iron Age cultural structure of the Eastern and Southeastern Anatolia in the light of Salat Tepe finds
IŞIK TUBA ÖNEN
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
ArkeolojiHacettepe ÜniversitesiArkeoloji Ana Bilim Dalı
PROF.DR. AYŞE TUBA ÖKSE
PROF.DR. ENGİN ÖZGEN