MEMS tabanlı piezorezistif akış sensörünün tasarımı ve analizi
Design and analysis of a MEMS based piezoresistive flow sensor
- Tez No: 223375
- Danışmanlar: Y.DOÇ.DR. LEVENT TRABZON
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Makine Mühendisliği, Mechanical Engineering
- Anahtar Kelimeler: MEMS, Piezorezistif Akıs Sensörü, Wheatstone Köprüsü, MEMS, Piezoresistive Flow Sensor, Wheatstone Bridge
- Yıl: 2006
- Dil: Türkçe
- Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Malzeme ve İmalat Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 106
Özet
Bu çalısmada, endüstriyel uygulamalar için iki farklı piezorezistif akıs sensörünün tasarımı ve analizi yapılmıstır. Tasarımları yapılan akıs sensörlerinin çalısma prensibi piezorezistif etkiye dayanmaktadır. Her iki sensör de gövde mikro-isleme tekniği ile altı adet maske seti kullanılarak MultiMEMS üretim standartlarına uygun sekilde tasarlanmıstır. Kullanılan piezorezistif elemanlar p-tipi katkılandırılmıs olup değerleri 8 k'dur. Akıs ölçümü, uygulanan akıs ile eğilen kirislerin üzerindeki piezorezistif elemanlarda meydana gelen değismeye bağlı olarak Wheatstone köprü konfigürasyonlarından çıkıs fark gerilimi ölçme prensibine dayanmaktadır. Her iki sensörde de akıs hızı değerlerinin arttırılmasının, çıkıs fark gerilimi değerlerinin de artmasına sebep olduğu gözlemlenmistir. Tezde aynı zamanda bu sensörlerde kullanılacak malzemelerin seçimi ve üretim metodları da detaylı olarak anlatılmıstır.
Özet (Çeviri)
In this study, the design and analysis of two distinct flow sensors for industrial applications are performed. The principle of operation of these sensors is based on the piezoresistive effect. Both sensors are manufactured, in conformance with MultiMEMS manufacturing standards, using bulk micro-machining technology with a set of six masks. The piezoresistive elements are p-type doped with a resistivity of 8 k. Flow measurement is based on the output voltage of Wheatstone bridges, which is caused by the changes in the piezoresistive elements due to the bending of beams submerged in the flow. For both sensors, it is observed that the output voltage increases as the flow rate is increased. The details of the materials selection and the manufacturing methods are also discussed.
Benzer Tezler
- Scalable fast dispersive scanner
Ölçeklenebilir hızlı dispersiv tarayıcı
RASÜL TORUN
Yüksek Lisans
İngilizce
2014
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Şehir ÜniversitesiElektronik ve Bilgisayar Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ÖZDAL BOYRAZ
- Mikrodalga radyo frekans mikro-elektro-mekanik (RF MEMS) anahtar tasarımı ve üretim süreçlerinin geliştirilmesi
Design and process development of microwave RF MEMS switches
KAAN DEMİREL
Doktora
Türkçe
2015
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiNanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ERDEM YAZGAN
- TiNi şekil hafızalı kaplama filmin sentezlenmesi, özelliklerinin araştırılması ve örnek bir mems uygulaması
Investigation of deposited tini shape memory film's properties and it's mems application
HİKMET ÇİÇEK
Doktora
Türkçe
2015
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU
- Güvenilir kablosuz algılayıcı ağlar için çok merkezi düğümlü şartlı çok kopyalı bir yol atama stratejisi
A conditional multi-copy strategy with multiple central nodes for more reliable wireless sensor networks
MERVE EKMEN
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Endüstri ve Endüstri MühendisliğiTOBB Ekonomi ve Teknoloji ÜniversitesiEndüstri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. AYŞEGÜL ALTIN KAYHAN
- Rare cell enrichment from blood by using dielectrophoresis
Dielektroforez yöntemi ile kandan ender hücre zenginleştirilmesi
GÜRHAN ÖZKAYAR
Yüksek Lisans
İngilizce
2015
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiBiyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HALUK KÜLAH
DR. EBRU ÖZGÜR