MEMS tabanlı piezorezistif akış sensörünün tasarımı ve analizi
Design and analysis of a MEMS based piezoresistive flow sensor
- Tez No: 223375
- Danışmanlar: Y.DOÇ.DR. LEVENT TRABZON
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Makine Mühendisliği, Mechanical Engineering
- Anahtar Kelimeler: MEMS, Piezorezistif Akıs Sensörü, Wheatstone Köprüsü, MEMS, Piezoresistive Flow Sensor, Wheatstone Bridge
- Yıl: 2006
- Dil: Türkçe
- Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Malzeme ve İmalat Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 106
Özet
Bu çalısmada, endüstriyel uygulamalar için iki farklı piezorezistif akıs sensörünün tasarımı ve analizi yapılmıstır. Tasarımları yapılan akıs sensörlerinin çalısma prensibi piezorezistif etkiye dayanmaktadır. Her iki sensör de gövde mikro-isleme tekniği ile altı adet maske seti kullanılarak MultiMEMS üretim standartlarına uygun sekilde tasarlanmıstır. Kullanılan piezorezistif elemanlar p-tipi katkılandırılmıs olup değerleri 8 k'dur. Akıs ölçümü, uygulanan akıs ile eğilen kirislerin üzerindeki piezorezistif elemanlarda meydana gelen değismeye bağlı olarak Wheatstone köprü konfigürasyonlarından çıkıs fark gerilimi ölçme prensibine dayanmaktadır. Her iki sensörde de akıs hızı değerlerinin arttırılmasının, çıkıs fark gerilimi değerlerinin de artmasına sebep olduğu gözlemlenmistir. Tezde aynı zamanda bu sensörlerde kullanılacak malzemelerin seçimi ve üretim metodları da detaylı olarak anlatılmıstır.
Özet (Çeviri)
In this study, the design and analysis of two distinct flow sensors for industrial applications are performed. The principle of operation of these sensors is based on the piezoresistive effect. Both sensors are manufactured, in conformance with MultiMEMS manufacturing standards, using bulk micro-machining technology with a set of six masks. The piezoresistive elements are p-type doped with a resistivity of 8 k. Flow measurement is based on the output voltage of Wheatstone bridges, which is caused by the changes in the piezoresistive elements due to the bending of beams submerged in the flow. For both sensors, it is observed that the output voltage increases as the flow rate is increased. The details of the materials selection and the manufacturing methods are also discussed.
Benzer Tezler
- Flow sensing with a piezoresistive silicon nanowire-based mems force sensor
Piezorezistif silikon nanotel tabanlı mems kuvvet sensörü ile akış algılama
LEVENT DEMİRKAZIK
Yüksek Lisans
İngilizce
2024
Makine MühendisliğiKoç ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BURHANETTİN ERDEM ALACA
- Piezorezistif tabanlı MEMS basınç sensörünün tasarımı ve analizi
Design and analysis of piezoresistive based MEMS pressure sensor
ERDEM ÇELİK
Yüksek Lisans
Türkçe
2007
Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ.DR. LEVENT TRABZON
- Parilen C tabanlı esnek basınç sensörlerin üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of parylene C based flexible pressure sensor
SEDAT KURNAZ
Doktora
İngilizce
2023
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiKastamonu ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖZGÜR ÖZTÜRK
- MEMS' lerin biyomedikal alanındaki uygulamalarının incelenmesi
Investigation of biomedical applications of MEMS
İBRAHİM ETHEM SAÇU
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiErciyes ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA ALÇI
- Design, analysis, simulation and optimization of a MEMS Lorentz force magnetic field sensor for biosensing of biowarfare agents
Biyolojik savaş ajanlarının tespit uygulamaları için Lorentz kuvveti temelli manyetik alan sensörünün tasarımı, analizi, simülasyon ve optimizasyonu
EMİNE RUMEYSA YILMAZ
Yüksek Lisans
İngilizce
2018
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. LEVENT TRABZON