Geri Dön

GaAs/AlGaAs tabanlı yarıiletken yapılardan aygıt üretimi ve karakterizasyonu

Device fabrication and characterization of GaAs/AlGaAs based semiconductors

  1. Tez No: 269665
  2. Yazar: BURCU ARPAPAY
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. UĞUR SERİNCAN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2010
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Anadolu Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 91

Özet

Bu çalışmada, GaAs/AlGaAs tabanlı yarıiletken kuantum kuyulu yapılar fotolitografi ve ıslak aşındırma yöntemi kullanılarak aygıt haline getirilmiştir. Aygıt üretimi için yarıiletken yapının üzerine aygıt tanımlamaları yapılmış, ıslak aşındırma yöntemi kullanılarak malzeme aşındırılmış ve metal kaplama işlemi sonrasında yapılar paketlenmiştir. Bu basamaklar içerisinde en önemli ve kritik basamak olan ıslak aşındırma yönteminin uygulanması sırasında en uygun karışımın bulunabilmesi için değişik asit karışımları farklı oranlarda kullanılmıştır. Aşındırılan malzemelerin yüzey ve kesit yapıları SEM (taramalı elektron mikroskobu) yöntemiyle detaylı incelenmiştir. Bu çalışmalar sonucunda yüzey kalitesi ve masatepe yapı tanımlamaları için en uygun karışımın sülfürik asit ve sitrik asit olduğu sonucuna varılmıştır.

Özet (Çeviri)

In this study, GaAs/AlGaAs based semiconductor quantum well structures were fabricated by using photolithography and wet etching. To fabricate devices, device definitions were patterned on the wafers, etched by using wet etching, and packaged after metallization. Various acid solutions with different ratios were used to find the most suitable solution in wet etching which is the most important and the critical step of all. The surface and cross section profiles of the etched structures were investigated in details by SEM (scanning electron microscopy) technique. It has been concluded at the end of these studies that, the best surface quality and mesa definitions have been established when the sulfuric acid and citric acid solutions were used.

Benzer Tezler

  1. Üçüncü atmosferik pencerede (8-12 mikron) emisyon yapan LED

    LED emitting in the third atmospheric window (8-12 micron)

    SÜLEYMAN UMUT EKER

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2004

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiCumhuriyet Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. MUSTAFA HOŞTUT

  2. Sıcak elektron tabanlı optik sensörler

    Hot electron based optical sensors

    FEYZA SÖNMEZ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ENGİN TIRAŞ

  3. Yarıiletken heteroyapılarda sıcaklığın ve basıncın yüklü parçacıklara etkisinin bilgisayar analizi

    Computer analysis of temperature and pressure effects on the charged particles in semiconductor heterostructures

    DERYA ÖZÜBERK

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2000

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    DOÇ.DR. HİLMİ ÜNLÜ

  4. Dual and single color mid-wavelength infrared quantum well photodetectors

    Çift ve tek renkli orta dalgaboyu kızılötesi kuantum kuyulu fotodedektörler

    MELİH KALDIRIM

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2008

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. CENGİZ BEŞİKÇİ

  5. GaAs/AlGaAs tabanlı kuantum kuyularının optiksel ve elektriksel karakterizasyonu

    Optical and electrical characterization of GaAs/AlGaAs quantum wells

    HÜLYA KURU

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2010

    Fizik ve Fizik MühendisliğiAnadolu Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. UĞUR SERİNCAN