Vakum ortamında plazma kaplama ve plazma parametrelerinin incelenmesi
Plasma coating under vacuum and investigation of plasma parameters
- Tez No: 318123
- Danışmanlar: DOÇ. DR. LÜTFİ ÖKSÜZ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2012
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Süleyman Demirel Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 76
Özet
Son yıllarda yüzey modifikasyonu işlemlerinde plazma teknolojisi önemli bir alternatif haline gelmektedir. Sürtünmenin söz konusu olduğu metalik malzemelerde ortaya çıkan aşınma problemi ile meydana gelen ekonomik kayıpların en aza indirgenmesi doğrultusunda malzemelere çeşitli yüzey işlemleri uygulanmaktadır. Bu işlemlerden biri de düşük basınç plazma yöntemidir.Bu çalışmada ısıl işlem görmüş AISI 1050 paslanmaz çelik üzerine radyo frekans (13,56 MHz) kapasitif vakum plazma sisteminde farklı plazma parametrelerinde (farklı işlem süresi, güç, basınç) yüzey modifikasyon işlemi yapıldı. İlk olarak Vakum ortamında 13,56 MHz frekansta Argon plazması ile farklı deşarj gücünde (100 W, 180 W), farklı sürelerde (7,5 dk, 15 dk) ve farklı basınçlarda (50 mtorr, 100 mtorr) çelik yüzeyler üzerine Politetrafluoroetilen (PTFE) uygulanarak kaplama işlemi gerçekleştirildi. Hegzafloropropen (C3F6) monomeri ile yapılan diğer işlemde 50-100 W deşarj gücü, 15-30 dk işlem süresi ve 100-300 mtorr basınç parametreleri kullanılmıştır. İşlem sonrası çelik numune yüzey morfolojisindeki değişimler taramalı elektron mikroskopu (SEM), Enerji Dağılımlı X-Işınları Mikroanaliz Spektrometresi (EDS), atomik güç mikroskopu (AFM) kullanılarak analiz edildi. Numuneler aşınma testinden geçirildi. Aşındırma analizi sonuçlarına göre PTFE kaplanan yüzeylerin C3F6 kaplanan yüzeylerden dayanıklı olduğu belirlendi. Plazma işlemi sonucu kaplama malzemesi yapısındaki değişiklikler İnfrared spektrumu (IR) ile plazma karakteristiği ise akım-voltaj (I-V) ölçümleriyle belirlendi.
Özet (Çeviri)
In recent years, plasma technology becomes an important alternative on surface modifications. Surface modifications can provide enhanced wear resistance of metallic materials used under frictional conditions, and also prevent economic loses because of the abrasion. Low pressure plasma treatment is one of the surface modification processes on this area.In this study, the surface of heat-treated stainless steel (AISI 1050) was modified using vacuum capacitively coupled RF (13,56 MHz) plasma under different parameters (different treatment time, RF power, pressure in the chamber) by two methods: First, Polytetrafluoroethylene (PTFE) prepolymer was sprayed on surfaces of different stainless steels and cross-linked by 13,56 MHz RF Ar-plasma under various discharge powers (100W, 180W) and various pressures (50 mtorr, 100 mtorr); Another process was using direct deposition of Teflon-like layers from Hexafluoropropene (C3F6) plasma under 50-100W discharge power and 100-300 mtorr pressure for 15-30min. Differences on surface morphologies of stainless steel specimens were analyzed by Scanning Electron Microscopy (SEM), energy dispersive x-ray microanalyze spectroscopy (EDS) and Atomic Force Microscopy (AFM). The experimental friction wear results show that the PTFE cross-linked coated surfaces exhibited significantly more wear resistance than C3F6 on stainless steel samples. Chemical structures of deposited layers have been investigated by Infrared Spectroscopy (IR). Plasma characteristics were determined by Current-Voltage measurements.
Benzer Tezler
- İyon nitrürlenmiş AISI 4140 çeliğinin yorulma ve korozyonlu yorulma davranışı
Fatigue and corrozion fatigue behaviour of ion nitrided AISI 4140 steel
KENAN GENEL
- Molibden katkılı elmas-benzeri karbon filmlerin üretimi, karakterizasyonu ve tribolojik özellikleri
Production, characterization and tribological properties of molybdenum doped diamond-like carbon films
EMRE ALP
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. M. KÜRŞAT KAZMANLI
- Bakırın katodik ark alüminyum plazma işlemi ile Al-Cu bileşiklerinin üretimi
Production of Al-Cu compounds with cathodic arc aluminium plasma treatment of copper
ERDEM ARPAT
Doktora
Türkçe
2011
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA ÜRGEN
- Concentration and detection of bacteria with combined AC electrokinetic and impedance analysis in microfludic systems
Mikroakışkanlarda AC elektrokinetik tekniklerle empedans tabanlı bakteri algılaması
KADRİYE ÖLMEZ
Yüksek Lisans
İngilizce
2018
Bilim ve Teknolojiİstanbul Teknik ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HÜSEYİN KIZIL
- İyon seçici sol-jel film sentezi ve optik sensör olarak kullanmı
Ion selective sol-gel film synthesis and usage as optical sensor
MERVE UMUTLU