Yalıtkan üstü silikon tek kipli optik dalgakılavuzunun üretimi ve karakterizasyonu
Fabrıcatıon and characterızatıon of sıngle mode sılıcon on ınsulator optıcal waveguıde
- Tez No: 343730
- Danışmanlar: PROF. DR. ELİF ORHAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2013
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 48
Özet
Bu tez çalışmasında, yalıtkan üstü silikon (YÜS) tek kipli optik dalgakılavuzlarının tasarımı, üretimi ve karakterizasyonu gerçekleştirildi. Analitik ve nümerik yöntemler kullanarak YÜS dalgakılavuzu tasarlandı. Üretilecek dalgakılavuzu için uygun geometriler belirlendi ve tek kip elde edildi. Tasarım sonuçları göz önünde bulundurularak geleneksel optik litografik yöntemlerle tek kipli YÜS dalgakılavuzları üretildi. YÜS dalgakılavuzlarının optik giriş ve ilerleme kayıpları ticari cut-back metodu kullanılarak ölçüldü. YÜS dalgakılavuzunun optik giriş kaybı, TE ve TM polarizasyonlar için 4,9 dB olarak tespit edildi. Tek kipli YÜS dalgakılavuzunun optik ilerleme kayıpları, TE ve TM polarizasyonlar için sırasıyla 2,5 dB/mm ve 2,8 dB/mm olarak ölçüldü.
Özet (Çeviri)
The design, fabrication and characterization of silicon on insulator (SOI) single mode optical waveguide is presented in this thesis. SOI waveguide were designed by using analytical and numerical methods. The convenient geometry was determined for SOI waveguide to be fabricated. Single mode for SOI waveguide was obtained. Based on the result of design, single mode SOI waveguide were fabricated by using conventional optical lithographic methods. The insertion and propagation losses of waveguide were measured by using conventional cut-back method. The insertion loss of SOI waveguide is 4.9 dB for TE and TM modes. The propagation losses of single mode SOI waveguide are 2.5 dB/mm and 2.8 dB/mm for TE and TM modes respectively.
Benzer Tezler
- Meandering loop mirrors and resonators in silicon photonic integrated circuits: Design, fabrication, and analysis
Silisyum fotonik tümleşik devrelerde kıvrımlı halka yansıtıcıları ve çınlaçları: Tasarım, üretim, ve inceleme
MUHAMMAD ZAKWAN
Doktora
İngilizce
2017
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiKoç ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUHAMMET İRŞADİ AKSUN
PROF. DR. ALİ SERPENGÜZEL
- Dalga kılavuzu entegreli grafen – SOI tabanlı fotodiyot üretimi ve karakterizasyonu
The fabrication and characterization of waveguide integrated graphene - SOI based photodiode
ELANUR SEVEN
Doktora
Türkçe
2021
Mühendislik BilimleriAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MEHMET ERTUĞRUL
PROF. DR. ELİF ORHAN
- Fabrication and characterization of a planar water gated transistor utilizing ultra thin single crystalline silicon film
Çok ince tek kristalli silisyum film kullanan yatay sıvı kapılı transistörün üretimi ve belirlenmesi
OZAN ERTOP
Yüksek Lisans
İngilizce
2014
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiBoğaziçi ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ŞENOL MUTLU
- Monolithic and hybrid silicon-on-insulator integrated optical devices
Yekpare ve melez yalıtkan üstü silisyum tümleşik optik aygıtlar
İSA KİYAT
Doktora
İngilizce
2005
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. ATİLLA AYDINLI
- Fabrication of junctionless silicon nanowire transistors via mix and match patterning based on field emission scanning probe lithography
Alan-salımlı tarama probu litografisine dayalı karıştır ve eşleştir modelleme ile bağlantısız silisyum nanotel transistörlerin üretimi
MERT ÖZDEN
Yüksek Lisans
İngilizce
2022
Makine MühendisliğiKoç ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BURHANETTİN ERDEM ALACA