Epitaksiyel tek kristal ince filmlerin XRD yöntemi ile incelenmesi
Investigation of epitaxial single crystal thin films by XRD
- Tez No: 354414
- Danışmanlar: PROF. DR. SEZAİ ELAGÖZ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2010
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Cumhuriyet Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 110
Özet
Bu çalışma kapsamında epitaksiyel tek kristal ince filmlerin yapı analizlerinin x-ışını kırınım yöntemi (XRD) kullanılarak incelenmesi konu edilmektedir. X-ışını kırınımına ait teorik hesaplama teknikleri özetlenerek kinematik ve dinamik x-ışını kırınımına ait denklemler çıkarılmış ve simülasyon programlarının çalışma prensipleri açıklanmıştır Ayrıca bu çalışmada sistem ile yapılabilecek taramalar detaylıca anlatılarak açıklanmış ve yapılan taramalar ile hangi fiziksel niceliklerin ölçülebileceği anlatılmıştır. Çalışmanın son kısmında ise bazı örnekler kullanılarak yapılan taramalardan elde edilen grafikler çizilmiş ve fit edilerek yorumlanmıştır. Böylece elde edilen sonuç ile büyütülmesi hedeflenen yapı ile büyütülen yapı arasındaki fark ortaya konarak ince filmin yapısal karakterizasyonu tamamlanmıştır.Bu çalışma sırasında Sivas Cumhuriyet Üniversitesi Nanoteknoloji laboratuarında bulunan SMARTLAB sistemi kullanılmıştır.
Özet (Çeviri)
In this study, the XRD (X-ray Diffraction) studies of epitaxial single crystal thin films have been investigated. We have summarized the theoretical calculations known as Kinematical and dynamical x-ray scattering calculations. Furthermore, what type of XRD scans can be performed and what physical quantities could be drawn from these scans are given in detail. Last part of the study contains actual xrd data from some samples and theoretical calculation fits have been found and their results are discussed.This work has been done by using The SMARTLAB system in Sivas Cumhuriyet University Nanotechnology laboratory.
Benzer Tezler
- Co/Cr epitaksiyel tek kristal ince filmlerin XRD yöntemi ile incelenmesi
An investigation of Co/Cr epitaxial single crystal thin films with XRD method
MERYEM YALLI
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Fizik ve Fizik MühendisliğiCumhuriyet ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SEZAİ ALAGÖZ
- Safir alttaşı üzerine büyütülen GaN epitaksiyel tek kristal ince filmlerin xrd yöntemi ile incelenmesi
An investigation of GaN epitaxial single crystal thin films grown on sapphire substrate by xrd method
İLKAY DEMİR
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Fizik ve Fizik MühendisliğiCumhuriyet ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SEZAİ ELAGÖZ
- Sulu çözeltilerde Fe+2 ve Fe+3 iyonlarının elektrokimyasal davranışlarının incelenmesi
Investigation of electrochemical behaviors of Fe +2 and Fe +3 ions in aqueous solutions
YEŞİM HANEDAR
- Monoklinik galyum oksit tabakalarının 4H-silisyum karbür üzerine epitaksiyel elde edilmesi
Epitaxial production of monoclinic gallium oxide layers on 4H-silicon carbide
HAMDİN ÖZDEN
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ FATİH AKYOL
- Safir alttaş üzerine Si katkılı aın ince filmlerin epitaksiyel büyütülmesi ve yapısal karakterizasyonu
Epitaxial growth and structural characterization of Si dopedain thin films on sapphire substrate
İREM ŞİMŞEK
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSivas Cumhuriyet ÜniversitesiNanoteknoloji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. İLKAY DEMİR