InGaAs/GaAs süperörgü yapılarının moleküler demet epitaksi (MBE) tekniğiyle büyütülmesi ve karakterizasyonu
Growth and characterization of InGaAs / GaAs super lattice structures grown via molecular beam epitaxy (MBE)
- Tez No: 360634
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. TUNCAY KARAASLAN, PROF. DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: MBE, HR-XRD, Elipsometri, Fotolüminesans, InGaAs, GaAs, Gazi FOTONİK, MBE, HR-XRD, Elipsometry, Photoluminescence, InGaAs, GaAs, Gazi FOTONİK
- Yıl: 2013
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Erciyes Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Bölümü
- Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 77
Özet
Yarıiletken malzemeler 1940'lardan beri araştırılmakta ve bu araştırmalar sonucunda geliştirilen elektronik araçlar günlük hayatımızda, askeri ve uzay teknolojisinde kullanılmaktadır. Elektronik ürünlerinde kullanılan transistörler, doğrultucu diyotlar gibi güneş pilleri de, yarıiletken malzemelerden yapılırlar. Doğada saf olarak bulunmayan yarıiletken ince filmler yapay tekniklerle üretilebilmektedir. Bu tekniklerin günümüzde yaygın olarak kullanılanları; Buhar Faz Epitaksi (VPE), Kimyasal Buhar Birikimi (CVD) ve Moleküler Demet Epitaksi (MBE) şeklinde sıralanabilir. Tez çalışmamızda Gazi Üniversitesi Fotonik Uygulama ve Araştırma Merkezi (Gazi FOTONİK) bünyesinde bulunan Türkiye'nin en gelişmiş ve en donanımlı sistemi olan Moleküler Demet Epitaksi-VG80H kullanılmıştır. Bu yöntemi diğer büyütme yöntemlerinden üstün kılan özellikler katkı konsantrasyonunun belirlenmesi, büyütme sırasında yüzeyin kontrol edilmesi, çevreye zararlı maddelerin yayılmaması ve kalınlık hassasiyetinin ayarlanmasının oldukça ileri düzeyde oluşturulabilmesidir. Tez çalışmamızda elektronik ve optoelektronik cihazların yapımında kullanılabilecek olan III-V yarıiletkeninden GaAs ve üçlü yarıiletkenden InGaAs çoklu kuantum yapısı MBE tekniği kullanılarak büyütüldü. Büyütülen bu malzemenin X ışını kırınımı (HR-XRD), elipsometre, fotolüminesans (PL) teknikleri kullanılarak yapısal ve optiksel özellikleri incelendi.
Özet (Çeviri)
Semiconductor materials developed since the 1940s as a result of this research study, and electronic gadgets in our daily lives, are used in military and space technology. Transistors used in electronic products, such as rectifier diodes in solar cells, made from semiconductor materials. Not found in nature as a pure semiconductor thin films can be produced artificially techniques. These techniques are widely used today; Vapor Phase Epitaxy (VPE), Chemical Vapour Deposition (CVD) and Molecular Beam Epitaxy (MBE) are listed in the form. The thesis study, Gazi University Photonics Research Center (Gazi FOTONİK) equipped with an on-site system is the most developed and the most used in the Molecular Beam Epitaxy-VG80H. Contribute to the characteristics that make this method superior to other methods of determining the concentration of enlargement, enlargement of the surface during the control and the spread of harmful substances in the environment and adjusting the sensitivity of thickness to form a fairly advanced level. In our thesis, which can be used in making electronic and optoelectronic devices, semiconductors GaAs and InGaAs multiple quantum structure grown using the MBE technique. Magnified this material, X-ray diffraction (HR-XRD), elipsometer, photoluminescence (PL) techniques were evaluated for the structural and optical properties.
Benzer Tezler
- InxGa1-xAs(GaAs (x=0,15) süperörgüsünün MBE ile büyütülmesi ve elektriksel-yapısal özelliklerinin belirlenmesi
Determination of electrical and structural properties of InxGa1-xAs(GaAs (x=0,15) superlattice grown by MBE
BEYZA SARIKAVAK
Yüksek Lisans
Türkçe
2005
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK
- Yüksek verimli ince film güneş hücresi uygulamaları için GaAs epikatmanların si alttaş üzerine büyütülmesi
Growth of GaAs epilayers on si substrate for high efficiency thin film solar cell application
MUHAMMED AKTAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
EnerjiEskişehir Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MUSTAFA KULAKCI
- Electrıcal characterısatıon of InGaAs/GaAs quantum well and graphene semıconductor structures
InGaAs/GaAs kuantum kuyusu ve grafen yarıiletken yapıların elektriksel karakterizasyonu
ADAL. AB. MA. RAJHI ADAL. AB. MA. RAJHI
Doktora
İngilizce
2021
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AYŞE EROL
- Electrical characterization of GaInP/InGaAs/GaAs modulation doped field effect transistor structures
GaInP/InGaAs/GaAs modüle katkılı alan etkili transistör yapılarının elektriksel karakterizasyonu
YAVUZ CİVAN
Yüksek Lisans
İngilizce
1998
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. CENGİZ BEŞİKÇİ
- InGaAs/InP ve InGaAs/GaAs kuantum kuyulu güneş hücrelerinin üretimi ve karakterizasyonu
The fabrication and characterization of InGaAs/InP ve InGaAs/GaAsquantum well solar cells
KÜRŞAT KIZILKAYA
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Bilim ve TeknolojiGazi ÜniversitesiKatıhal Fiziği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK