TaN ince filmlerde kalıntı gerilme ve tercihli yönelim analizi
Residual stress and texture analysis on TaN thin films
- Tez No: 502632
- Danışmanlar: DOÇ. DR. ÖMER ÇELİK
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2018
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Dicle Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmada radyo frekansı (RF) reaktif magnetron saçtırma tekniğiyle farklı film üretim parametrelerinde biriktirilen tantalum nitrür (TaN) ince filmlerde biriken kalıntı gerilmelerin film üretim koşullarına göre değişimi, içerdikleri kalıntı gerilme türleri ve üretilen ince filmlerin sahip oldukları kristaloğrafik yönelimlerinin dağılımını veren tercihli yönelim (texture) özellikleri hakkında bilgi edinmek amacıyla, X-ışınları kırınımı (XRD) θ-2θ taraması, X-ışınları kalıntı gerilme analizi (XRSA), X-Işınları pole figure ölçümü, Grazing Incidince X-ray Scattering (GIWAXS) teknikleri kullanıldı. X-Işınları kalıntı gerilme analizi sonucunda üretilen ince filmlerin üretim koşullarına bağlı olarak 9 GPa ile 0.2 GPa değerleri arasında değişen büyüklükte kompresif gerilme içerdikleri tespit edildi. Üretilen ince filmlerin bir kısmının düzlemsel olmayan tercihli yönelim durumlarına sahip oldukları gözlendi.
Özet (Çeviri)
In this study, in order to investigate film deposition parameters effect on residual stress and texture properties of radio frequency (RF) reactive magnetron sputtered tantalum nitride (TaN) thin films X-ray diffraction (XRD) θ-2θ scan, residual stress analysis (XRSA), pole figure, grazing incidince wide angle scattering (GIWAXS) techniques were employed. XRSA results revealed that deposited thin films have compressive stresses ranging from 9 GPa to 0.2 GPa depending on deposition conditions. It was observed that some of the films have out-of-plane (non-planar) preferred orientations.
Benzer Tezler
- Kuyruk modelleri ve analizi üzerine bir uygulama
Başlık çevirisi yok
DİDEM ÖZPULAT
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
İstatistikEge ÜniversitesiBilgisayar Bilimleri ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. FİKRET İKİZ
- Makro besin elementlerinin (NPK) İzmir'de Mayıs ayında açığa dikilen 4-6 cm çevre büyüklüğündeki Gladiolus cinsine ait“hunting song”ve“Novalüx”kültür çeşitlerinin yumrularının gelişmeleri üzerine etkileri
Başlık çevirisi yok
TAHA ALİ AMEN
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
ZiraatEge ÜniversitesiPeyzaj Mimarlığı Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ADNAN HATİPOĞLU
- Dokuma kumaşlarda örgü tipinin ham kumaşın boyutları ve geometrik özellikleri üzerindeki etkilerinin araştırılması
Başlık çevirisi yok
EMEL ÖNDER
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Tekstil ve Tekstil MühendisliğiEge ÜniversitesiTekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GÜNGÖR BAŞER
- İki katlı pamuk ipliklerinden dokunan kumaşlarda örgüye bağlı olarak maksimum atkı sıklığının değişimi üzerinde bir araştırma
Başlık çevirisi yok
MELTEM ASLI NARTER
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Tekstil ve Tekstil MühendisliğiEge ÜniversitesiTekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GÜNGÖR BAŞER
- Ege bölgesi keçi liflerinin bazı önemli fiziksel, kimyasal özellikleri ve değerlendirme imkanları
Başlık çevirisi yok
NİLÜFER ERDEM
Doktora
Türkçe
1985
Tekstil ve Tekstil MühendisliğiEge ÜniversitesiTekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. GÜLSEREN YAZICIOĞLU