TaN ince filmlerde kalıntı gerilme ve tercihli yönelim analizi
Residual stress and texture analysis on TaN thin films
- Tez No: 502632
- Danışmanlar: DOÇ. DR. ÖMER ÇELİK
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2018
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Dicle Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 105
Özet
Bu çalışmada radyo frekansı (RF) reaktif magnetron saçtırma tekniğiyle farklı film üretim parametrelerinde biriktirilen tantalum nitrür (TaN) ince filmlerde biriken kalıntı gerilmelerin film üretim koşullarına göre değişimi, içerdikleri kalıntı gerilme türleri ve üretilen ince filmlerin sahip oldukları kristaloğrafik yönelimlerinin dağılımını veren tercihli yönelim (texture) özellikleri hakkında bilgi edinmek amacıyla, X-ışınları kırınımı (XRD) θ-2θ taraması, X-ışınları kalıntı gerilme analizi (XRSA), X-Işınları pole figure ölçümü, Grazing Incidince X-ray Scattering (GIWAXS) teknikleri kullanıldı. X-Işınları kalıntı gerilme analizi sonucunda üretilen ince filmlerin üretim koşullarına bağlı olarak 9 GPa ile 0.2 GPa değerleri arasında değişen büyüklükte kompresif gerilme içerdikleri tespit edildi. Üretilen ince filmlerin bir kısmının düzlemsel olmayan tercihli yönelim durumlarına sahip oldukları gözlendi.
Özet (Çeviri)
In this study, in order to investigate film deposition parameters effect on residual stress and texture properties of radio frequency (RF) reactive magnetron sputtered tantalum nitride (TaN) thin films X-ray diffraction (XRD) θ-2θ scan, residual stress analysis (XRSA), pole figure, grazing incidince wide angle scattering (GIWAXS) techniques were employed. XRSA results revealed that deposited thin films have compressive stresses ranging from 9 GPa to 0.2 GPa depending on deposition conditions. It was observed that some of the films have out-of-plane (non-planar) preferred orientations.
Benzer Tezler
- Poli(tiyonin) ince filmlerinin elektrokimyasal sentezi ve film oluşumuna etki eden faktörlerin incelenmesi
Electrochemical synthesis of poly(thionine) thin films and investigation of effects on the formation of poly(thionine) thin films
EZGİ TOPÇU
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
KimyaAtatürk ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. MURAT ALANYALIOĞLU
- Fosfor katkılanmış hidrojenlenmiş amorf silisyum karbür ince filmlerin elektriksel özelliklerinin karakterizasyonu
The characterization of electrical properties of phosphorus doped hydrogenated amorphous silicon carbide thin films
BURAK ALÇINKAYA
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇanakkale Onsekiz Mart ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. KIVANÇ SEL
- Fe katkılı CuO/ZnO kompozit ince filmlerin yapısal ve optik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of structural and optical properties of metal doped CuO/ZnO composite thin films
SERRA SOĞAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Fizik ve Fizik MühendisliğiHatay Mustafa Kemal ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ERSİN YÜCEL
- Molibden oksit ince filmlerin saçtırma metodu ile büyütülmesi ve karakteristiklerinin incelenmesi
Growth and characterization of MoO3 thin films with RF sputtering
AYLAR FEIZOLLAHI VAHID
Yüksek Lisans
Türkçe
2016
Mühendislik BilimleriAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. EMRE GÜR
- Bi (Pb) Sr Ca CuO süperiletken ince filmlerinin üretimi, bazı yapısal ve elektriksel özelliklerinin incelenmesi
The production of Bi(Pb)srcacuo superconducting thin films and the investigation of their structural and electrical properties
AHMET VARİLCİ
Doktora
Türkçe
1997
Fizik ve Fizik MühendisliğiKaradeniz Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA ALTUNBAŞ