Geri Dön

Analyset of silicon based thin films by fourier transfer infrared spectroscopy

Silikon tabanlı yarı iletken filmlerin kızılötesi spectrometre ile analizi

  1. Tez No: 82520
  2. Yazar: ÖZCAN BAZKIR
  3. Danışmanlar: PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: FTIR, local vibration, amorphous film, anharmonic effect mTemmuz 1999, 125 sayfa. Çeşitli silisyum tabanlı hi droj enlenmiş amorf yarı iletken (n, p ve katkılanmış a-Si:H) ve diyelektrik(a-SiNx) filmler, tek bir plasma düzeneğinde büyütülmüştür. Bu amorf ince filmleri
  7. Yıl: 1999
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 125

Özet

Özet yok.

Özet (Çeviri)

ABSTRACT ANALYSES OF SILICON BASED THIN FILMS BY FOURIER TRANSFORM INFRARED SPECTROSCOPY Bazkir, Ozcan M.S., Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu July 1999, 125 pages. Various silicon based hydrogenated amorphous semiconducting(n,p and intrin sic a-Si:H) and dielectric(a-SiNx:H) films have been deposited by using a single plasma system. In order to be able to efficiently analyze these amorphous thin solid films by Fourier Transform Infrared(FTIR) spectroscopy, the theory and techniques of the FTIR spectroscopy together with local vibration modes in solid materials, their temperature effect have been discussed. Furthermore heating cooling unit with its temperature control facility has been adapted for the FTIR spectrometer at hand; some signal processing softwares have been developed for the better FTIR analysis.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    172294

    Optical characterization of silicon based hydrogenated amorphous thin films by UV-Visible and infrared measurements

    Silikon tabanlı hidrojenlenmiş amorf ince filmlerin mor ötesi-görünür ve kızılötesi ölçümler ile optik karakterizasyonu

    İLKER KILIÇ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2006

    Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Fizik Bölümü

    PROF.DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU

  2. Tez No

    118985

    Production of light emitting pin diodes based on the plasma deposited amorphous silicon carbide films

    Plazma ile büyütülmüş amorf silisyum karbür film tabanlı ışık yayınlayan pin diyotların üretilmesi

    KIVANÇ SEL

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2002

    Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. İSMAİL ATILGAN

  3. Tez No

    346576

    Kimyasal buhar biriktirme metodu ile hazırlanan silisyum tabanlı ince filmlerin kalınlıklarının optik yolla belirlenmesi

    Optical determination of thickness of silicon-based thin films prepared by chemical vapor deposition method

    EMRAH ERKMEN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2013

    Metalurji MühendisliğiKarabük Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. İSMAİL ATILGAN

  4. Tez No

    75931

    Determination of optical constants of silicon based amorphous films by UV- visible transmittance and reflectance measurement

    Mor ötesi görünür bölge optik geçirme/yansıma ölçümleri ile silisyum tabanlı amorf filmlerin optik sabitlerinin belirlenmesi

    BARIŞ AKAOĞLU

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    1998

    Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU

  5. Tez No

    889576

    Polikristal Si ince filmlerin hazırlanması ve özelliklerinin incelenmesi

    Preparation of polycrystalline silicon thin films and investigation of their properties

    HATİCE OKUSAL ERTAŞ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Fizik ve Fizik MühendisliğiErciyes Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MEHMET ARI

Geri Dön