Analyset of silicon based thin films by fourier transfer infrared spectroscopy
Silikon tabanlı yarı iletken filmlerin kızılötesi spectrometre ile analizi
- Tez No: 82520
- Danışmanlar: PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Film, Kızılötesi spektrometre, Yarı iletken filmler, FTIR, local vibration, amorphous film, anharmonic effect mTemmuz 1999, 125 sayfa. Çeşitli silisyum tabanlı hi droj enlenmiş amorf yarı iletken (n, p ve katkılanmış a-Si:H) ve diyelektrik(a-SiNx) filmler, tek bir plasma düzeneğinde büyütülmüştür. Bu amorf ince filmleri, Film, Infrared spectrometry, Semiconductor films
- Yıl: 1999
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Özet yok.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT ANALYSES OF SILICON BASED THIN FILMS BY FOURIER TRANSFORM INFRARED SPECTROSCOPY Bazkir, Ozcan M.S., Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu July 1999, 125 pages. Various silicon based hydrogenated amorphous semiconducting(n,p and intrin sic a-Si:H) and dielectric(a-SiNx:H) films have been deposited by using a single plasma system. In order to be able to efficiently analyze these amorphous thin solid films by Fourier Transform Infrared(FTIR) spectroscopy, the theory and techniques of the FTIR spectroscopy together with local vibration modes in solid materials, their temperature effect have been discussed. Furthermore heating cooling unit with its temperature control facility has been adapted for the FTIR spectrometer at hand; some signal processing softwares have been developed for the better FTIR analysis.
Benzer Tezler
- Optical characterization of silicon based hydrogenated amorphous thin films by UV-Visible and infrared measurements
Silikon tabanlı hidrojenlenmiş amorf ince filmlerin mor ötesi-görünür ve kızılötesi ölçümler ile optik karakterizasyonu
İLKER KILIÇ
Yüksek Lisans
İngilizce
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF.DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Production of light emitting pin diodes based on the plasma deposited amorphous silicon carbide films
Plazma ile büyütülmüş amorf silisyum karbür film tabanlı ışık yayınlayan pin diyotların üretilmesi
KIVANÇ SEL
Yüksek Lisans
İngilizce
2002
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. İSMAİL ATILGAN
- Production of diamond-like carbon films and modelling of piezoresistance/optical properties
Elmas benzeri karbon filmlerin üretimi ve piezodirenç/optik özelliklerinin modellenmesi
ERAY HUMALI
Doktora
İngilizce
2025
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUHAMMET KÜRŞAT KAZMANLI
- Si nanocrystals in SiC matrix and infrared spectroscopy of nanocrystals in a dielectric matrix
SiC matris içindeki Si nanokristaller ve dielektrik içindeki nanokristallerin kızıl ötesi spektroscopisi
ARİFE GENCER İMER
Doktora
İngilizce
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF. DR. RAŞİT TURAN
- Determination of optical constants of silicon based amorphous films by UV- visible transmittance and reflectance measurement
Mor ötesi görünür bölge optik geçirme/yansıma ölçümleri ile silisyum tabanlı amorf filmlerin optik sabitlerinin belirlenmesi
BARIŞ AKAOĞLU
Yüksek Lisans
İngilizce
1998
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU