MOS yapısında SiO2 nin kompleks dieleketrik sabitinin frekansa bağlı değişiminin c-v ölçüm yöntemiyle belirlenmesi
Determining the change of complex dielectric constant of frequency dependence by using the method c-v measurements in MOS structure
- Tez No: 112404
- Danışmanlar: PROF. DR. SÜLEYMAN BOZDEMİR
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: MOS Kapasitör, Dielektrik Sabiti, Yalıtkan (Si02) Tabakası, Arayüzey Durumları ve Elektrik Kutuplanması, MOS, Silisyum dioksit, MOS Capacitor, Dielectric Layer, Interfacial and Electric Polarization Permittivity, Insulator (SİO2) II, Dielectric constant, MOS, Silicon dioxide
- Yıl: 2001
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
YÜKSEK LİSANS TEZİ MOS YAPISINDA SiO2 NİN KOMPLEKS DİELEKTRİK SABİTİNİN FREKANSA BAĞLI DEĞİŞİMİNİN C-V ÖLÇÜM YÖNTEMİYLE BELİRLENMESİ Mehmet KOŞAL ÇUKUROVA ÜNİVERSİTESİ FEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜ FİZİK ANA BİLİM DALI Danışman: Prof. Dr. Süleyman BOZDEMİR Yıl.2001, Sayfa: 69 Jüri : Prof. Dr. Süleyman BOZDEMİR : Prof. Dr. Kerim KIYMAÇ :Yrd.Doç. Dr. Şemsettin ALTINDAL Bu çalışmada bir MOS yapısındaki silisyum dioksidin dielektrik özelliklerinin frekansa bağlı değişimi incelendi. Burada dielektrik özellikler kompleks bağıl dielektrik geçirgenliğinin gerçek ve sanal kısımları anlamındadır. Deneysel ölçümler, oda sıcaklığında ve basıncında yapıldı. Farklı frekanslardaki dielektrik sabitinin değerlerini bulmak için C-V yönteminden çıkartılan kapasitans ve voltaj ölçümleri kullanıldı. C-V yöntemi metal ile yarıiletken arasında yarıiletken yüzeyine yakın bölgelerde yerleşen yük tuzaklanmasının anlaşılmasında yaygın olarak kullanılmaktadır. Böylelikle bu arayüzeydeki arayüzey kutuplanması ile ilgili birtakım bilgiler de çıkartılmaya çalışıldı.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT MASTER THESIS DETERMINING THE CHANGE OF COMPLEX DIELECTRIC CONSTANT OF Si02 FREQUENCY DEPENDENCE BY USING THE METHOD C-V MEASUREMENTS OF MOS STRUCTURE Mehmet KOŞ AL DEPARTMENT OF PHYSICS INSTITUTE OF NATUREL AND APPLIED SCIENCIES UNIVERSITY OF ÇUKUROVA Supervisor: Prof. Dr. Süleyman BOZDEMİR Year:2001, Pages: 69 Jury Prof. Dr. Süleyman BOZDEMİR Prof. Dr. Kerim KIYMAÇ Yrd. Doç. Dr. Şemsettin ALTINDAL In this work the change dielectric properties depending on frequency of material SİO2 in a MOS structure was investigated. Where dielectric properties mean that both the real and imaginary parts in the complex relative dielectric permitivity. The expiremental measurements were made in room temperature and pressure. In order to find the values of dielectric constant in different frequencies, the values taking from capacitancies and voltage in measurements of method C-V were used. Method C-V is used commanly in understanding of trapping charges in the regions near Si-metal interface. Therefore, it was also tired to take out some knowledge dealing with interfacial polarization in this interface.
Benzer Tezler
- 1,3-difenil-4,5-bis(hidroksiimino)-imidazolidin ve Ni(II), Cu(II), Pd(II), UO2(VI) komplekslerinin sentezi
Başlık çevirisi yok
VEFA AHSEN
Doktora
Türkçe
1984
Kimya MühendisliğiUludağ ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖZER BEKAROĞLU
- Çorum toprak sanayii malzeme sahası olarak Sazköy killerinin etüdü
The Investigation of the Sazköy clays as meterial deposit for Çorum brick and the industry
METİN ARSLAN
Yüksek Lisans
Türkçe
1987
İnşaat MühendisliğiGazi ÜniversitesiYapı Eğitimi Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. RECEP KILIÇ
- Çeşitli rib örgülerin boyutsal özellikleri üzerine bazı araştırmalar
Başlık çevirisi yok
ARZU YAĞCI
Yüksek Lisans
Türkçe
1986
Tekstil ve Tekstil MühendisliğiEge ÜniversitesiTekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ARİF KURBAK
- Televizyon reklamlarının ses-söz uyumu (Prozodi) yönünden incelenmesi ve dilimizin müziğine etkileri
A study on the television advertisements from the point speech-sound harmany (prosody) and it's influence on the rhythm of our language
C. HAKAN ÇUHADAR
- Şırnak asfaltitleri külünde nikel ve molibdenin spektrofotometrik tayini
Spectrophotometric determination of nickel and molybdenum in Şırnak asphaltites ash
OLCAY ŞİMŞEK
Yüksek Lisans
Türkçe
1986
Petrol ve Doğal Gaz MühendisliğiGazi ÜniversitesiYRD. DOÇ. DR. ALİ REHBER TÜRKER